सेमीकंडक्टर और पीसीबी सतह उपचार के लिए 60 लीटर आरएफ वैक्यूम प्लाज्मा क्लीनर (प्लाज्मा वीपी-60एल)
डॉ. जियान ली द्वारा वरिष्ठ प्रक्रिया अभियंता, सेमीकंडक्टर उपकरण प्रभाग जियांग्सू हिमालय सेमीकंडक्टर कंपनी लिमिटेड आईसी पैकेजिंग, डाई बॉन्डिंग, माइक्रो-असेंबली और प्लाज्मा सतह उपचार में 15+ वर्षों का अनुभव।
त्वरित जवाब
PLASMA VP-60L एक पेशेवर 60-लीटर RF वैक्यूम प्लाज्मा क्लीनर है जिसे सेमीकंडक्टर पैकेजिंग, पीसीबी निर्माण, लिथियम बैटरी प्रोसेसिंग और सटीक इलेक्ट्रॉनिक्स सतह सक्रियण के लिए डिज़ाइन किया गया है। पूरी तरह से स्वचालित RF मिलान, समायोज्य 0–500W प्लाज्मा शक्ति और बहु-गैस क्षमता (Ar, N₂, O₂, H₂, CH₄) के साथ, यह सिस्टम औद्योगिक सफाई, ऑक्साइड हटाने और आसंजन बढ़ाने के लिए अत्यधिक दोहराव योग्य कम दबाव वाला प्लाज्मा उपचार प्रदान करता है।
उन्नत इलेक्ट्रॉनिक्स विनिर्माण में, विश्वसनीय बॉन्डिंग, कोटिंग, प्रिंटिंग, एनकैप्सुलेशन और असेंबली के लिए अति-स्वच्छ और उच्च सक्रिय सतहों को प्राप्त करना महत्वपूर्ण है। सूक्ष्म कार्बनिक अवशेष या ऑक्साइड संदूषण भी बॉन्डिंग की मजबूती, विद्युत विश्वसनीयता और दीर्घकालिक उत्पाद स्थिरता को काफी हद तक कम कर सकते हैं।
प्लाज्मा वीपी-60एल आरएफ वैक्यूम प्लाज्मा क्लीनर यह एक उच्च-प्रदर्शन वाला कम दबाव वाला प्लाज्मा उपचार प्रणाली है जिसे सेमीकंडक्टर, पीसीबी, डिस्प्ले, चिकित्सा, ऑटोमोटिव और नई ऊर्जा उद्योगों में सटीक सतह सफाई और सक्रियण के लिए डिज़ाइन किया गया है।
एक वरिष्ठ प्रक्रिया अभियंता के रूप में जियांग्सू हिमालय सेमीकंडक्टर कंपनी लिमिटेडमैंने बैकएंड सेमीकंडक्टर पैकेजिंग और माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स असेंबली में प्लाज्मा सरफेस ट्रीटमेंट सिस्टम के साथ व्यापक रूप से काम किया है। PLASMA VP-60L अनुसंधान एवं विकास प्रयोगशालाओं और मध्यम से उच्च मात्रा वाले विनिर्माण वातावरण दोनों के लिए प्रक्रिया स्थिरता, स्वचालन, दोहराव और लागत-दक्षता का उत्कृष्ट संतुलन प्रदान करता है।
प्लाज्मा सतह उपचार क्यों महत्वपूर्ण है?
