उन्नत सेमीकंडक्टर निर्माण के लिए सटीक लेजर लिफ्ट-ऑफ मशीन
इस उन्नत लेजर प्रोसेसिंग सिस्टम में लेजर हेड, वेफर प्लेटफॉर्म और अलाइनमेंट कैमरा के लिए उच्च परिशुद्धता वाले लीनियर ड्राइव सिस्टम लगे हैं। इसके मुख्य घटक, मजबूत सॉफ्टवेयर और प्रक्रिया नियंत्रणों द्वारा समर्थित, इसे GaN LED निर्माण, माइक्रो-LED डिस्प्ले उत्पादन और उन्नत पैकेजिंग जैसे चुनौतीपूर्ण अनुप्रयोगों के लिए एक शीर्ष स्तरीय समाधान बनाते हैं।
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उत्पाद के लाभ: अद्वितीय सटीकता और नियंत्रण
हमारे सटीक लेजर लिफ्ट-ऑफ सिस्टम महत्वपूर्ण सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रियाओं में उत्कृष्ट प्रदर्शन करने के लिए डिज़ाइन किए गए हैं, जो आपके उत्पादन कार्यों के लिए महत्वपूर्ण लाभ प्रदान करते हैं।
सटीक परिशुद्धता और उच्च उत्पादन क्षमता
बेहतर मोशन कंट्रोल, उच्च-रिज़ॉल्यूशन विज़न सिस्टम और उन्नत लेज़र बीम डिलीवरी तकनीक उच्च गति पर भी लगातार उच्च गुणवत्ता वाली प्रोसेसिंग और सटीक अलाइनमेंट सुनिश्चित करती है। इससे आपके लेज़र लिफ्ट-ऑफ अनुप्रयोगों में उत्पादन और दक्षता अधिकतम हो जाती है।
बेहतर प्रक्रिया नियंत्रण और निरंतरता
एकीकृत लेजर ऊर्जा निगरानी, तापमान प्रबंधन और वास्तविक समय प्रक्रिया सत्यापन के साथ, यह प्रणाली लिफ्ट-ऑफ प्रक्रिया पर अद्वितीय नियंत्रण प्रदान करती है। इससे सब्सट्रेट को नुकसान नहीं होता, पूर्ण पृथक्करण सुनिश्चित होता है और प्रत्येक बैच में एकसमान गुणवत्ता की गारंटी मिलती है।
अद्वितीय बहुमुखी प्रतिभा और उपयोग में आसानी
उपयोगकर्ता के अनुकूल सॉफ्टवेयर इंटरफ़ेस जटिल प्रोसेसिंग पैटर्न की आसान प्रोग्रामिंग की सुविधा देता है। क्विक-चेंज ऑप्टिक्स और सरल कैलिब्रेशन जैसी सुविधाओं के कारण न्यूनतम डाउनटाइम के साथ विभिन्न मटेरियल सिस्टम और प्रोसेस आवश्यकताओं के बीच स्विच करना आसान हो जाता है।
अधिकतम अपटाइम और मजबूत डिज़ाइन
एक मजबूत, ऊष्मीय रूप से स्थिर फ्रेम और उच्च गुणवत्ता वाले, औद्योगिक-ग्रेड लेजर घटकों का उपयोग इस उन्नत अर्धचालक प्रसंस्करण उपकरण की रखरखाव आवश्यकताओं को कम करता है और दीर्घकालिक विश्वसनीयता को बढ़ाता है।
तकनीकी विशिष्टताओं की तालिका
यह मशीन आधुनिक सेमीकंडक्टर निर्माण की कठोर मांगों को पूरा करने के लिए बनाई गई है, जिसमें अनुसंधान एवं विकास से लेकर उच्च मात्रा में उत्पादन तक शामिल है।
| वर्ग | विनिर्देश | विवरण |
|---|---|---|
| सामान्य जानकारी | मॉडल संख्या | एलएलओ-3000 प्रो |
| बिजली की आपूर्ति | 380 VAC ±10%, त्रि-चरण, 50/60 हर्ट्ज़, 6.0 kVA | |
| शीतलन प्रणाली | क्लोज्ड-लूप चिलर आवश्यक है | |
| फर्श का क्षेत्रफल (चौड़ाई × गहराई × ऊंचाई) | 2000 मिमी × 1500 मिमी × 2200 मिमी | |
| मशीन वजन | 1200 किलोग्राम | |
| परिचालन लागत वातावरण | श्रेणी 1000 क्लीनरूम, तापमान: 20±1°C, आर्द्रता: 45±5% सापेक्ष आर्द्रता | |
| लेजर प्रणाली | लेजर प्रकार | यूवी डीपीएसएस लेजर |
| वेवलेंथ | 266 एनएम / 355 एनएम (वैकल्पिक) | |
| अधिकतम पल्स ऊर्जा | 2.0 mJ @ 266 nm | |
| पुनरावृत्ति दर | 10-100 किलोहर्ट्ज़ | |
| नाड़ी की चौड़ाई | ||
| बीम की गुणवत्ता | M² | |
| गति और स्थिति निर्धारण | ड्राइव सिस्टम | लीनियर मोटर डायरेक्ट ड्राइव |
| स्थिति निर्धारण सटीकता | ±1.0 μm | |
| repeatability | ±0.5 μm | |
| अधिकतम गति | X/Y: 800 मिमी/सेकंड | |
| न्यूनतम चरण | 0.1 माइक्रोमीटर | |
| दृष्टि और संरेखण | कैमरा सिस्टम | उच्च-रिज़ॉल्यूशन 8MP सीसीडी कैमरा |
