دستگاه برش لیزری دقیق برای تولید نیمههادی پیشرفته
این سیستم پردازش لیزری پیشرفته دارای سیستمهای محرک خطی با دقت بالا برای هد لیزر، پلتفرم ویفر و دوربین تنظیم است. اجزای اصلی آن، که توسط نرمافزار قوی و کنترلهای فرآیند پشتیبانی میشوند، آن را به یک راهحل برتر برای کاربردهای دشوار مانند تولید GaN LED، تولید نمایشگرهای میکرو LED و بستهبندی پیشرفته تبدیل میکنند.
برای دریافت راهکار سفارشی با ما تماس بگیرید
مزایای محصول: دقت و کنترل بینظیر
سیستمهای دقیق بالابر لیزری ما به گونهای طراحی شدهاند که در فرآیندهای حیاتی تولید نیمههادیها برتری داشته باشند و مزایای قابل توجهی را برای عملیات تولیدی شما ارائه دهند.
دقت نقطهای و توان عملیاتی بالا
کنترل حرکت بهینه، سیستمهای بینایی با وضوح بالا و تحویل پیشرفته پرتو لیزر، کیفیت پردازش پایدار و ترازبندی بینقص را حتی در سرعتهای بالا تضمین میکند. این امر، بازده و کارایی را در کاربردهای لیفت لیزری شما به حداکثر میرساند.
کنترل فرآیند برتر و ثبات
این سیستم با نظارت یکپارچه بر انرژی لیزر، مدیریت دما و اعتبارسنجی فرآیند در لحظه، کنترل بینظیری بر فرآیند جدایش ارائه میدهد. این امر آسیب به زیرلایه را از بین میبرد، جداسازی کامل را تضمین میکند و کیفیت ثابت دستهای پس از دستهای دیگر را تضمین میکند.
تطبیقپذیری بینظیر و سهولت استفاده
یک رابط نرمافزاری کاربرپسند، امکان برنامهنویسی آسان الگوهای پردازش پیچیده را فراهم میکند. ویژگیهایی مانند اپتیک با قابلیت تعویض سریع و کالیبراسیون ساده، جابجایی بین سیستمهای مختلف مواد و الزامات فرآیند را با حداقل زمان از کارافتادگی آسان میکند.
حداکثر زمان آماده به کار و طراحی قوی
یک قاب سفت و سخت و از نظر حرارتی پایدار و استفاده از قطعات لیزری با کیفیت بالا و درجه صنعتی، نیازهای نگهداری را کاهش داده و قابلیت اطمینان طولانی مدت این تجهیزات پردازش نیمه هادی پیشرفته را افزایش میدهد.
جدول مشخصات فنی
این دستگاه برای برآورده کردن نیازهای دقیق تولید نیمههادیهای مدرن، از تحقیق و توسعه گرفته تا تولید با حجم بالا، ساخته شده است.
