آلة رفع ليزرية دقيقة لتصنيع أشباه الموصلات المتقدمة
يتميز نظام المعالجة الليزرية المتطور هذا بأنظمة قيادة خطية عالية الدقة لرأس الليزر ومنصة الرقاقة وكاميرا المحاذاة. وتجعله مكوناته الأساسية، المدعومة ببرمجيات قوية وأنظمة تحكم متطورة، حلاً مثالياً للتطبيقات الصعبة مثل تصنيع مصابيح LED المصنوعة من نيتريد الغاليوم، وإنتاج شاشات العرض بتقنية micro-LED، والتغليف المتقدم.
مزايا المنتج: دقة وتحكم لا مثيل لهما
تم تصميم أنظمة الرفع بالليزر الدقيقة لدينا للتفوق في عمليات تصنيع أشباه الموصلات الحرجة، مما يوفر مزايا كبيرة لعمليات الإنتاج الخاصة بك.
دقة متناهية وإنتاجية عالية
يضمن التحكم الأمثل في الحركة، وأنظمة الرؤية عالية الدقة، وتقنية توصيل شعاع الليزر المتقدمة، جودة معالجة متسقة ومحاذاة مثالية، حتى عند السرعات العالية. وهذا يزيد من الإنتاجية والكفاءة في تطبيقات رفع الليزر.
تحكم فائق في العمليات واتساقها
بفضل نظام مراقبة طاقة الليزر المتكامل، وإدارة درجة الحرارة، والتحقق من صحة العملية في الوقت الفعلي، يوفر هذا النظام تحكمًا لا مثيل له في عملية فصل الطبقة الرقيقة. وهذا يمنع تلف الطبقة الرقيقة، ويضمن فصلًا كاملًا، ويضمن جودة متسقة في كل دفعة.
تنوع لا مثيل له وسهولة في الاستخدام
تتيح واجهة البرنامج سهلة الاستخدام برمجة أنماط المعالجة المعقدة بسهولة. كما تُسهّل ميزات مثل العدسات سريعة التغيير والمعايرة البسيطة التبديل بين أنظمة المواد المختلفة ومتطلبات المعالجة مع الحد الأدنى من وقت التوقف.
أقصى وقت تشغيل وتصميم قوي
يقلل الإطار الصلب والمستقر حرارياً واستخدام مكونات الليزر عالية الجودة والمناسبة للاستخدامات الصناعية من احتياجات الصيانة ويزيد من الموثوقية طويلة المدى لمعدات معالجة أشباه الموصلات المتقدمة هذه.
جدول المواصفات الفنية
تم تصميم هذه الآلة لتلبية المتطلبات الصارمة لتصنيع أشباه الموصلات الحديثة، بدءًا من البحث والتطوير وحتى الإنتاج بكميات كبيرة.
| فئة | مواصفة | تفاصيل |
|---|---|---|
| معلومات عامة | رقم الموديل | LLO-3000 Pro |
| مزود الطاقة | 380 فولت تيار متردد ±10%، ثلاثي الأطوار، 50/60 هرتز، 6.0 كيلو فولت أمبير | |
| نظام التبريد | يلزم وجود مبرد ذي دائرة مغلقة | |
| مساحة الأرضية (العرض × العمق × الارتفاع) | 2000 مم × 1500 مم × 2200 مم | |
| وزن الآلة | 1200 كجم | |
| بيئة التشغيل | غرفة نظيفة من الفئة 1000، درجة الحرارة: 20±1 درجة مئوية، الرطوبة: 45±5% رطوبة نسبية | |
| نظام الليزر | نوع الليزر | ليزر DPSS فوق البنفسجي |
| الطول الموجي | 266 نانومتر / 355 نانومتر (اختياري) | |
| أقصى طاقة نبضية | 2.0 ملي جول عند 266 نانومتر | |
| معدل التكرار | 10-100 كيلو هرتز | |
| عرض النبضة | ||
| جودة الشعاع | M² | |
| الحركة والتحديد الموضعي | نظام القيادة | محرك خطي ذو دفع مباشر |
| دقة تحديد المواقع | ±1.0 ميكرومتر | |
| قابلية التكرار | ±0.5 ميكرومتر | |
| أقصى سرعة | X/Y: 800 مم/ث | |
| الخطوة الدنيا | 0.1 ميكرومتر | |
| الرؤية والتوافق | أنظمة الكاميرات | كاميرا CCD عالية الدقة 8 ميجابكسل |
| دقة المحاذاة | ±2.0 ميكرومتر | |
| التعرف على الأنماط | التعرف التلقائي على الائتمان | |
| التكبير | 5X-20X (اختياري) | |
| قدرة العملية | حجم الركيزة | رقائق السيليكون من 2 بوصة إلى 8 بوصات |
| مجال العملية | 300 مم × 300 مم | |
| الإنتاجية | تصل إلى 60 رقاقة/ساعة (2 بوصة) | |
| حجم بقعة الليزر | 10 ميكرومتر - 100 ميكرومتر (قابل للتعديل) | |
| البرمجيات والتحكم | نظام التحكم | حاسوب صناعي بشاشة لمس 21 بوصة |
| أسلوب البرمجة | واجهة المستخدم الرسومية | |
| إدارة الوصفات | أكثر من 500 وصفة عملية | |
| تسجيل البيانات | تسجيل معلمات العملية الكاملة | |
| واجهة المستخدم | SECS/GEM، إيثرنت، USB |
الميزات والملحقات الاختيارية
| نوع الخيار | الميزات المتاحة |
|---|---|