| संरेखण सटीकता | ±2.0 μm | |
| पैटर्न मान्यता | स्वचालित न्यासी पहचान | |
| बढ़ाई | 5X-20X (वैकल्पिक) | |
| प्रक्रिया क्षमता | सब्सट्रेट आकार | 2 इंच से 8 इंच तक के वेफर्स |
| प्रक्रिया क्षेत्र | 300 मिमी × 300 मिमी | |
| प्रवाह | प्रति घंटे 60 वेफर्स तक (2 इंच) | |
| लेजर स्पॉट आकार | 10 माइक्रोमीटर - 100 माइक्रोमीटर (समायोज्य) | |
| सॉफ्टवेयर और नियंत्रण | नियंत्रण प्रणाली | 21 इंच टच स्क्रीन वाला औद्योगिक पीसी |
| प्रोग्रामिंग विधि | ग्राफिकल यूज़र इंटरफ़ेस | |
| रेसिपी प्रबंधन | 500 से अधिक रेसिपी | |
| डेटा प्रविष्ट कराना | संपूर्ण प्रक्रिया पैरामीटर रिकॉर्डिंग | |
| इंटरफ़ेस | एसईसीएस/जीईएम, ईथरनेट, यूएसबी |
वैकल्पिक सुविधाएँ और सहायक उपकरण
| विकल्प प्रकार | उपलब्ध सुविधाएँ |
|---|---|
| लेजर विकल्प | उच्च शक्ति लेजर हेड |
| एकाधिक तरंगदैर्ध्य विन्यास | |
| बीम शेपिंग ऑप्टिक्स | |
| स्वचालित एट्यूनेटर | |
| स्वचालन विकल्प | FOUP/LPU लोड पोर्ट |
| रोबोट वेफर हैंडलिंग | |
| एकीकृत मेट्रोलॉजी | |
| इन-लाइन मोटाई माप | |
| प्रक्रिया निगरानी | वास्तविक समय ऊर्जा निगरानी |
| प्लाज्मा पहचान प्रणाली | |
| स्वचालित फोकस निगरानी | |
| थर्मल मैपिंग सिस्टम | |
| सॉफ़्टवेयर अपग्रेड | उन्नत प्रक्रिया नियंत्रण |
| पूर्वानुमानित रखरखाव | |
| रिमोट डायग्नोस्टिक्स | |
| उपज प्रबंधन प्रणाली |
प्रमुख अनुप्रयोग समाधान
माइक्रो एलईडी (μ-LED) डिस्प्ले निर्माण
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नीलम सब्सट्रेट का वियोजननीलम सब्सट्रेट से GaN एपिटैक्सियल परतों का सटीक पृथक्करण
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बड़े पैमाने पर स्थानांतरण सक्षम करनामाइक्रो एलईडी के बड़े पैमाने पर स्थानांतरण के लिए स्वच्छ, क्षतिरहित लिफ्ट-ऑफ प्रक्रिया
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उच्च उपज उत्पादनउच्च घनत्व वाले माइक्रो एलईडी एरे और डिस्प्ले अनुप्रयोगों के लिए अनुकूलित
विद्युत उपकरण निर्माण
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अति-पतली वेफर प्रोसेसिंग20μm जितनी पतली वेफर्स के लिए पृथक्करण प्रक्रिया
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पीछे की ओर धातु अनुकूलताधातुयुक्त पश्च भाग वाले वेफर्स का सुरक्षित प्रसंस्करण
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वाइड बैंडगैप सामग्रीSi, SiC और GaN पावर उपकरणों के लिए समर्थन
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थर्मल प्रबंधनसंवेदनशील विद्युत उपकरण संरचनाओं के लिए उन्नत तापीय नियंत्रण
हमारे क्लाइंट
सेमीकंडक्टर उपकरण क्षेत्र में कई प्रतिष्ठित साझेदारों के साथ मिलकर काम करना हमारे लिए सम्मान की बात है। वैश्विक स्तर पर, हम हनीवेल, फॉक्सकॉन और एचपी जैसी उद्योग जगत की अग्रणी कंपनियों के साथ सहयोग करते हैं। चीन में, हम सनी ऑप्टिकल टेक्नोलॉजी, सनान ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक्स, एचटी-टेक, सिंघुआ टोंगफैंग, टीयूएस होल्डिंग्स और टीसीएल जैसी शीर्ष कंपनियों के साथ साझेदारी करते हैं। हम शीआन जियाओतोंग विश्वविद्यालय और उत्तर पश्चिमी पॉलिटेक्निकल विश्वविद्यालय जैसे अग्रणी शैक्षणिक संस्थानों के साथ भी मिलकर काम करते हैं, उनकी अनुसंधान क्षमताओं का लाभ उठाकर तकनीकी नवाचार को बढ़ावा देते हैं और सेमीकंडक्टर उपकरण क्षेत्र में अत्याधुनिक समाधानों के कार्यान्वयन को प्रोत्साहित करते हैं।
आप हमारे लेजर लिफ्ट-ऑफ उपकरण को क्यों चुनें?
