सेमीकंडक्टर उद्योग के लिए वेफर डाइसिंग सॉ
मुख्य विशेषताएं और उद्योग में अग्रणी लाभ
सेमीकंडक्टर निर्माण के लिए वेफर डाइसिंग सॉ
अति सूक्ष्म गति सटीकता के साथ उच्च परिशुद्धता वाला डाइसिंग सिस्टम
प्रमुख विशेषताऐं
✔ सटीक गति प्रणाली
±0.5μm की पुनरावृति क्षमता वाला रैखिक मोटर ड्राइव
भंगुर/कठोर पदार्थों के लिए अनुकूली गति नियंत्रण (1-300 मिमी/सेकंड)
✔ बहु-सामग्री अनुकूलता
सेमीकंडक्टर वेफर्स: Si, GaAs, GaN, SiC
पैकेजिंग सब्सट्रेट: पीसीबी, क्यूएफएन/डीएफएन लीडलेस पैकेज
विशेष सामग्री: कांच, सिरेमिक, पीजोइलेक्ट्रिक सामग्री
✔ बुद्धिमान प्रक्रिया नियंत्रण
लेजर अलाइनमेंट + मशीन विज़न (सीसीडी पोजिशनिंग सटीकता ±3μm)
स्वचालित ब्लेड घिसाव क्षतिपूर्ति (उपकरण के जीवनकाल को 30% तक बढ़ाती है)
वेफर डाइसिंग सॉ मशीन कॉन्फ़िगरेशन
| X अक्ष | अधिकतम प्रभावी | 310 मिमी | 310 मिमी | 210 मिमी |
| 0.1-1000 मिमी/सेकंड | 0.1-600 मिमी/सेकंड | |||
| वाई अक्ष | अधिकतम प्रभावी | 310 मिमी | 310 मिमी | 170 मिमी |
| एकल चरण वृद्धि | 0.0001 मिमी | 0.0001 मिमी | 0.0001 मिमी | |
| पहुंच सटीकता | 0.003 मिमी/310 मिमी | 0.003 मिमी/310 मिमी | 0.003 मिमी/170 मिमी | |
| Z अक्ष | अधिकतम प्रभावी | 40 मिमी | 40 मिमी | 40 मिमी |
| पुनरावृति सटीकता | 0.001 मिमी | 0.001 मिमी | 0.001 मिमी | |
| अधिकतम कटर व्यास | 58 | 58 | 58 | |
| टैक्सी | अधिकतम घूर्णन कोण | 380° | 380° | 380° |
| धुरा | गति सीमा | 6000-60000 आरपीएम | 6000-60000 आरपीएम | 6000-60000 आरपीएम |
| बिजली उत्पादन | 1.8 किलोवाट (2.4 किलोवाट) | 1.8 किलोवाट (2.4 किलोवाट) | 1.5 किलोवाट (2.4 किलोवाट) | |
| शक्ति | AC380V±10% | AC380V±10% | AC380V±10% | |
| आकार: चौड़ाई × गहराई × ऊंचाई | 1200 मिमी × 1629 मिमी × 1849 मिमी | 1080 मिमी × 1160 मिमी × 1800 मिमी | 630 मिमी x 900 मिमी x 1600 मिमी | |
तकनीकी निर्देश
- डीसी एयर बेयरिंग स्पिंडल
- स्पिंडल पावर 1.8-2.4 किलोवाट (वैकल्पिक)
- 36000-60000 आरपीएम/मिनट
- 2 इंच का चाकू / 3 इंच का चाकू
- डबल स्पिंडल स्पेसिंग न्यूनतम 24 मिमी
- कटर के फलक की समतलता: ≤002 मिमी
- पहुँच सटीकता: +0.003 मिमी
- आसान रखरखाव, यांत्रिक स्थिति निर्धारण
- एनसीएस की सेवा अवधि बढ़ाने के लिए सुरक्षा आवरण
- कटिंग टूल्स या मीटरों की संख्या के अनुसार स्वचालित माप प्रक्रिया के दौरान किया जाता है।
- मजबूत अवरोध-रोधी क्षमता के कारण, जल वाष्प के अवरोध के बावजूद भी ब्लेड स्थिर रूप से कार्य करता है।
- उच्च संवेदनशीलता, सिग्नल फीडबैक समय कम
- न्यूनतम माप 5*0.5 मिमी
केंद्रीय प्रणाली कार्य
- मशीन अलार्म प्रोसेसिंग को हटाएँ
- अलार्म प्रोसेसिंग का समय अधिक है, उत्पादन कार्य में लगे कर्मचारियों की आवाजाही कम होती है, जिससे श्रमशक्ति की बचत होती है।
यह मशीन पूरी तरह से स्वचालित है, जिसमें स्वचालित लोडिंग, संरेखण, कटिंग, सफाई और सुखाने की सुविधा है।
SECS GEM फ़ंक्शन:
- डिवाइस की स्थिति को वास्तविक समय में मॉनिटर किया जा सकता है; उदाहरण के लिए, निष्क्रिय, चालू, बंद;
- एकीकृत पैरामीटर प्रबंधन के लिए डिवाइस डेटा डाउनलोड/अपलोड करें।
- यह उपकरण की सभी घटना संबंधी जानकारी को एकत्र और संकलित कर सकता है, जिसमें सामग्री संबंधी जानकारी, संचालन संबंधी जानकारी, अलार्म संबंधी जानकारी आदि शामिल हैं।
- आप अलार्म का स्तर निर्धारित कर सकते हैं, समस्या होने पर डिवाइस को लॉक कर सकते हैं और अलार्म हटाने और समस्या का समाधान करने के लिए विशिष्ट अनुमतियाँ मांग सकते हैं।