自動IC/ウェハーレーザーマーキング装置

✅ ウェハーの取り扱い:
- 高度なロードポートシステムを介してFOUPのロードをサポートします
- ロボットアームによるフィルム搬送で、スムーズかつ正確なウェハ搬送を実現
- ウェハーの中心位置と角度を正確に補正する自動校正装置

✅ マーキングと識別:
・ウェハー端面識別用の高解像度レーザーマーキング（永久的かつ非損傷性）
- 自動検証のためのOCR認識検出（オプション）

✅ スマートな自動化と接続性：
- プロセス効率化のための自動スキャン
- SECS/GEMプロトコルをサポートし、顧客の工場システムとのシームレスな統合を実現（インダストリー4.0対応）

✅ クリーンルーム対応（オプション）：
- 汚染制御のためのFFU（ファンフィルターユニット）空気浄化システム
- 煙と粉塵の収集・ろ過システムにより、より清潔な作業環境を実現します。

この完全自動化された高精度レーザーマーキングシステムは、半導体製造におけるトレーサビリティ、効率性、信頼性を確保し、現代のICおよびウェハ製造における厳しい要件を満たします。

アプリケーション: 半導体ウェハーマーキングICパッケージング、MEMS、LED、および先端電子機器製造。

詳細、カスタマイズ、デモをご希望の場合は、お気軽にお問い合わせください！

1. 人間の労働力を代替することで、人件費を削減する。
2. 操作は簡単で便利、高速かつ精密な制御が可能です。
3. 高精度モーターにより、正確な吐出を実現します。
4. 高性能で外観も美しい直線構造プラットフォーム。
5. 高剛性アルミニウム合金製の多軸設計により、信頼性と精度が確保されます。

フォントサポート:
SEMI準拠フォント：
5×9（単線密度）
10×18（二重線密度）
特殊なマーキング要件に対応するアラビア語フォントのサポート
カスタムフォントの統合（ご要望に応じて対応）

バーコードおよび2次元コードのサポート：
BC-412 SEMI T1バーコード（ウェハ識別用の業界標準）
トレーサビリティ向上のためのQRコード／データマトリックス（オプション）
カスタムマーキングレイアウトとシンボルフォーマット

対応サイズ：
オプション1：2-4-6インチ
オプション2：4-6-8インチ
オプション3：8～12インチ
特殊ウェハーハンドリング：半導体以外の形状／材料に合わせてカスタマイズ可能。

清浄度：ISOクラス2（駆動構造内部に独立した排気口を設置）。
電源：
アーム/駆動：DC24V ±10%、16A
ステッピングモーター：2相、DC24V ±10%、3A（コントローラーは本体に内蔵）。
真空：-53kPa以上（ベルヌーイの吸盤：0.5MPaの圧縮空気）。

✅ 高速高精度：重要なウェハーハンドリングのためのサブミクロン精度。
✅ 柔軟な統合：SEMI規格およびファクトリーオートメーション（SECS/GEM）をサポートします。
✅ クリーンルーム対応：ISOクラス2に準拠し、微粒子汚染を最小限に抑えています。
✅ 拡張可能なソリューション：特殊な形状のウェハーや複数サイズの生産ラインに合わせてカスタマイズ可能です。