DS9260: Gergaji Dadu Automatik Ketepatan Tinggi untuk Pemprosesan Wafer Semikonduktor
| Parameter Utama | Spesifikasi |
|---|---|
| Saiz Wafer | 12 inci (300mm) |
| Kedalaman Alur | 0–5 mm |
| Lebar Takuk | 0.015–0.5 mm |
| Kerataan Meja Kerja | ±1 μm |
Senibina Berkelajuan Tinggi Dwi-Gel untuk Produktiviti Maksimum
Kuasa tinggi lawan DS9260gelendong bergandakonfigurasi (2.2 kW × 2) membolehkan pemprosesan serentak, meningkatkan daya pemprosesan secara mendadak untukpembungkusan semikonduktoraplikasi. Digandingkan dengan aplikasi bersepaduSistem Pengukuran Tanpa Sentuhan (NCS), sistem ini memastikan kedudukan bilah yang tepat dan pengesahan kedalaman di seluruhsingulasi matiproses.
Ciri-ciri Produktiviti Utama:
-
Serentak atau berurutanpemotongan wafer automatik
-
1,000–60,000 RPMkelajuan gelendongjulat
-
Sistem penjajaran penglihatan bersepadu
-
Pemantauan proses masa nyata
Automasi Lengkap: Daripada Memuatkan hingga Memunggah
Pengalaman yang benar-benarpemotongan dadu automatik sepenuhnyadengan aliran kerja bersepadu DS9260. Sistem ini mengendalikan:
-
Pemuatan wafer automatikdan pra-penjajaran
-
Ketepatanpemprosesan waferdengan pelarasan masa nyata
-
Stesen pembersihan dua bendalir bersepadu
-
Pemunggahan dan pengisihan automatik
Automasi lengkap ini meminimumkan intervensi manual, mengurangkan risiko pencemaran dan memastikanpeningkatan hasilmerentasi kelompok pengeluaran.
Sistem Kawalan Kualiti Pintar
DS9260 menggabungkan pelbagai sistem pengesanan untuk mengekalkan kecemerlanganpemotongan dadu berketepatan tinggikualiti:
Sistem Pengukuran Tanpa Sentuhan (NCS)
Memastikan kedudukan bilah-ke-wafer yang tepat dankedalaman alurpengesahan tanpa sentuhan permukaan.
Pemantauan Kesihatan Bilah
-
Fungsi Pengesanan Bilah: Kehausan dan status monitor
-
Pengesanan Kerosakan Bilah (BBD)Mengenal pasti isu integriti secara automatik
-
Apakah Pengesanan Kerosakan Bilah (BBD)?Sistem proprietari yang menghalang kerosakan wafer yang mahal dengan mengesan keabnormalan bilah dalam masa nyata.
Kawalan Proses Automatik
-
Pengecaman bentuk benda kerja untuk pelbagai geometri
-
Pengimbasan data pilihan untuk kebolehkesanan penuh
-
Pelarasan parameter masa nyata
Spesifikasi Teknikal: Kejuruteraan Ketepatan
Prestasi Sistem Gerakan
| Paksi | Pandu | Resolusi | Prestasi |
|---|---|---|---|
| X/Y | Motor Linear | 0.1 µm | 1–800 mm/s |
| DENGAN | Servo + Skru Bola | 0.1 µm | Ketepatan ±1 μm |
| saya | Servo + Harmonik | 0.001° | Kebolehulangan ±2 arcsec |
Yangperingkat motor linearsistem pemacu memastikan kecemerlangankerataan meja kerjadan ketepatan kedudukan yang penting untuk peringkat lanjutanpemotongan substrat.
