تغليف أشباه الموصلات / تغليف وتجميع الدوائر المتكاملة
المعدات الرئيسية:
● الرابط– وضع الرقائق بدقة عالية على الركائز لتغليف الدوائر المتكاملة المتقدمة.
● توصيل الأسلاك- الربط بالموجات فوق الصوتية والضغط الحراري من أجل وصلات موثوقة في تغليف الرقائق.
● آلة تركيب القوالب– تركيب رقائق إلكترونية آلي باستخدام الإيبوكسي أو اللحام بدقة تصل إلى مستوى الميكرون.
● معدات توزيع السيليكون الأوتوماتيكية–حشو وتغليف موحد لتعزيز موثوقية العبوة.
● آلة تقطيع مكعبات أوتوماتيكية– تقطيع دقيق باستخدام شفرات لفصل الرقاقات إلى رقائق فردية.
التطبيقات:
Flip-chip وBGA وQFN وتغليف الرقاقات على مستوى الرقاقة (FOWLP).تغليف أنظمة MEMS وأجهزة الاستشعار.
إلكترونيات الطاقة (أجهزة SiC/GaN)
المعدات الرئيسية:
● آلة التلدين بالليزر للسيليكون/كربيد السيليكون– يُمكّن من التلدين منخفض العيوب لأجهزة طاقة كربيد السيليكون.● آلة التعديل الداخلي بالليزر (رقاقة السيليكون/كربيد السيليكون)– هندسة الشبكة الانتقائية لترانزستورات MOSFET المصنوعة من كربيد السيليكون ذات الجهد العالي.
● آلة تقطيع رقائق الويفر– تقطيع رقائق السيليكون كاربيد/الغاليوم نتريد الهشة بشكل نظيف وخالٍ من الشقوق.
● القطع بالليزر (رقائق السيراميك/الزجاج)– قطع دقيق للركائز العازلة في وحدات الطاقة.
التطبيقات:
وحدات طاقة SiC/GaN للمركبات الكهربائية والطاقة المتجددة والمحولات الصناعية.التكامل على مستوى الركيزة للأجهزة ذات درجات الحرارة العالية.
الأجهزة الكهروضوئية (الليزر/الاستشعار)
المعدات الرئيسية:
● الوسم بالليزر (رقاقة تعريف الدائرة المتكاملة)– علامات دائمة وعالية الدقة لثنائيات الليزر وأجهزة الاستشعار البصرية.● التخديد بالليزر– حفر خنادق دقيقة لتصنيع الموجهات الضوئية والدوائر المتكاملة الضوئية (PIC).
● آلة التعديل الداخلي بالليزر (رقاقة LT/LN)– هندسة المجال الكهروإجهادي للمعدلات القائمة على LiNbO₃.
التطبيقات:
الثنائيات الليزرية، وأجهزة الليزر ذات السطح الداخلي المجوف (VCSELs)، وأجهزة الاتصالات الضوئية.أجهزة استشعار LiDAR ومكونات الألياف الضوئية.
مستشعرات MEMS
المعدات الرئيسية:
● آلة تقطيع رقائق الويفر– تقطيع منخفض الإجهاد للهياكل الكهروميكانيكية الدقيقة الهشة (مثل مقاييس التسارع، والجيروسكوبات).● القطع بالليزر (رقائق الزجاج/السيراميك)– إحكام الغلق لتغليف أنظمة MEMS.
● معدات توزيع السيليكون الأوتوماتيكية– طلاء واقٍ لأجهزة الاستشعار البيئية.
التطبيقات:
أجهزة استشعار الضغط، وأجهزة الاستشعار بالقصور الذاتي، وأجهزة الموائع الدقيقة.التغليف على مستوى الرقاقة (WLP) لأنظمة MEMS المصغرة.