| دسته بندی | مشخصات | جزئیات |
|---|---|---|
| اطلاعات عمومی | شماره مدل | LLO-3000 Pro |
| منبع تغذیه | ۳۸۰ ولت متناوب ±۱۰٪، سه فاز، ۵۰/۶۰ هرتز، ۶.۰ کیلوولت آمپر | |
| سیستم خنک کننده | چیلر حلقه بسته مورد نیاز است | |
| مساحت طبقه (عرض×عمق×ارتفاع) | ۲۰۰۰ میلیمتر × ۱۵۰۰ میلیمتر × ۲۲۰۰ میلیمتر | |
| وزن دستگاه | ۱۲۰۰ کیلوگرم | |
| محیط عملیاتی | اتاق تمیز کلاس ۱۰۰۰، دما: ۲۰±۱ درجه سانتیگراد، رطوبت: ۴۵±۵٪ RH | |
| سیستم لیزر | نوع لیزر | لیزر UV DPSS |
| طول موج | ۲۶۶ نانومتر / ۳۵۵ نانومتر (اختیاری) | |
| حداکثر انرژی پالس | ۲.۰ میلیژول در ۲۶۶ نانومتر | |
| نرخ تکرار | ۱۰-۱۰۰ کیلوهرتز | |
| عرض پالس | ||
| کیفیت پرتو | متر مربع | |
| حرکت و موقعیت یابی | سیستم درایو | موتور خطی با درایو مستقیم |
| دقت موقعیتیابی | ±1.0 میکرومتر | |
| تکرارپذیری | ±۰.۵ میکرومتر | |
| حداکثر سرعت | X/Y: 800 میلیمتر بر ثانیه | |
| حداقل گام | ۰.۱ میکرومتر | |
| چشمانداز و همسویی | سیستم دوربین | دوربین CCD با وضوح بالا ۸ مگاپیکسلی |
| دقت ترازبندی | ±۲.۰ میکرومتر | |
| تشخیص الگو | تشخیص خودکار هویت | |
| بزرگنمایی | ۵X-۲۰X (اختیاری) | |
| قابلیت فرآیند | اندازه بستر | ویفرهای ۲ اینچی تا ۸ اینچی |
| منطقه فرآیند | ۳۰۰ میلیمتر × ۳۰۰ میلیمتر | |
| توان عملیاتی | تا ۶۰ ویفر در ساعت (۲ اینچ) | |
| اندازه نقطه لیزر | 10 میکرومتر - 100 میکرومتر (قابل تنظیم) | |
| نرمافزار و کنترل | سیستم کنترل | کامپیوتر صنعتی با صفحه نمایش لمسی ۲۱ اینچی |
| روش برنامهنویسی | رابط کاربری گرافیکی | |
| مدیریت دستور پخت | بیش از ۵۰۰ دستور پخت | |
| ثبت دادهها | ثبت کامل پارامترهای فرآیند | |
| رابط | SECS/GEM، اترنت، USB |
ویژگیها و لوازم جانبی اختیاری
| نوع گزینه | ویژگیهای موجود |
|---|---|
| گزینههای لیزر | سر لیزر با قدرت بالاتر |
| پیکربندی طول موج چندگانه | |
| اپتیک شکلدهی پرتو | |
| تضعیف کننده خودکار | |
| گزینههای اتوماسیون | پورت بار FOUP/LPU |
| جابجایی ویفر با ربات | |
| مترولوژی یکپارچه | |
| اندازهگیری ضخامت درون خطی | |
| نظارت بر فرآیند | نظارت بر انرژی در زمان واقعی |
| سیستم تشخیص پلاسما | |
| نظارت خودکار بر فوکوس | |
| سیستم نقشه برداری حرارتی | |
| ارتقاء نرمافزار | کنترل فرآیند پیشرفته |
| نگهداری و تعمیرات پیشبینانه | |
| تشخیص از راه دور | |
| سیستم مدیریت عملکرد |
راهکارهای کاربردی کلیدی
تولید نمایشگرهای میکرو الایدی (μ-LED)
-
جدا کردن زیرلایه یاقوت کبودجداسازی دقیق لایههای اپیتاکسیال GaN از زیرلایههای یاقوت کبود
-
فعالسازی انتقال جرمفرآیند بلند کردن تمیز و بدون آسیب برای انتقال جرم میکرو LED
-
تولید با بازده بالابهینه شده برای آرایههای میکرو الایدی با چگالی بالا و کاربردهای نمایشی
ساخت دستگاه قدرت
-
پردازش ویفر فوق نازکفرآیند جداسازی برای ویفرهایی به نازکی 20 میکرومتر
-
سازگاری فلز پشتیپردازش ایمن ویفرها با پشت متالیزه
-
مواد با شکاف باند وسیعپشتیبانی از دستگاههای قدرت Si، SiC و GaN
-
مدیریت حرارتیکنترل حرارتی پیشرفته برای ساختارهای حساس دستگاههای قدرت
مشتری ما
ما مفتخریم که از نزدیک با طیف گستردهای از شرکای مشهور در سراسر اکوسیستم تجهیزات نیمههادی همکاری میکنیم. در سطح جهانی، ما با رهبران صنعت مانند Honeywell، Foxconn و HP همکاری میکنیم. در چین، ما با شرکتهای برتر از جمله Sunny Optical Technology، Sanan Optoelectronics، HT-Tech، Tsinghua Tongfang، TUS Holdings و TCL همکاری میکنیم. ما همچنین با موسسات دانشگاهی پیشرو مانند دانشگاه شیان جیائوتونگ و دانشگاه پلیتکنیک شمال غربی همکاری میکنیم و از قابلیتهای تحقیقاتی آنها برای پیشبرد نوآوریهای فناورانه و ترویج اجرای راهحلهای پیشرفته در بخش تجهیزات نیمههادی بهره میبریم.