| Kategori | Parameter | Spesifikasi |
|---|---|---|
| Parameter Asas | Saiz Pemprosesan | 12 inci |
| Kedalaman Alur | 0–5 mm | |
| Lebar Alur | 0.015–0.5 mm | |
| Kerataan Meja Kerja | ±1 μm | |
| Paksi X/Y | Kaedah Pemacu | Motor Linear |
| Strok Berkesan | 310 mm | |
| Resolusi Gerakan | 0.1 µm | |
| Julat Kelajuan | 1–800 mm/s | |
| Paksi-Z | Kaedah Pemacu | Motor Servo + Skru Bola |
| Strok Berkesan | 40 mm | |
| Resolusi Gerakan | 0.1 µm | |
| Ketepatan Kedudukan Satu Langkah | 1 µm | |
| Ketepatan Kedudukan Lejang Penuh | 3 µm | |
| Paksi-θ | Kaedah Pemacu | Motor Servo + Pemacu Harmonik |
| Julat Putaran | 0–360° | |
| Resolusi Gerakan | 0.001° | |
| Ketepatan Kedudukan Ulang | ±2 lengkok saat | |
| Sistem Spindle | Kelajuan Putaran | 1,000–60,000 rpm |
| Kuasa Keluaran | 2.2 kW × 2 | |
| Sistem Penjajaran | Penentuan Kedudukan Dwi FOV CCD + Laser | |
| Keperluan Utiliti | Bekalan Kuasa | AC 380V, 50/60 Hz, 8 kVA |
| Udara Mampat | 0.6–0.8 MPa, 500 L/min | |
| Air Dadu | 0.2–0.4 MPa, 200 L/min | |
| Air Penyejuk | 0.2–0.4 MPa, 300 L/min | |
| Aliran Udara Ekzos | 8.0 m³/min (ANR) | |
| Spesifikasi Fizikal | Dimensi | 1200 × 1600 × 1800 mm (L×T×T) |
| Berat | 2200 kg | |
| Keperluan Alam Sekitar | Suhu | 20–25°C (±1°C) |
| Kelembapan | 40–60% RH | |
| Kualiti Udara Mampat | Takat embun ≤ -15°C, Minyak ≤ 0.1 ppm |
Keperluan Alam Sekitar & Utiliti
-
Persekitaran Operasi: 20–25°C (±1°C), 40–60% RH
-
Peralatan Bilik Bersihreka bentuk yang serasi
-
Kuasa: AC 380V, 8 kVA
-
Udara Mampat: 0.6–0.8 MPa, takat embun ≤ -15°C
Aplikasi: Penyelesaian Pemotongan Dadu Serbaguna
Pembungkusan Semikonduktor
-
Pemotongan dadu QFNdanSingulasi BGAdengan ketepatan yang tinggi
-
WLP Kipas Keluar (Pembungkusan Tahap Wafer)
-
Aplikasi pembungkusan IC lanjutan
LED & Optoelektronik
-
Pemotongan wafer LEDsubstrat nilam dan GaN
-
Gergaji dadu untuk pembuatan optoelektronik
-
Komponen fotonik dan peranti optik
Pemprosesan Bahan Lanjutan
-
Gergaji dadu untuk silikon dan seramikbahan
-
MEMS dan singulasi sensor
-
Komponen RF dan cip komunikasi
Keserasian Bahan & Pemilihan Bilah Dadu
DS9260 menyokong pelbagai jenis bahan yang penting untuk pembuatan elektronik moden:
Kumpulan Bahan Utama
-
SemikonduktorSilikon, SiC, GaN
-
Seramik: Alumina, Aluminium Nitrida
-
Kaca & OptikKuarza, Silika Terlakur
-
KompositPCB, laminasi khusus
Panduan Keserasian Bilah Dadu
Kamikeserasian bilah gergaji dadukepakaran memastikan prestasi optimum untuk aplikasi khusus anda:
-
Bilah berlian (resin, logam, ikatan seramik)
-
Teknologi SDC (Teras Berlian Pepejal)
-
Konfigurasi tersuai untuk yang tertentulebar takukkeperluan
-
Cadangan bilah khusus bahan

Bahan yang Serasi
Wafer Silikon, PCB, Seramik, Kaca, Litium Bersalut Keras, Aluminium Oksida, Kuarza, Litium dengan Salutan

Aliran Kerja Automatik untuk Kecekapan Puncak
Fasa 1: Pemuatan Pintar
Lengan pilih dan letak yang lebih rendah mengambil wafer daripada kaset, dengan prapenjajaran automatik memastikan orientasi sempurna sebelum pemasangan vakum pada meja kerja.
Fasa 2: Operasi Dadu Ketepatan
Spindle berkelajuan tinggi melaksanakan corak pemotongan dadu yang diprogramkan sementara sistem NCS sentiasa memantau dan melaraskan parameter pemotongan dalam masa nyata untuk ketepatan yang konsisten.singulasi matikualiti.
Fasa 3: Pembersihan Bersepadu
Lengan pengangkutan atas menggerakkan wafer yang diproses ke stesen pembersihan dua bendalir, membuang semua zarah dan sisa sebelum pengeringan udara panas.
