Machine de marquage laser pour plaquettes
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Machine de marquage laser automatique pour circuits intégrés/plaquettes

La machine de marquage laser pour circuits intégrés/plaquettes est une solution entièrement automatisée et de haute précision, conçue pour le marquage et l'identification de plaquettes nues de 8 à 12 pouces. Elle offre une manipulation avancée des plaquettes, un marquage laser haute résolution, la reconnaissance optique de caractères (OCR) et est compatible avec les salles blanches. Grâce à sa compatibilité avec le protocole SECS/GEM, elle s'intègre parfaitement aux processus de fabrication de semi-conducteurs, garantissant traçabilité et efficacité.

    Caractéristiques principales

    ✅ Manipulation des plaquettes :
    - Prend en charge le chargement FOUP via un système Loadport avancé
    - Transmission de film par bras robotisé pour un transfert de plaquette fluide et précis
    - Calibrateur automatique pour une correction précise du centre et de l'angle de la plaquette

    ✅ Marquage et identification :
    - Marquage laser haute résolution pour l'identification des bords de plaquettes (permanent et non dommageable)
    - Détection par reconnaissance optique de caractères (OCR) (optionnelle) pour la vérification automatisée

    ✅ Automatisation intelligente et connectivité :
    - Numérisation automatique pour une efficacité accrue des processus
    - Prise en charge du protocole SECS/GEM pour une intégration transparente avec le système d'usine du client (compatible Industrie 4.0)

    ✅ Compatibilité avec les salles blanches (optionnel) :
    - Système de purification d'air FFU (unité de filtration à ventilateur) pour le contrôle de la contamination
    - Système de dépoussiérage et de filtration des fumées et des poussières pour un environnement de travail plus propre

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    Ce système de marquage laser entièrement automatisé et de haute précision garantit la traçabilité, l'efficacité et la fiabilité de la production de semi-conducteurs, répondant aux exigences rigoureuses de la fabrication moderne de circuits intégrés et de plaquettes.

    Applications : Marquage des plaquettes de semi-conducteurs, l'encapsulation de circuits intégrés, les MEMS, les LED et la fabrication de produits électroniques de pointe.

    Pour plus de détails, une personnalisation ou une démonstration, n'hésitez pas à nous contacter !

    Caractéristiques

    1. Remplacez la main-d'œuvre humaine et réduisez les coûts de main-d'œuvre.
    2. Fonctionnement simple et pratique, contrôle précis et à grande vitesse.
    3. Obtenez un dosage précis grâce au moteur de haute précision.
    4. Plateforme à structure linéaire haute performance et à l'esthétique soignée.
    5. Sa conception multi-axes en alliage d'aluminium haute rigidité garantit fiabilité et précision.

    Fonctionnalités logicielles avancées

    Prise en charge des polices :
    Polices de caractères conformes à la norme SEMI :
    5×9 (densité de ligne unique)
    10×18 (densité de lignes doubles)
    Prise en charge des polices arabes pour les exigences de marquage spécialisées
    Intégration de polices personnalisées (sur demande)

    Prise en charge des codes-barres et des codes 2D :
    Code-barres BC-412 SEMI T1 (norme industrielle pour l'identification des plaquettes)
    Code QR / Data Matrix (facultatif) pour une traçabilité améliorée
    Agencements de marquage personnalisés et formats de symboles

    Paramètres techniques principaux

    Catégorie

    Spécification

    Système de contrôle

    Tête de balayage galvanométrique + carte de contrôle, système d'exploitation Windows 7/10

    Longueur d'onde du laser

    532 nm (laser vert pour marquage de haute précision)

    Méthode de refroidissement

    Refroidissement par eau / refroidissement par air (configurations flexibles)

    Formats de fichiers

    DXF, PLT (compatible avec les logiciels de CAO/conception)

    Alimentation

    Monophasé 220 V, 4 kW (filtre à fumée/poussière non inclus)

    Applications clés

    Marquage d'identification des plaquettes (Codes-barres/alphanumériques conformes à la norme SEMI)
    ✔ Traçabilité et emballage des circuits intégrés (QR/Data Matrix pour la logistique)
    ✔ MEMS, LED, dispositifs de puissance (marquage de précision pour petits composants)
    Spécifications techniques du bras robotisé et du système de manipulation de plaquettes

    Performance en mouvement

    Paramètre

    Spécification

    Gamme mobile

    315 mm (linéaire) × 340° (rotation) × 300 mm (axe Z)

    Vitesse moyenne

    570 mm/s (linéaire), 220°/s (rotation), 200 mm/s (axe Z)

    Vitesse maximale

    1140 mm/s (linéaire), 270°/s (rotation), 250 mm/s (axe Z)

    Précision

    Répétabilité

    ±0,1 mm

    Hauteur de manutention

    620 mm (de la base à la surface de montage de la plaquette)

    Compatibilité des plaquettes

    Tailles prises en charge :
    Option 1 : 2-4-6 pouces
    Option 2 : 4-6-8 pouces
    Option 3 : 8 à 12 pouces
    Manipulation spéciale des plaquettes : Personnalisable pour les formes/matériaux non semi-conducteurs.

    Détecteur de bord et alignement

    Paramètre

    Spécification

    Temps de recentrage

    ≤3 secondes

    Précision de la position

    ±0,1 mm (centre de la plaquette), ±0,1° (bord/espace)

    Méthode de détection

    Éclairage LED + capteurs de reconnaissance d'images

    Changement de taille

    Protocole de commande, de contrôle ou de communication (SECS/GEM)

    Exigences en matière de salles blanches et d'alimentation électrique

    Propreté : Classe ISO 2 (échappement indépendant à l'intérieur de la structure d'entraînement).
    Alimentation électrique :
    Bras/Entraînement : 24 V CC ±10 %, 16 A
    Moteurs pas à pas : biphasés, DC24V ±10%, 3A (contrôleur intégré au boîtier).
    Vide : >-53 kPa (ventouse Bernoulli : air comprimé à 0,5 MPa).

    dépoussiéreur

    Paramètre

    Spécification

    Dimensions

    640 × 550 × 1322 mm

    Poids

    105 kg

    Débit d'air maximal

    265 m³/h

    Pression négative maximale

    230 mbar

    Pouvoir

    2,2 kW, 220 V/50 Hz

    Niveau sonore

    70 ± 2 dB

    Filtration

    ≥99 % à 0,3 µm (nettoyage manuel avec alarme de rappel)

    Principaux avantages

    ✅ Précision haute vitesse : Précision submicronique pour la manipulation critique des plaquettes.
    ✅ Intégration flexible : Prend en charge les normes SEMI et l'automatisation d'usine (SECS/GEM).
    ✅ Prêt pour les salles blanches : Conformité à la classe ISO 2 avec une contamination particulaire minimale.
    ✅ Solutions évolutives : Personnalisables pour les plaquettes de formes irrégulières et les lignes de production multi-tailles.