| خيارات الليزر | رأس ليزر عالي الطاقة |
| تكوين متعدد الأطوال الموجية | |
| بصريات تشكيل الشعاع | |
| مخفف آلي | |
| خيارات التشغيل الآلي | منفذ تحميل FOUP/LPU |
| معالجة رقائق السيليكون بواسطة الروبوت | |
| القياس المتكامل | |
| قياس السماكة المباشر | |
| مراقبة العمليات | مراقبة الطاقة في الوقت الفعلي |
| نظام الكشف عن البلازما | |
| مراقبة التركيز التلقائي | |
| نظام رسم الخرائط الحرارية | |
| تحديثات البرامج | التحكم المتقدم في العمليات |
| الصيانة التنبؤية | |
| التشخيص عن بعد | |
| نظام إدارة العائدات |
حلول التطبيقات الرئيسية
تصنيع شاشات العرض بتقنية Micro LED (μ-LED)
-
فصل الركيزة الياقوتية: فصل دقيق لطبقات GaN المترسبة من ركائز الياقوت
-
تمكين نقل الكتلةعملية رفع نظيفة وخالية من التلف لنقل كتلة مصابيح LED الصغيرة
-
إنتاج عالي الإنتاجيةمُحسَّن لمصفوفات مصابيح LED الدقيقة عالية الكثافة وتطبيقات العرض
تصنيع أجهزة الطاقة
-
معالجة الرقائق الرقيقة للغايةعملية فصل الرقاقات الرقيقة التي يصل سمكها إلى 20 ميكرومترًا
-
التوافق مع المعادن من الخلفمعالجة آمنة للرقاقات ذات الجانب الخلفي المعدني
-
مواد ذات فجوة نطاق واسعةدعم أجهزة الطاقة المصنوعة من السيليكون، وكربيد السيليكون، ونيتريد الغاليوم
-
إدارة الحرارة: تحكم حراري متقدم لهياكل أجهزة الطاقة الحساسة
عميلنا
نتشرف بالعمل عن كثب مع مجموعة واسعة من الشركاء المرموقين في مختلف قطاعات معدات أشباه الموصلات. على الصعيد العالمي، نتعاون مع رواد الصناعة مثل هانيويل، فوكسكون، وإتش بي. أما في الصين، فنشارك مع كبرى الشركات، بما في ذلك ساني أوبتيكال تكنولوجي، سانان أوبتوإلكترونيكس، إتش تي-تك، تسينغهوا تونغفانغ، تي يو إس هولدينغز، وتي سي إل. كما نتعاون مع مؤسسات أكاديمية رائدة مثل جامعة شيآن جياوتونغ وجامعة نورث وسترن بوليتكنيكال، مستفيدين من قدراتها البحثية لدفع عجلة الابتكار التكنولوجي وتعزيز تطبيق أحدث الحلول في قطاع معدات أشباه الموصلات.
لماذا تختار معدات الرفع بالليزر الخاصة بنا؟
نحن مورد موثوق لمعدات تصنيع أشباه الموصلات، ونقدمخدمات تصنيع المعدات الأصلية/تصميم المعدات الأصلية والتصميم حسب الطلبلضمان حصولك على الحل الأمثل لتقنية الرفع بالليزر لأنظمة المواد الخاصة بك، ومتطلبات الإنتاجية، واحتياجات تكامل العمليات.
الأسئلة الشائعة (FAQ)
س: ما هي المواد والتطبيقات التي تناسبها هذه الآلة؟
أ:صُممت هذه الآلة خصيصًا لعمليات فصل طبقات نيتريد الغاليوم/الياقوت باستخدام الليزر، ونقل الكتلة في مصابيح LED الصغيرة، وفصل الأغشية الرقيقة، وتطبيقات التغليف المتقدمة. يمكننا تخصيص النظام ليناسب متطلبات نظام المواد والعمليات الخاصة بكم.
س: كيف أختار الخيار المناسب آلة رفع الليزر هل هذا مناسب لطلبي؟
أ:تواصلوا معنا لتزويدنا بتفاصيل الركيزة (المادة، الحجم، السماكة)، ومعدل الإنتاج المستهدف، ومتطلبات العملية المحددة. سيقوم مهندسو التطبيقات لدينا بترشيح أفضل تكوين لليزر ومواصفات النظام.
س: ما هي مدة الضمان والدعم الفني؟
أ:نقدم خدمة شاملةضمان لمدة 18 شهرًاعلى جميع أنظمة الرفع بالليزر لدينا، مدعومة بدعم فني على مدار الساعة وطوال أيام الأسبوع، وخدمات صيانة منتظمة، وقطع غيار متوفرة بسهولة.
س: هل تقدمون دعماً لتطوير العمليات؟
أ:نعم، لدينا مختبر تطبيقات مجهز بالكامل حيث يمكننا المساعدة في تطوير وتحسين عملية فصل الليزر. كما نقدم خدمات نقل العمليات وتدريب المشغلين بشكل كامل.
س: لماذا يجب عليّ اختيار شركتكم؟
أ:نحن متخصصون في ابتكار حلول معالجة ليزرية مصممة خصيصًا لصناعة أشباه الموصلات. بدءًا من أنظمة البحث والتطوير وصولًا إلى أدوات الإنتاج بكميات كبيرة، نمتلك الخبرة اللازمة لتحسين عملية التصنيع لديكم. التزامنا بالابتكار والجودة ونجاحكم يجعلنا الشريك الأمثل.
هل أنت مستعد لتطوير قدراتك في تصنيع أشباه الموصلات؟ اتصل بخبراء معالجة الليزر لدينا اليوم للحصول على استشارة وتقييم للتطبيق.