Fasa 4: Pembongkaran Automatik
Wafer yang telah siap kembali melalui stesen pengesahan penjajaran untuk mengeluarkan kaset, melengkapkan kitaran automatik gelung tertutup.
Penyelenggaraan & Servis: Memaksimumkan Pelaburan Anda
Komprehensif kamiperkhidmatan penyelenggaraan gergaji potong daduprogram memastikan prestasi optimum dan jangka hayat yang panjang:
Ekosistem Sokongan
-
Penyelenggaraan PencegahanPemeriksaan dan penentukuran berjadual
-
Diagnostik JauhSambungan selamat untuk penyelesaian masalah yang pantas
-
Perkhidmatan Atas PermintaanSokongan kejuruteraan bidang pakar
-
Program LatihanPensijilan pengendali dan penyelenggaraan
-
Alat Ganti: Ketersediaan komponen kritikal yang terjamin
Analisis Persaingan: DS9260 vs. Alternatif Pasaran
| Ciri | Gergaji Dadu DS9260 | Pesaing Standard |
|---|---|---|
| Tahap Automasi | Muat/dadu/bersih/bongkar bersepadu sepenuhnya | Selalunya separa automatik |
| Metrologi | Mikroskop NCS + bersepadu | Probe laser atau sentuhan asas |
| Perlindungan Bilah | Sistem BBD piawai | Pilihan atau tidak tersedia |
| Sistem Gerakan | Motor linear semua paksi | Teknologi campuran |
| Daya pemprosesan | Pemprosesan serentak dwi-spindle | Biasanya gelendong tunggal |
Kajian Kes: Mengubah Pengeluaran Pembungkusan QFN
Seorang yang terkemukapembekal gergaji dadu jitumelaksanakan DS9260 untuk pengeluar semikonduktor utamaPemotongan dadu QFNbarisan, mencapai keputusan yang luar biasa:
Penambahbaikan Prestasi
-
Peningkatan Daya Pemprosesan 45%Pemprosesan dwi-spindle mengurangkan masa kitaran
-
Kadar Hasil 99.2%Sistem NCS dan BBD meminimumkan patah acuan
-
Pengurangan Buruh 60%Automasi penuh menghapuskan pengendalian manual
-
Pelanjutan Hayat Bilah 25%Pemantauan pintar yang dioptimumkan untuk penggunaan bilah
Mengapa Perlu Bekerjasama dengan Kami untuk Keperluan Dadu Anda?
Apabila andabandingkan model gergaji dadu automatik, DS9260 menonjol melalui:
Keunggulan Teknikal
-
Ketepatan terkemuka industri dengan ±1 μmkerataan meja kerja
-
LanjutanSistem Pengukuran Tanpa Sentuhan (NCS)
-
Kukuhgelendong bergandaseni bina untuk produktiviti maksimum
Kecemerlangan Operasi
-
Automasi lengkap mengurangkan kos operasi
-
Sistem pintar mencegah ralat yang mahal
-
Keserasian bahan yang luas untuk fleksibiliti pengeluaran
Sokongan Komprehensif
-
Panduan pakar tentangcara meningkatkan hasil pemotongan wafer
-
Penuhperkhidmatan penyelenggaraan gergaji potong daduprogram
-
Sokongan kejuruteraan khusus aplikasi
Kelebihan Jumlah Kos Pemilikan
-
Daya pemprosesan yang lebih tinggi mengurangkan kos seunit
-
Hasil yang dipertingkatkan meminimumkan pembaziran bahan
-
Mengurangkan masa henti melalui penyelenggaraan proaktif
-
Keperluan buruh yang lebih rendah melalui automasi penuh
Langkah Seterusnya: Ubah Operasi Dadu Anda
DS9260sistem pemotongan wafer automatik 12 incimewakili masa depan pembuatan semikonduktor jitu. Sama ada anda memproses lanjutanpembungkusan semikonduktor, membuat persembahanPemotongan wafer LED, atau bekerja dengan bahan yang mencabar seperti seramik dan komposit, sistem ini memberikan ketepatan, kelajuan dan kebolehpercayaan yang diperlukan oleh persekitaran pengeluaran moden.
Bersedia untuk menilai DS9260 untuk aplikasi anda?
[Hubungi pasukan kejuruteraan kami] untuk:
-
TerperinciSpesifikasi gergaji dadu DS9260
-
Data prestasi khusus aplikasi
-
Harga mesin dadu gelendong bergandapetikan
-
Penjadualan demonstrasi langsung
-
Analisis aliran kerja tersuai



