Wafer-Trennsäge für die Halbleiterindustrie
Hauptmerkmale und branchenführende Vorteile
Wafer-Trennsäge für die Halbleiterfertigung
Hochpräzises Trennsystem mit ultrafeiner Bewegungsgenauigkeit
Hauptmerkmale
✔ Präzisionsbewegungssystem
Linearmotorantrieb mit einer Wiederholgenauigkeit von ±0,5 μm
Adaptive Geschwindigkeitsregelung (1–300 mm/s) für spröde/harte Materialien
✔ Multi-Material-Kompatibilität
Halbleiterwafer: Si, GaAs, GaN, SiC
Gehäusesubstrate: Leiterplatten, QFN/DFN-Gehäuse ohne Gehäuseanschluss
Spezialmaterialien: Glas, Keramik, piezoelektrische Materialien
✔ Intelligente Prozesssteuerung
Laserausrichtung + maschinelles Sehen (CCD-Positionierungsgenauigkeit ±3μm)
Automatischer Klingenverschleißausgleich (verlängert die Werkzeugstandzeit um 30 %)
Wafer-Trennsägemaschinen-Konfiguration
| X-Achse | maximal effektiv | 310 mm | 310 mm | 210 mm |
| 0,1-1000 mm/s | 0,1-600 mm/s | |||
| Y-Achse | maximal effektiv | 310 mm | 310 mm | 170 mm |
| Einzelschrittinkrement | 0,0001 mm | 0,0001 mm | 0,0001 mm | |
| Reichweitengenauigkeit | 0,003 mm / 310 mm | 0,003 mm / 310 mm | 0,003 mm/170 mm | |
| Z-Achse | maximal effektiv | 40 mm | 40 mm | 40 mm |
| Wiederholgenauigkeit | 0,001 mm | 0,001 mm | 0,001 mm | |
| maximaler Fräserdurchmesser | 58 | 58 | 58 | |
| Taxen | maximaler Drehwinkel | 380° | 380° | 380° |
| Spindel | Geschwindigkeitsbereich | 6000-60000 U/min | 6000-60000 U/min | 6000-60000 U/min |
| Ausgangsleistung | 1,8 kW (2,4 kW) | 1,8 kW (2,4 kW) | 1,5 kW (2,4 kW) | |
| Leistung | AC380V±10% | AC380V±10% | AC380V±10% | |
| Abmessungen (B×T×H) | 1200 mm × 1629 mm × 1849 mm | 1080 mm × 1160 mm × 1800 mm | 630 mm x 900 mm x 1600 mm | |
Technische Spezifikationen
- Gleichstrom-Luftlagerspindel
- Spindelleistung 1,8–2,4 kW (optional)
- 36000-60000 U/min
- 2-Zoll-Messer/3-Zoll-Messer
- Doppelspindelabstand, mindestens 24 mm
- Ebenheit der Schneidfläche: ≤0,002 mm
- Reichweitengenauigkeit: ±0,003 mm
- Einfache Wartung, mechanische Positionierung
- Sicherheitsabdeckung zur Verlängerung der Lebensdauer von NCS
- Automatische Messung während der Bearbeitung entsprechend der Anzahl der Schneidwerkzeuge oder Meter
- Hohe Störfestigkeit; selbst unter dem Einfluss von Wasserdampf wird die Klinge weiterhin stabil erfasst.
- Hohe Empfindlichkeit, kurze Signalrückkopplungszeit
- Mindestmaß 5 x 0,5 mm
Zentrale Systemfunktion
- Maschinenalarmverarbeitung entfernen
- Die Alarmbearbeitungszeit ist hoch, das Produktionspersonal läuft weniger, was Arbeitskräfte spart.
Die Maschine arbeitet vollautomatisch: automatisches Laden, Ausrichten, Schneiden, Reinigen und Trocknen.
SECS GEM-Funktion:
- Kann den Status des Geräts in Echtzeit überwachen; zum Beispiel: Leerlauf, Betrieb, Ausfall;
- Gerätedaten herunterladen/hochladen für einheitliche Parameterverwaltung.
- Kann alle Ereignisinformationen der Geräte erfassen und statistisch auswerten, einschließlich Materialinformationen, Betriebsinformationen, Alarminformationen usw.
- Sie können die Alarmstufe festlegen. Tritt das Problem auf, können Sie das Gerät sperren und bestimmte Berechtigungen anfordern, um den Alarm zu entfernen und das Problem zu beheben.