چرا تجهیزات بالابر لیزری ما را انتخاب کنیم؟
ما یک ارائه دهنده معتبر تجهیزات تولید نیمه هادی هستیم که ارائه می دهیمخدمات طراحی OEM/ODM و سفارشیبرای اطمینان از اینکه شما راهحل ایدهآلی برای بلند کردن اجسام با لیزر برای سیستمهای مواد خاص، الزامات توان عملیاتی و نیازهای یکپارچهسازی فرآیند خود دریافت میکنید.
سوالات متداول (FAQ)
س: این دستگاه برای چه مواد و کاربردهایی مناسب است؟
الف:این دستگاه به طور خاص برای فرآیندهای بلند کردن لیزری در جداسازی GaN/یاقوت کبود، انتقال جرم میکرو LED، جدایش لایه نازک و کاربردهای بستهبندی پیشرفته طراحی شده است. ما میتوانیم سیستم را برای سیستم مواد خاص و الزامات فرآیند شما سفارشی کنیم.
س: چگونه میتوانم درست را انتخاب کنم؟ دستگاه بلند کردن لیزر برای درخواست من؟
الف:برای جزئیات زیرلایه (جنس، اندازه، ضخامت)، توان عملیاتی هدف و الزامات خاص فرآیند با ما تماس بگیرید. مهندسان برنامه ما پیکربندی بهینه لیزر و مشخصات سیستم را توصیه خواهند کرد.
س: گارانتی و پشتیبانی فنی چیست؟
الف:ما یک برنامه جامع ارائه میدهیمگارانتی ۱۸ ماههدر تمام سیستمهای بالابر لیزری ما، با پشتیبانی فنی 24 ساعته، خدمات تعمیر و نگهداری منظم و قطعات یدکی موجود.
س: آیا پشتیبانی توسعه فرآیند را ارائه میدهید؟
الف:بله، ما یک آزمایشگاه کاربردی کاملاً مجهز داریم که میتوانیم در آن به توسعه و بهینهسازی فرآیند لیفت لیزری شما کمک کنیم. ما خدمات کامل انتقال فرآیند و آموزش اپراتور را ارائه میدهیم.
س: چرا باید شرکت شما را انتخاب کنم؟
الف:ما در ایجاد راهحلهای پردازش لیزری سفارشی برای صنعت نیمههادی تخصص داریم. از سیستمهای تحقیق و توسعه گرفته تا ابزارهای تولید با حجم بالا، ما تخصص لازم برای بهبود فرآیند تولید شما را داریم. تعهد ما به نوآوری، کیفیت و موفقیت شما، ما را به شریک ایدهآلی تبدیل میکند.
آمادهاید تا قابلیتهای تولید نیمههادی خود را ارتقا دهید؟ برای مشاوره و ارزیابی درخواست، همین امروز با کارشناسان پردازش لیزر ما تماس بگیرید.