हिमालय एचएफटी-1000 हाइब्रिड फिल्म मोटाई मापन प्रणाली
प्रमुख विशेषताऐं
| विशेषता | फ़ायदा |
|---|---|
| एक ही हेड में हाइब्रिड SR + SE | उपकरण बदले बिना मोटी (500 एनएम–500 µm) और पतली (0.5 एनएम–50 µm) दोनों प्रकार की फिल्मों को मापें। |
| उप-नैनोमीटर पुनरावृत्ति क्षमता | 202 nm SiO₂ पर ≤0.013 nm (स्थैतिक) – अपनी प्रक्रिया नियंत्रण सीमाओं पर भरोसा रखें |
| अंतर्निर्मित वेफर तनाव गणना | स्टोनी फॉर्मूला का उपयोग करता है जिसमें एकीकृत लेजर धनुष माप शामिल है - किसी द्वितीयक उपकरण की आवश्यकता नहीं है। |
| एसईसीएस/जीईएम (सेमी ई30, ई37) | फ़ैक्टरी होस्ट, AMHS और MES के साथ सहज एकीकरण। ऑनलाइन/ऑफ़लाइन मोड। |
| ब्रॉडबैंड प्रकाशिकी (250–1000 एनएम) | मानक; उन्नत सामग्रियों के लिए DUV (193 nm) या SWIR (2500 nm) तक विस्तारित किया जा सकता है |
| उच्च परिशुद्धता गति मंच | ±1 µm की पुनरावृति क्षमता, 100 mm/s की स्कैन गति – 12 इंच के वेफर की पूरी मैपिंग 3 मिनट से भी कम समय में। |
तकनीकी निर्देश
| पैरामीटर | कीमत |
|---|---|
| मोटाई सीमा (एसआर मोड) | 500 एनएम – 500 माइक्रोमीटर |
| मोटाई सीमा (एसई मोड) | 0.5 एनएम – 50 माइक्रोमीटर |
| तरंगदैर्घ्य सीमा (मानक) | 250 – 1000 एनएम |
| विस्तार योग्य विकल्प | 193 एनएम (डीयूवी) या 2500 एनएम (एसडब्ल्यूआईआर) |
| पुनरावर्तनीयता (Si पर 1018 nm SiO₂) | स्थैतिक: ≤0.026 एनएम; गतिशील: ≤0.034 एनएम |
| पुनरावर्तनीयता (Si पर 202 nm SiO₂) | स्थिर: ≤0.013 एनएम |
| माप स्थान का आकार | 10 µm – 200 µm (उपयोगकर्ता द्वारा चयनित) |
| स्टेज यात्रा | 300 मिमी × 300 मिमी (12 इंच वेफर्स, पैनल) |
| चरण पुनरावृत्ति | ±1 µm |
| एसईसीएस/जीईएम समर्थन | हाँ (E30, E37, HSMS) |
| तनाव माप | इसमें शामिल हैं (लेजर धनुष + स्टोनी फॉर्मूला) |
| आयाम (सिस्टम इकाई) | 800 मिमी (चौड़ाई) × 900 मिमी (गहराई) × 1700 मिमी (ऊंचाई) |
| शक्ति | 100–240 VAC, 50/60 Hz, 500 W |
अनुप्रयोग – उत्पादन सामग्री पर सिद्ध
| सामग्री | मोटाई सीमा | तरीका | सामान्य परीक्षण समय |
|---|---|---|---|
| अटैच फिल्म (डीएएफ) | 10–50 µm | एसआर | 0.5 सेकंड/पॉइंट |
| मोल्ड यौगिक (एपॉक्सी) | 100–500 µm | एसआर | 0.5 सेकंड/पॉइंट |
| सिलिकॉन नाइट्राइड पैसिवेशन | 100–500 एनएम | से | 2 सेकंड/पॉइंट |
| पॉलीइमाइड बफर परत | 5–15 µm | एसआर या एसई | 2 सेकंड/पॉइंट |
| Si पर SiO₂ (पतली गेट ऑक्साइड) | 1–200 एनएम | से | 2 सेकंड/पॉइंट |
| द्वि-परत (पॉलीइमाइड + SiO₂) | 10 µm + 500 nm | एसआर+एसई अनुक्रमिक | 4.5 सेकंड/साइट |
✅ पर सत्यापितडीएएफ लेमिनेशन,दबाव से सांचे में डालना,डाई बॉन्डिंग, औरवेफर-स्तर निष्क्रियतापंक्तियाँ।
यह काम किस प्रकार करता है
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भारएक वेफर या सब्सट्रेट (मैन्युअल या एएमएचएस)।
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चुननारेसिपी (सामग्री का ढेर, माप स्थल)। सिस्टम स्वचालित रूप से SR या SE का चयन करता है।
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उपायब्रॉडबैंड ऑप्टिक्स और प्रेसिजन स्टेज स्पेक्ट्रल डेटा एकत्र करते हैं।
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उत्पादनमोटाई का मानचित्र, अपवर्तनांक (n,k), और वेफर तनाव।
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भेजनाक्लोज्ड-लूप प्रक्रिया समायोजन के लिए SECS/GEM के माध्यम से डेटा को फ़ैक्टरी होस्ट को भेजा जाता है।
अन्य विकल्पों के मुकाबले HFT-1000 को क्यों चुनें?