हम सेमीकंडक्टर निर्माण उपकरण के एक विश्वसनीय प्रदाता हैं, जो निम्नलिखित सेवाएं प्रदान करते हैं:ओईएम/ओडीएम और कस्टम डिज़ाइन सेवाएंताकि यह सुनिश्चित हो सके कि आपको अपनी विशिष्ट सामग्री प्रणालियों, उत्पादन आवश्यकताओं और प्रक्रिया एकीकरण की जरूरतों के लिए एकदम सही लेजर लिफ्ट-ऑफ समाधान मिले।
अक्सर पूछे जाने वाले प्रश्न (FAQ)
प्रश्न: यह मशीन किन सामग्रियों और अनुप्रयोगों के लिए उपयुक्त है?
ए:यह मशीन विशेष रूप से GaN/नीलम पृथक्करण, माइक्रो-एलईडी द्रव्यमान स्थानांतरण, पतली फिल्म डीबॉन्डिंग और उन्नत पैकेजिंग अनुप्रयोगों में लेजर लिफ्ट-ऑफ प्रक्रियाओं के लिए डिज़ाइन की गई है। हम आपकी विशिष्ट सामग्री प्रणाली और प्रक्रिया आवश्यकताओं के अनुसार सिस्टम को अनुकूलित कर सकते हैं।
प्रश्न: मैं सही विकल्प कैसे चुनूँ? लेजर लिफ्ट-ऑफ मशीन मेरे आवेदन के लिए?
ए:कृपया हमें अपने सबस्ट्रेट (सामग्री, आकार, मोटाई), लक्षित थ्रूपुट और विशिष्ट प्रक्रिया संबंधी आवश्यकताओं की जानकारी दें। हमारे एप्लीकेशन इंजीनियर आपको सबसे उपयुक्त लेजर कॉन्फ़िगरेशन और सिस्टम स्पेसिफिकेशन की सलाह देंगे।
प्रश्न: वारंटी और तकनीकी सहायता क्या है?
ए:हम एक व्यापक सेवा प्रदान करते हैं।18 महीने की वारंटीहमारे सभी लेजर लिफ्ट-ऑफ सिस्टम पर 24/7 तकनीकी सहायता, नियमित रखरखाव सेवाएं और आसानी से उपलब्ध स्पेयर पार्ट्स की सुविधा उपलब्ध है।
प्रश्न: क्या आप प्रक्रिया विकास संबंधी सहायता प्रदान करते हैं?
ए:जी हां, हमारे पास एक पूरी तरह से सुसज्जित एप्लीकेशन लैब है जहां हम आपकी लेजर लिफ्ट-ऑफ प्रक्रिया को विकसित और अनुकूलित करने में सहायता कर सकते हैं। हम संपूर्ण प्रक्रिया हस्तांतरण और ऑपरेटर प्रशिक्षण सेवाएं प्रदान करते हैं।
प्रश्न: मुझे आपकी कंपनी क्यों चुननी चाहिए?
ए:हम सेमीकंडक्टर उद्योग के लिए अनुकूलित लेजर प्रोसेसिंग समाधान तैयार करने में विशेषज्ञ हैं। अनुसंधान एवं विकास प्रणालियों से लेकर उच्च-मात्रा उत्पादन उपकरणों तक, हमारे पास आपकी विनिर्माण प्रक्रिया को बेहतर बनाने की विशेषज्ञता है। नवाचार, गुणवत्ता और आपकी सफलता के प्रति हमारी प्रतिबद्धता हमें आपका आदर्श भागीदार बनाती है।
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