سیستم‌های CMP 12 اینچی با کارایی بالا: پرداخت دقیق برای اتصالات TSV
بهینه شده برای ساخت اینترپوزر TSV
سیستم CMP دوازده اینچی ما به طور خاص برای مدیریت پیچیدگی‌های پولیش چند لایه طراحی شده است. با ادغام یک سیستم با توان عملیاتی بالا ای‌اف‌ام، قدرتمند دستگاه پولیش ۳ صفحه‌ای/۴ سرو پیشرفته سیستم تمیز کردن درون خطی، ما یک گردش کار یکپارچه "خشک کردن، خشک کردن" ارائه می‌دهیم.
مشخصات کلیدی تجهیزات:
-
اندازه ویفر: ۱۲ اینچ (۳۰۰ میلی‌متر)
-
ضخامت ویفر: 500 تا 800 میکرومتر
-
پیکربندی پرداخت: 3 پلاتین + 4 سر مستقل
-
پاک‌کننده یکپارچه: ۱ مخزن MEG، ۲ مخزن برس‌دار و ۱ خشک‌کن چرخشی SRD
-
سیستم کنترل: مبتنی بر ویندوز ۱۰ با CLC (کنترل حلقه بسته) دقیق برای جریان دوغاب و مواد شیمیایی.
عملکرد فرآیند پیشرو در صنعت
در شرکت نیمه‌هادی هیمالیا، ما درک می‌کنیم که نرخ حذف (RR) و ناهمگنی درون ویفر (بعدی) معیارهایی هستند که بازگشت سرمایه شما را تعریف می‌کنند. سیستم ما برای ارائه سرعت بالای حذف مواد و در عین حال حفظ لبه 5 میلی‌متری، معیارگذاری شده است:
| لایه فرآیند | نرخ حذف (هدف) | غیریکنواختی WIW (1σ) |
| مس (Cu) | ۵۰۰۰ تا ۱۰۰۰۰ آنگستروم در دقیقه | ≤ ۵٪ |
| مانع | ۸۰۰ آنگستروم در دقیقه | ≤ ۵٪ |
| اکسید (TEOS) | ۳۵۰۰ آنگستروم در دقیقه | ≤ ۵٪ |
فراتر از عملکرد ویفرهای تکی، سخت‌افزار ما تضمین می‌کند عدم یکنواختی سر به سر ≤ ۴٪، تضمین نتایج ثابت در هر چهار سر پولیش برای تولید با حجم بالا (HVM).
قابلیت اطمینانی که می‌توانید روی آن حساب کنید
در یک محیط ساخت و ساز 24 ساعته و 7 روز هفته، زمان آماده به کار همه چیز است. ابزار CMP ما برای استفاده طولانی مدت ساخته شده است و با استانداردهای دقیق قابلیت اطمینان پشتیبانی می‌شود:
-
زمان فعال بودن: ≥ ۸۵٪
-
میانگین زمان بین خرابی‌ها (MTBF): ۲۰۰ ساعت یا بیشتر
-
میانگین زمان تعمیر (MTTR): ۳.۵ ساعت یا کمتر
علاوه بر این، پاک‌کننده یکپارچه ما، کنترل برتر ذرات را تضمین می‌کند، با ... جمع‌کننده تمیز پس از CMP ≤ 50ea (در ≥ 0.2μm)، از ویفرهای شما در برابر نقص و آلودگی متقاطع محافظت می‌کند.
پشتیبانی و گارانتی جامع
وقتی با شرکت نیمه‌هادی جیانگسو هیمالیا همکاری می‌کنید، فقط یک دستگاه نمی‌خرید؛ بلکه یک تیم پشتیبانی اختصاصی به دست می‌آورید.
-
آزمایش چرخه کامل: ما آزمایش‌های دقیق پیش از حمل و نقل، عملکردی و پذیرش نهایی را در محل شما انجام می‌دهیم تا اطمینان حاصل کنیم که ابزار با تمام استانداردهای SPEC مطابقت دارد.
-
آموزش تخصصی: ما یک برنامه آموزشی فشرده ۵ روزه ارائه می‌دهیم که همه چیز را از بهینه‌سازی دستور پخت و رابط کاربری نرم‌افزار گرفته تا تعمیر و نگهداری پیشگیرانه (PM) و مدیریت هشدارها پوشش می‌دهد.
-
واکنش سریع محلی: برای مشتریان ما در چین، ما ارائه می‌دهیم خدمات ۲۴ ساعته در محل و تضمین ورود پرسنل به کارخانه شما در مدت مقرر ۴۸ ساعت.
-
گارانتی ۱۲ ماهه: با گارانتی جامع شامل قطعات یدکی و پشتیبانی فنی پس از پذیرش، از آرامش خاطر لذت ببرید.
برای درخواست استعلام قیمت (RFQ) با ما تماس بگیرید
آماده‌اید قابلیت‌های پولیش ۳۰۰ میلی‌متری خود را ارتقا دهید؟ برای دریافت قیمت دقیق متناسب با فرآیند TSV یا اینترپوزر خاص خود، به ما مراجعه کنید یا با تیم فروش فنی ما تماس بگیرید.
شرکت: شرکت نیمه‌هادی جیانگسو هیمالیا
آدرس: اتاق ۴۲۳۴، ساختمان ۱۱، شماره ۱۲۵۸ جاده جنوبی جینفنگ، شهر مودو، ناحیه ووژونگ، شهر سوژو
تخصص: راهکارهای پیشرفته نیمه‌هادی CMP و فناوری خلاء