DS9260 : Scie de découpe automatique de haute précision pour le traitement des plaquettes de semi-conducteurs
| Paramètre clé | Spécification |
|---|---|
| Taille de la plaquette | 12 pouces (300 mm) |
| Profondeur de la rainure | 0–5 mm |
| Largeur de l'encoche | 0,015–0,5 mm |
| Planéité de la table de travail | ±1 μm |
Architecture à double broche haute vitesse pour une productivité maximale
Le DS9260 oppose une puissance élevéedouble brocheLa configuration (2,2 kW × 2) permet un traitement simultané, augmentant considérablement le débit pouremballage de semi-conducteursapplications. Associées à l'intégrationSystème de mesure sans contact (NCS)Ce système assure un positionnement précis de la lame et une vérification de la profondeur tout au long du processus.la singulationprocessus.
Principales fonctionnalités de productivité :
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Simultanément ou séquentiellementdécoupe automatique de plaquettes
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1 000 à 60 000 tr/minvitesse de brochegamme
-
Système intégré d'alignement de la vision
-
Surveillance des processus en temps réel
Automatisation complète : du chargement au déchargement
Vivez une expérience vraimentdécoupe entièrement automatiséeavec le flux de travail intégré du DS9260. Le système gère :
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Chargement automatisé des plaquetteset pré-alignement
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Précisiontraitement des plaquettesavec des ajustements en temps réel
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Station de nettoyage intégrée à deux fluides
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Déchargement et tri automatisés
Cette automatisation complète minimise l'intervention manuelle, réduit les risques de contamination et garantit une qualité constante.amélioration du rendemententre les lots de production.
Systèmes de contrôle de qualité intelligents
Le DS9260 intègre plusieurs systèmes de détection pour maintenir une performance exceptionnelle.découpe de haute précisionqualité:
Système de mesure sans contact (NCS)
Assure un positionnement précis de la lame sur la plaquette etprofondeur de rainurevérification sans contact avec la surface.
Surveillance de l'état des lames
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Fonction de détection des lames: Surveille l'usure et l'état
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Détection des dommages à la lame (BBD): Identifie automatiquement les problèmes d'intégrité
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Qu'est-ce que la détection des dommages aux lames (BBD) ?Un système exclusif qui prévient les dommages coûteux aux plaquettes en détectant les anomalies des lames en temps réel.
Contrôle automatisé des processus
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Reconnaissance de la forme des pièces pour des géométries variables
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Numérisation de données optionnelle pour une traçabilité complète
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Réglage des paramètres en temps réel
Spécifications techniques : Ingénierie de précision
Performances du système de mouvement
| Axe | Conduire | Résolution | Performance |
|---|---|---|---|
| X/Y | Moteur linéaire | 0,1 μm | 1–800 mm/s |
| AVEC | Servo + vis à billes | 0,1 μm | Précision de ±1 μm |
| je | Servo + Harmonique | 0,001° | Répétabilité de ±2 secondes d'arc |
Leétage moteur linéaireLe système d'entraînement assure une qualité exceptionnelleplanéité de la table de travailet la précision du positionnement est essentielle pour les technologies avancéesdécoupe du substrat.
