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Laser-Sägesystem für Siliziumwafer | Stealth-Sägeverfahren für SiC und Saphir

Das Wafer-Vereinzeln ist ein kritischer Nachbearbeitungsschritt, der die Ausbeute häufig begrenzt aufgrund vonKantenabsplitterung,Schuttverunreinigung,zusätzliche Reinigung, Undverschwendeter Waferbereichvon breiten, einschneidenden Straßen. DiesLaser-Stealth-Wischmaschine(wird auch alsSilizium-Trennmaschine) löst diese Probleme durch die Schaffung einesinterne Modifikationsschichtinnerhalb des Wafers mithilfe eines fokussiertenInfrarotlaser (IR-Laser)Anschließend werden die Matrizen durch kontrollierte äußere Kraft getrennt.

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