आरएफ प्लाज्मा सफाई सूक्ष्म कार्बनिक संदूषण, ऑक्साइड परतों और आणविक अवशेषों को हटा देती है जिन्हें पारंपरिक गीली सफाई प्रक्रियाएं अक्सर प्रभावी ढंग से समाप्त नहीं कर पाती हैं।
सेमीकंडक्टर पैकेजिंग और सटीक इलेक्ट्रॉनिक्स असेंबली में, प्लाज्मा सक्रियण सतह ऊर्जा को बढ़ाता है, जिससे निम्नलिखित कार्य संभव हो पाते हैं:
मजबूत डाई बॉन्डिंग आसंजन
वायर बॉन्डिंग की विश्वसनीयता में सुधार
बेहतर अंडरफिल गीलापन
कोटिंग की एकरूपता में सुधार
परत उखड़ने का जोखिम कम
पैकेज की दीर्घकालिक विश्वसनीयता में वृद्धि
परंपरागत विलायक सफाई की तुलना में, वैक्यूम प्लाज्मा उपचार निम्नलिखित लाभ प्रदान करता है:
शुष्क और पर्यावरण के अनुकूल प्रसंस्करण
रासायनिक अपशिष्ट का निपटान नहीं किया जाता है।
संदूषण का जोखिम कम
बेहतर उपचार एकरूपता
उत्कृष्ट प्रक्रिया दोहराव क्षमता
संवेदनशील इलेक्ट्रॉनिक घटकों के साथ बेहतर अनुकूलता
मुख्य तकनीकी विशिष्टताएँ
वस्तु
विनिर्देश
उपकरण मॉडल
प्लाज्मा वीपी-60एल
बाह्य आयाम
1100(गहराई) × 810(चौड़ाई) × 1550(ऊंचाई) मिमी
वैक्यूम चैम्बर का आकार
492(गहराई) × 390(चौड़ाई) × 350(ऊंचाई) मिमी
इलेक्ट्रोड प्रणाली
4-परत वाली क्षैतिज प्लेटें
इलेक्ट्रोड परत की ऊँचाई
46 मिमी
मूल्यांकित शक्ति
3.5 किलोवाट
बिजली की आपूर्ति
AC380V ±10% @ 50Hz
कार्यशील वैक्यूम स्तर
10–60 पा
वैक्यूम निकासी समय
वैक्यूम ब्रेक समय
आरएफ़ पावर
0–500W निरंतर समायोज्य
आरएफ पावर सटीकता
±3%
आरएफ मिलान
पूर्णतः स्वचालित,
प्रक्रिया गैसें
आर्गन, एन₂, ओ₂, एच₂, सीएच₄
गैस चैनल
2 चैनल
एमएफसी प्रवाह सीमा
0–200 sccm
मशीन वजन
लगभग 500 किलोग्राम
अनुकूलन
चैम्बर का आकार और इलेक्ट्रोड लेआउट अनुकूलन योग्य है।
प्लाज्मा वीपी-60एल के प्रमुख लाभ
बेहतरीन सतह सफाई
यह प्रणाली प्रभावी रूप से निम्नलिखित को हटा देती है:
जैविक संदूषण
ऑक्साइड फिल्मों
फ्लक्स अवशेष
उंगलियों के निशान
आणविक स्तर की सतह अशुद्धियाँ
इससे डाउनस्ट्रीम बॉन्डिंग और कोटिंग के प्रदर्शन में काफी सुधार होता है।
उत्कृष्ट आसंजन वृद्धि
आरएफ प्लाज्मा प्रक्रिया से सतह की ऊर्जा बढ़ती है, जिससे निम्नलिखित में सुधार होता है:
डाई अटैच आसंजन
वायर बॉन्डिंग की तैयारी
अनुरूप कोटिंग
स्याही मुद्रण
एपॉक्सी बॉन्डिंग
एसएमटी पूर्व-उपचार
तीव्र औद्योगिक प्रसंस्करण
प्लाज्मा प्रक्रिया चक्र के सामान्य पैटर्न इस प्रकार हैं:
सामग्री और उपचार की आवश्यकताओं के आधार पर 2-10 मिनट।
तीव्र निकासी प्रणाली और स्वचालित आरएफ मिलान से थ्रूपुट दक्षता में सुधार होता है।
उच्च प्रक्रिया पुनरावृत्ति क्षमता
PLASMA VP-60L निम्नलिखित का उपयोग करता है:
सटीक आरएफ पावर नियंत्रण
समर्पित मास फ्लो कंट्रोलर (एमएफसी)
स्थिर निर्वात नियमन
स्वचालित प्रक्रिया अनुक्रमण
इससे हर बैच में प्लाज्मा उपचार के परिणाम बेहद सुसंगत बने रहते हैं।
उपयोगकर्ता के अनुकूल पूर्णतः स्वचालित संचालन
यह सिस्टम निम्नलिखित का समर्थन करता है:
पीएलसी नियंत्रण वास्तुकला
उच्च-रिज़ॉल्यूशन टचस्क्रीन इंटरफ़ेस
रेसिपी भंडारण
एक कुंजी द्वारा स्वचालित संचालन
मैनुअल और स्वचालित मोड
न्यूनतम प्रशिक्षण प्राप्त ऑपरेटर भी स्थिर उत्पादन प्रक्रियाओं को शीघ्रता से पूरा कर सकते हैं।
विशिष्ट प्रक्रिया पैरामीटर
सामग्री
प्रक्रिया गैस
आरएफ़ पावर
उपचार समय
लीड फ्रेम
Ar/O₂
200 वाट
120
पीसीबी पैनल
O₂
300 वाट
180
पीटीएफई/टेफ्लॉन
साथ
400 वाट
300
सिलिकॉन वेफ़र्स
Ar/N₂
250 वाट
150
लिथियम बैटरी फ़ॉइल
O₂
350 वाट
240
पॉलिमर फ़िल्में
Ar/O₂
200 वाट
90 के दशक
संदूषण के स्तर, सामग्री की संरचना और उत्पादन आवश्यकताओं के आधार पर वास्तविक मापदंड भिन्न हो सकते हैं।
व्यापक औद्योगिक अनुप्रयोग
प्लाज्मा वीपी-60एल का उपयोग उन्नत इलेक्ट्रॉनिक्स विनिर्माण उद्योगों में व्यापक रूप से किया जाता है।
सेमीकंडक्टर और आईसी पैकेजिंग
इसके लिए आदर्श:
वायर बॉन्डिंग की तैयारी
लीड फ्रेम प्लाज्मा सफाई
डाई अटैच सतह सक्रियण
अंडरफिल आसंजन में सुधार
आईसी पैकेज से संदूषण हटाना
पीसीबी निर्माण
इसके लिए उपयुक्त:
अंधा छेद धब्बा हटाना
एसएमटी पूर्व-उपचार
कोटिंग से पहले सतह सक्रियण
अवशेष हटाना
आसंजन वृद्धि
उपभोक्ता इलेक्ट्रॉनिक्स
सामान्य अनुप्रयोगों में शामिल हैं:
मोबाइल फोन के मध्य फ्रेम
कैमरा मॉड्यूल
फिंगरप्रिंट सेंसर
इयरफ़ोन डायाफ्राम
लचीली इलेक्ट्रॉनिक असेंबली
डिस्प्ले उद्योग
के लिए इस्तेमाल होता है:
एलसीडी ऐरे की सफाई
सीएफ ग्लास उपचार
आईटीओ ग्लास सक्रियण
पोलराइज़र सतह उपचार
नई ऊर्जा और बैटरी उद्योग
यह प्रणाली निम्नलिखित के लिए प्लाज्मा उपचार का समर्थन करती है:
लिथियम बैटरी विभाजक
एल्युमिनियम फॉइल सक्रियण
ऊर्जा भंडारण सामग्री
बैटरी के पुर्जों की सफाई
ऑटोमोटिव इलेक्ट्रॉनिक्स
इसका व्यापक रूप से उपयोग निम्नलिखित क्षेत्रों में होता है:
सेंसर
कनेक्टर
प्रज्वलन छल्ले
ऑटोमोटिव पीसीबी असेंबली
चिकित्सा एवं परिशुद्धता प्लास्टिक
उपयुक्त सामग्रियों में निम्नलिखित शामिल हैं:
पीटीएफई/टेफ्लॉन
इंजीनियरिंग प्लास्टिक
पॉलिमर फिल्मों
सटीक रूप से ढाले गए घटक
उपकरण प्रसंस्करण कार्यप्रवाह
PLASMA VP-60L में एक सुव्यवस्थित और अत्यधिक स्वचालित संचालन प्रक्रिया है:
चार-परत वाली इलेक्ट्रोड ट्रे पर सामग्री लोड करें
चैंबर का दरवाजा बंद करें और प्रक्रिया विधि चुनें
स्वचालित वैक्यूम निकासी
प्रक्रिया गैस प्रवेश और स्थिरीकरण
आरएफ प्लाज्मा प्रज्वलन और उपचार
स्वचालित वेंटिंग और अनलोडिंग
यह सिस्टम अधिकतम उत्पादन लचीलेपन के लिए पूरी तरह से स्वचालित और मैन्युअल संचालन दोनों मोड का समर्थन करता है।
रखरखाव और सेवा सहायता
नियमित रखरखाव की आवश्यकताएं न्यूनतम हैं।
आसान रखरखाव
आइसोप्रोपाइल अल्कोहल का उपयोग करके सप्ताह में एक बार चैम्बर की सफाई।
तेल रहित स्क्रॉल वैक्यूम पंप रखरखाव की आवृत्ति को कम करता है।
स्थिर आरएफ प्रणाली अंशांकन की आवश्यकताओं को कम करती है।
प्रश्न 1: प्लाज्मा वीपी-60एल का सामान्य चक्र समय क्या है?