| Catégorie | Paramètre | Spécification |
|---|---|---|
| Paramètres de base | Taille du traitement | 12 pouces |
| Profondeur de la rainure | 0–5 mm | |
| Largeur de la rainure | 0,015–0,5 mm | |
| Planéité de la table de travail | ±1 μm | |
| Axe X/Y | Méthode de conduite | Moteur linéaire |
| AVC efficace | 310 mm | |
| Résolution de mouvement | 0,1 μm | |
| Plage de vitesse | 1–800 mm/s | |
| Axe Z | Méthode de conduite | Servomoteur + vis à billes |
| AVC efficace | 40 mm | |
| Résolution de mouvement | 0,1 μm | |
| Précision de positionnement en une seule étape | 1 μm | |
| Précision de positionnement sur toute la course | 3 μm | |
| Axe θ | Méthode de conduite | Servomoteur + variateur harmonique |
| Plage de rotation | 0–360° | |
| Résolution de mouvement | 0,001° | |
| Précision du positionnement répété | ±2 secondes d'arc | |
| Système de broche | Vitesse de rotation | 1 000 à 60 000 tr/min |
| Puissance de sortie | 2,2 kW × 2 | |
| Système d'alignement | Double capteur CCD à champ de vision + positionnement laser | |
| Exigences en matière de services publics | Alimentation | 380 V CA, 50/60 Hz, 8 kVA |
| Air comprimé | 0.6–0.8 MPa, 500 L/min | |
| Eau de découpe | 0.2–0.4 MPa, 200 L/min | |
| Eau de refroidissement | 0.2–0.4 MPa, 300 L/min | |
| Flux d'air d'échappement | 8,0 m³/min (ANR) | |
| Spécifications physiques | Dimensions | 1200 × 1600 × 1800 mm (L×P×H) |
| Poids | 2200 kg | |
| exigences environnementales | Température | 20–25°C (±1°C) |
| Humidité | 40–60 % HR | |
| Qualité de l'air comprimé | Point de rosée ≤ -15 °C, huile ≤ 0,1 ppm |
Exigences environnementales et de services publics
-
Environnement d'exploitation: 20–25°C (±1°C), 40–60% HR
-
Équipement de salle blancheconception compatible
-
Pouvoir: 380 V CA, 8 kVA
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Air comprimé: 0,6–0,8 MPa, point de rosée ≤ -15 °C
Applications : Solutions de découpe polyvalentes
Conditionnement des semi-conducteurs
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découpe QFNetSingulation BGAavec une grande précision
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WLP (encapsulation au niveau de la plaquette)
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Applications avancées d'encapsulation de circuits intégrés
LED et optoélectronique
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découpe de plaquettes LEDdes substrats de saphir et de GaN
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Scie à découper pour la fabrication d'optoélectronique
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Composants photoniques et dispositifs optiques
Traitement avancé des matériaux
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Scie à découper pour silicone et céramiquematériels
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MEMS et séparation des capteurs
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Composants RF et puces de communication
Compatibilité des matériaux et sélection des lames de découpe
Le DS9260 prend en charge une gamme complète de matériaux essentiels à la fabrication électronique moderne :
Groupes de matériaux primaires
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semi-conducteursSilicium, SiC, GaN
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CéramiqueAlumine, nitrure d'aluminium
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Verre et optiqueQuartz, silice fondue
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Composites: PCB, stratifiés spéciaux
Guide de compatibilité des lames à découper
Notrecompatibilité des lames de scie à découperL'expertise garantit des performances optimales pour votre application spécifique :
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Lames diamantées (liant résine, métal, céramique)
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Technologie SDC (Solid Diamond Core)
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Configurations personnalisées pour des applications spécifiqueslargeur de l'encocheexigences
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recommandations de lames spécifiques au matériau

Matériaux compatibles
Plaquettes de silicium, circuits imprimés, céramique, verre, lithium à revêtement dur, oxyde d'aluminium, quartz, lithium avec revêtement

Flux de travail automatisé pour une efficacité maximale
Phase 1 : Chargement intelligent
Le bras inférieur de prélèvement et de placement récupère les plaquettes des cassettes, avec un pré-alignement automatique assurant une orientation parfaite avant le montage sous vide sur la table de travail.
Phase 2 : Opérations de découpe de précision
Des broches à grande vitesse exécutent des schémas de découpe programmés tandis que le système NCS surveille et ajuste en continu et en temps réel les paramètres de coupe pour une qualité constante.la singulationqualité.
Phase 3 : Nettoyage intégré
Le bras de transport supérieur déplace les plaquettes traitées vers la station de nettoyage à deux fluides, éliminant toutes les particules et les résidus avant le séchage à l'air chaud.