| प्रतिस्पर्धी दृष्टिकोण | परिसीमन | एचएफटी-1000 एडवांटेज |
|---|---|---|
| सिंगल-मोड एलिप्सोमीटर | मोटी फिल्मों (>50 µm) को मापा नहीं जा सकता। | एसआर मोड 500 µm तक की रेंज को कवर करता है। |
| कॉन्फोकल / श्वेत प्रकाश इंटरफेरोमीटर | पारदर्शी पतली फिल्मों पर खराब रिज़ॉल्यूशन | SE मोड |
| कॉन्टैक्ट स्टाइलस प्रोफ़ाइलर | धीमी गति से चलने वाला, सॉफ्ट फिल्मों को नुकसान पहुंचाता है (DAF) | बिना संपर्क के, 0.5 सेकंड/बिंदु |
| अलग तनाव मापन उपकरण | अतिरिक्त हैंडलिंग, संरेखण त्रुटियाँ | एक ही उपकरण में एकीकृत धनुष + स्टोनी |
फ़ैक्टरी एकीकरण और समर्थन
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एसईसीएस/जीईएम मानक– मौजूदा एमईएस के साथ प्लग-एंड-प्ले (फैक्ट्री द्वारा स्वीकृत)।
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ऑफ़लाइन मोड– इंजीनियरिंग अध्ययन के लिए स्वतंत्र संचालन।
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दूरस्थ निदान– हिमालय सपोर्ट के लिए सुरक्षित वीपीएन एक्सेस।
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अंशांकन किट– इसमें Si संदर्भ वेफर्स पर NIST-ट्रेस करने योग्य SiO₂ शामिल है।
आदेश की जानकारी
| नमूना | विवरण |
|---|---|
| एचएफटी-1000-एसआरएसई | आधारभूत प्रणाली: 250–1000 एनएम, मोशन स्टेज, एसईसीएस/जीईएम, स्ट्रेस मॉड्यूल |
| -DUV | वैकल्पिक डीयूवी एक्सटेंशन (अल्ट्रा-थिन हाई-के फिल्मों के लिए 193 एनएम) |
| -एसडब्ल्यूआईआर | वैकल्पिक SWIR एक्सटेंशन (मोटी एपॉक्सी या सिलिकॉन के निरीक्षण के लिए 2500 एनएम) |
| -एएमएचएस | स्वचालित सामग्री प्रबंधन इंटरफ़ेस (लोड पोर्ट, मैपिंग) |
अनुकूलित कॉन्फ़िगरेशन उपलब्ध हैं – बिक्री विभाग से संपर्क करें।
कीमत या डेमो प्राप्त करें
हम यहां पर प्रदर्शन की सुविधा प्रदान करते हैं।जियांग्सू हिमालय सेमीकंडक्टर कंपनी लिमिटेड(सूज़ौ, चीन) या आपके सैंपल वेफर्स के साथ रिमोट लाइव टेस्टिंग।
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