सामग्री के प्रकार और उपचार के उद्देश्यों के आधार पर, अधिकांश प्लाज्मा सफाई और सक्रियण प्रक्रियाओं में लगभग 2-10 मिनट का समय लगता है।
प्रश्न 2: कौन सी गैसें समर्थित हैं?
यह सिस्टम निम्नलिखित का समर्थन करता है:
आर्गन (Ar)
नाइट्रोजन (N₂)
ऑक्सीजन (O₂)
हाइड्रोजन (H₂)
मीथेन (CH₄)
इसमें सटीक एमएफसी नियंत्रण वाले दो गैस चैनल शामिल हैं।
Q3: क्या यह प्रणाली बड़े पैमाने पर उत्पादन के लिए उपयुक्त है?
हाँ। निम्नलिखित का संयोजन:
तेज़ पंप-डाउन समय
स्वचालित संचालन
4-परत इलेक्ट्रोड विन्यास
स्थिर आरएफ नियंत्रण
यह प्रणाली मध्यम से उच्च मात्रा के उत्पादन के लिए उपयुक्त है।
प्रश्न 4: क्या चैम्बर का आकार अनुकूलित किया जा सकता है?
जी हाँ। चैंबर के आयाम, इलेक्ट्रोड विन्यास और फिक्स्चर लेआउट को ग्राहक की प्रक्रिया संबंधी आवश्यकताओं के अनुसार अनुकूलित किया जा सकता है।
प्रश्न 5: किन सामग्रियों का उपचार किया जा सकता है?
यह सिस्टम निम्नलिखित प्रक्रियाओं को संसाधित कर सकता है:
सिलिकॉन वेफ़र्स
काँच
धातुओं
मिट्टी के पात्र
प्लास्टिक
पीटीएफई
पॉलिमर फिल्मों
कंपोजिट मटेरियल
प्रश्न 6: क्या दैनिक संचालन कठिन है?
नहीं। टचस्क्रीन इंटरफेस और एक कुंजी द्वारा स्वचालित संचालन की सुविधा बुनियादी प्रशिक्षण के बाद उपकरण को अत्यधिक उपयोगकर्ता-अनुकूल बनाती है।
Q7: क्या आप स्थापना और प्रक्रिया प्रशिक्षण प्रदान करते हैं?
जी हाँ। संपूर्ण स्थापना, चालू करना, ऑपरेटर प्रशिक्षण, रखरखाव मार्गदर्शन और प्रक्रिया अनुकूलन सहायता प्रदान की जाती है।
लेखक के बारे में
डॉ. जियान ली वह सेमीकंडक्टर इक्विपमेंट डिवीजन में एक वरिष्ठ प्रोसेस इंजीनियर हैं। जियांग्सू हिमालय सेमीकंडक्टर कंपनी लिमिटेडडाई बॉन्डिंग, वायर बॉन्डिंग, माइक्रो-मशीनिंग और प्लाज्मा सरफेस ट्रीटमेंट में 15 से अधिक वर्षों के अनुभव के साथ, डॉ. ली ने उच्च विश्वसनीयता वाले सेमीकंडक्टर पैकेजिंग अनुप्रयोगों के लिए कई उपकरण नवाचार और प्रक्रिया अनुकूलन परियोजनाओं में योगदान दिया है।
कंपनी निम्नलिखित क्षेत्रों पर ध्यान केंद्रित करती है:
वेफर डाइसिंग मशीनें
डाई बॉन्डिंग सिस्टम
वायर बॉन्डिंग उपकरण
प्लाज्मा सफाई प्रणाली
सटीक स्वचालन समाधान
सूज़ौ में अनुसंधान एवं विकास कार्यों और शीआन में बिक्री सहायता के साथ, हिमालय सेमीकंडक्टर विश्वसनीय, उच्च-प्रदर्शन वाले सेमीकंडक्टर असेंबली उपकरण के साथ वैश्विक इलेक्ट्रॉनिक्स निर्माताओं की सेवा करता है।
क्या आप अपनी सतह उपचार प्रक्रिया को बेहतर बनाने के लिए तैयार हैं?
PLASMA VP-60L सेमीकंडक्टर पैकेजिंग, पीसीबी निर्माण, सटीक इलेक्ट्रॉनिक्स और उन्नत सामग्री प्रसंस्करण के लिए विश्वसनीय, दोहराने योग्य और लागत प्रभावी आरएफ प्लाज्मा सतह उपचार प्रदान करता है।
कोटेशन, कस्टमाइज़ेशन विकल्पों या सैंपल मूल्यांकन सहायता के लिए संपर्क करें:
