उच्च-प्रदर्शन 12-इंच सीएमपी सिस्टम: टीएसवी इंटरकनेक्ट्स के लिए सटीक पॉलिशिंग
टीएसवी इंटरपोज़र निर्माण के लिए अनुकूलित
हमारा 12-इंच का सीएमपी सिस्टम विशेष रूप से मल्टी-लेयर पॉलिशिंग की जटिलताओं को संभालने के लिए डिज़ाइन किया गया है। उच्च-थ्रूपुट को एकीकृत करके, ईएफईएमएक शक्तिशाली 3-प्लेटन/4-हेड पॉलिशरऔर एक परिष्कृत इन-लाइन सफाई प्रणालीहम एक निर्बाध "ड्राई-इन, ड्राई-आउट" कार्यप्रवाह प्रदान करते हैं।
प्रमुख उपकरण विशिष्टताएँ:
-
वेफर का आकार: 12 इंच (300 मिमी)
-
वेफर की मोटाई: 500~800μm
-
पॉलिशिंग कॉन्फ़िगरेशन: 3 प्लेटें + 4 स्वतंत्र प्रमुख
-
एकीकृत क्लीनर: 1 मेगामीटर टैंक, 2 ब्रश टैंक और 1 एसआरडी (स्पिन रिंस ड्रायर)
-
नियंत्रण प्रणाली: स्लरी और रासायनिक प्रवाह के लिए सटीक सीएलसी (क्लोज्ड लूप कंट्रोल) के साथ विंडोज 10 आधारित प्रणाली।
उद्योग में अग्रणी प्रक्रिया प्रदर्शन
हिमालय सेमीकंडक्टर में, हम समझते हैं कि निष्कासन दर (आरआर) और वेफर के भीतर गैर-एकसमानता (NEXT) ये वो मापदंड हैं जो आपके निवेश पर लाभ (ROI) को परिभाषित करते हैं। हमारा सिस्टम 5 मिमी एज एक्सक्लूजन को बनाए रखते हुए उच्च गति से सामग्री हटाने के लिए मानकीकृत है:
| प्रक्रिया परत | निष्कासन दर (लक्ष्य) | WIW गैर-समानता (1σ) |
| तांबा (Cu) | 5000 ~ 10000 Å/मिनट | ≤ 5% |
| रुकावट | 800 Å/मिनट | ≤ 5% |
| ऑक्साइड (टीईओएस) | 3500 Å/मिनट | ≤ 5% |
व्यक्तिगत वेफर प्रदर्शन के अलावा, हमारा हार्डवेयर यह सुनिश्चित करता है आमने-सामने की गैर-समानता ≤ 4%यह उच्च मात्रा उत्पादन (एचवीएम) के लिए चारों पॉलिशिंग हेड्स में एकसमान परिणाम सुनिश्चित करता है।
जिस विश्वसनीयता पर आप भरोसा कर सकते हैं
चौबीसों घंटे चलने वाले निर्माण वातावरण में, अपटाइम ही सब कुछ है। हमारा सीएमपी टूल कठोर विश्वसनीयता मानकों द्वारा समर्थित, लंबे समय तक चलने के लिए बनाया गया है:
-
अपटाइम: ≥ 85%
-
एमटीबीएफ (असफलताओं के बीच औसत समय): ≥ 200 घंटे
-
एमटीटीआर (मरम्मत का औसत समय): ≤ 3.5 घंटे
इसके अलावा, हमारा एकीकृत क्लीनर बेहतर कण नियंत्रण सुनिश्चित करता है, साथ ही साथ पोस्ट-सीएमपी क्लीन एडर ≤ 50ea (≥ 0.2μm पर), जो आपके वेफर्स को दोषों और क्रॉस-संदूषण से बचाता है।
व्यापक समर्थन और वारंटी
जब आप जियांग्सू हिमालय सेमीकंडक्टर के साथ साझेदारी करते हैं, तो आप केवल एक मशीन नहीं खरीद रहे होते हैं; बल्कि आपको एक समर्पित सहायता टीम भी मिल रही होती है।
-
पूर्ण-चक्र परीक्षण: हम आपके संयंत्र में शिपमेंट से पहले, कार्यात्मक और अंतिम स्वीकृति परीक्षण करते हैं ताकि यह सुनिश्चित हो सके कि उपकरण प्रत्येक विनिर्देश को पूरा करता है।
-
विशेषज्ञ प्रशिक्षण: हम एक 5 दिवसीय गहन प्रशिक्षण कार्यक्रम प्रदान करते हैं जिसमें रेसिपी ऑप्टिमाइजेशन और सॉफ्टवेयर इंटरफेस से लेकर निवारक रखरखाव (पीएम) और अलार्म हैंडलिंग तक सब कुछ शामिल है।
-
स्थानीय त्वरित प्रतिक्रिया: चीन में हमारे ग्राहकों के लिए, हम निम्नलिखित सेवाएं प्रदान करते हैं: 24 घंटे ऑन-कॉल सेवा और यह सुनिश्चित करें कि आपके कारखाने में कर्मचारी तय समय के भीतर पहुंच जाएं। 48 घंटे.
-
12 महीने की वारंटी: पुर्जों की व्यापक वारंटी और स्वीकृति के बाद तकनीकी सहायता के साथ निश्चिंत रहें।
आरएफक्यू के लिए हमसे संपर्क करें
क्या आप अपनी 300 मिमी पॉलिशिंग क्षमताओं को अपग्रेड करने के लिए तैयार हैं? हमसे मिलें या अपनी विशिष्ट टीएसवी या इंटरपोज़र प्रक्रिया के अनुरूप विस्तृत कोटेशन के लिए हमारी तकनीकी बिक्री टीम से संपर्क करें।
कंपनी: जियांग्सू हिमालय सेमीकंडक्टर कंपनी लिमिटेड
पता: कमरा नंबर 4234, बिल्डिंग 11, नंबर 1258 जिनफेंग साउथ रोड, मुडू टाउन, वूझोंग जिला, सूज़ौ शहर
विशेषज्ञता: उन्नत सेमीकंडक्टर सीएमपी और वैक्यूम प्रौद्योगिकी समाधान