Phase 4 : Déchargement automatisé
Les plaquettes finies retournent via la station de vérification d'alignement aux cassettes de sortie, achevant ainsi le cycle automatisé en boucle fermée.
Maintenance et entretien : Optimisez votre investissement
Notre gamme complèteservice d'entretien des scies à découperles programmes garantissent des performances et une longévité optimales :
Écosystème de soutien
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Maintenance préventiveInspections et étalonnages planifiés
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Diagnostic à distanceConnexion sécurisée pour un dépannage rapide
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Service à la demandeAssistance technique spécialisée sur le terrain
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Programmes de formation: Certification d'opérateur et de maintenance
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Des pièces de rechange: Disponibilité garantie des composants critiques
Analyse concurrentielle : DS9260 vs. les alternatives du marché
| Fonctionnalité | Scie à découper DS9260 | Concurrents standards |
|---|---|---|
| Niveau d'automatisation | Chargement/découpage/nettoyage/déchargement entièrement intégré | Souvent semi-automatisé |
| Métrologie | Microscope NCS intégré + | Sonde laser ou de contact de base |
| Protection de la lame | Système BBD standard | Optionnel ou indisponible |
| Système de mouvement | Moteur linéaire tous axes | Technologie mixte |
| débit | Traitement simultané à double broche | Généralement à une seule broche |
Étude de cas : Transformation de la production d'emballages QFN
Un leaderfournisseur de scies à découper de précisionmise en œuvre du DS9260 pour un grand fabricant de semi-conducteursdécoupe QFNligne, obtenant des résultats remarquables :
Améliorations des performances
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Augmentation du débit de 45 %Le traitement à double broche a permis de réduire les temps de cycle.
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Taux de rendement de 99,2 %Les systèmes NCS et BBD ont minimisé la fracture de la matrice
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Réduction de la main-d'œuvre de 60 %L'automatisation complète a éliminé la manutention manuelle.
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Durée de vie des lames prolongée de 25 %Surveillance intelligente optimisée de l'utilisation des lames
Pourquoi choisir notre partenaire pour vos besoins en découpe ?
Quand vouscomparer les modèles de scies à découper automatiquesLe DS9260 se distingue par :
Supériorité technique
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Précision inégalée dans le secteur, à ±1 μmplanéité de la table de travail
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AvancéSystème de mesure sans contact (NCS)
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Robustedouble brochearchitecture pour une productivité maximale
Excellence opérationnelle
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L'automatisation complète réduit les coûts opérationnels
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Les systèmes intelligents préviennent les erreurs coûteuses
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Large compatibilité des matériaux pour une plus grande flexibilité de production
Soutien complet
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Conseils d'experts surComment améliorer le rendement du découpage des plaquettes ?
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Completservice d'entretien des scies à découperprogrammes
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Assistance technique spécifique à l'application
Avantages liés au coût total de possession
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Un débit plus élevé réduit les coûts unitaires
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Un rendement accru minimise le gaspillage de matériaux
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Temps d'arrêt réduit grâce à une maintenance proactive
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Réduction des besoins en main-d'œuvre grâce à l'automatisation complète
Prochaines étapes : Transformez vos opérations de découpe
Le DS9260système automatisé de découpe de plaquettes de 12 poucesreprésente l'avenir de la fabrication de semi-conducteurs de précision. Que vous traitiez des semi-conducteurs avancésemballage de semi-conducteurs, en jouantdécoupe de plaquettes LEDQue ce soit pour travailler avec des matériaux difficiles comme la céramique et les composites, ce système offre la précision, la rapidité et la fiabilité exigées par les environnements de production modernes.
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DétailléSpécifications de la scie à découper DS9260
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données de performance spécifiques à l'application
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prix d'une machine à découper à double brochecitations
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Planification des démonstrations en direct
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Analyse personnalisée des flux de travail



