Sierra de corte de obleas para la industria de semiconductores
Características clave y ventajas líderes en el sector
Sierra de corte de obleas para la fabricación de semiconductores
Sistema de corte de alta precisión con exactitud de movimiento ultrafina.
Características principales
✔ Sistema de movimiento de precisión
Accionamiento de motor lineal con repetibilidad de ±0,5 μm
Control de velocidad adaptativo (1-300 mm/s) para materiales frágiles/duros.
✔ Compatibilidad con múltiples materiales
Obleas semiconductoras: Si, GaAs, GaN, SiC
Sustratos de encapsulado: PCB, encapsulados sin plomo QFN/DFN
Materiales especiales: Vidrio, cerámica, materiales piezoeléctricos
✔ Control inteligente de procesos
Alineación láser + visión artificial (precisión de posicionamiento CCD ±3 μm)
Compensación automática del desgaste de la cuchilla (prolonga la vida útil de la herramienta en un 30%).
Configuración de la máquina de corte de obleas
| Eje X | máxima eficacia | 310 mm | 310 mm | 210 mm |
| 0,1-1000 mm/s | 0,1-600 mm/s | |||
| Eje Y | máxima efectividad | 310 mm | 310 mm | 170 mm |
| incremento de un solo paso | 0,0001 mm | 0,0001 mm | 0,0001 mm | |
| precisión de alcance | 0,003 mm/310 mm | 0,003 mm/310 mm | 0,003 mm/170 mm | |
| Eje Z | máxima eficacia | 40 mm | 40 mm | 40 mm |
| precisión de repetición | 0,001 mm | 0,001 mm | 0,001 mm | |
| diámetro máximo de la fresa | 58 | 58 | 58 | |
| Taxis | ángulo de rotación máximo | 380° | 380° | 380° |
| huso | rango de velocidad | 6000-60000 rpm | 6000-60000 rpm | 6000-60000 rpm |
| potencia de salida | 1,8 kW (2,4 kW) | 1,8 kW (2,4 kW) | 1,5 kW (2,4 kW) | |
| fuerza | CA 380V ± 10% | CA 380V ± 10% | CA 380V ± 10% | |
| Dimensiones Ancho × Profundidad × Alto | 1200 mm × 1629 mm × 1849 mm | 1080 mm × 1160 mm × 1800 mm | 630 mm x 900 mm x 1600 mm | |
Especificaciones técnicas
- Husillo con cojinete de aire de CC
- Potencia del husillo: 1,8-2,4 kW (opcional)
- 36000-60000 RPM/min
- Cuchillo de 2 pulgadas/Cuchillo de 3 pulgadas
- Espacio entre husillos dobles mínimo 24 mm
- Planitud de la superficie de corte: ≤0,02 mm
- Precisión de alcance: +0,003 mm
- Fácil mantenimiento, posicionamiento mecánico.
- Cobertura de seguridad para prolongar la vida útil de NCS
- Medición automática en proceso según el número de herramientas de corte o metros.
- Fuerte resistencia a las interferencias; incluso bajo la interferencia del vapor de agua, la cuchilla se detecta de forma estable.
- Alta sensibilidad, el tiempo de retroalimentación de la señal es corto.
- Medida mínima: 5*0,5 mm
Función del sistema central
- Eliminar el procesamiento de alarma de la máquina
- El tiempo de procesamiento de la alarma es alto, el personal de control de producción camina menos, lo que ahorra mano de obra.
La máquina es totalmente automática, con carga, alineación, corte, limpieza y secado automáticos.
Función SECS GEM:
- Puede monitorear el estado del dispositivo en tiempo real; por ejemplo, inactivo, en funcionamiento, apagado;
- Descarga/carga datos del dispositivo para una gestión unificada de parámetros.
- Puede recopilar y generar estadísticas de toda la información de eventos del equipo, incluyendo información de materiales, información de operación, información de alarmas, etc.
- Puedes configurar el nivel de alarma; cuando ocurra el problema, puedes bloquear el dispositivo y solicitar permisos específicos para desactivar la alarma y solucionar el problema.