Gergaji Dadu Wafer untuk Industri Semikonduktor
Ciri-ciri Utama & Kelebihan Terkemuka Industri
Gergaji Dadu Wafer untuk Pembuatan Semikonduktor
Sistem Dadu Ketepatan Tinggi dengan Ketepatan Gerakan Ultra Halus
Ciri-ciri Utama
✔ Sistem Gerakan Ketepatan
Pemacu motor linear dengan kebolehulangan ±0.5μm
Kawalan kelajuan adaptif (1-300mm/s) untuk bahan rapuh/keras
✔ Keserasian Pelbagai Bahan
Wafer Semikonduktor: Si, GaAs, GaN, SiC
Substrat Pembungkusan: PCB, pakej tanpa plumbum QFN/DFN
Bahan Khusus: Kaca, seramik, bahan piezoelektrik
✔ Kawalan Proses Pintar
Penjajaran laser + penglihatan mesin (ketepatan kedudukan CCD ±3μm)
Pampasan haus bilah automatik (memanjangkan hayat alat sebanyak 30%)
Konfigurasi Mesin Gergaji Dadu Wafer
| Paksi X | berkesan maksimum | 310mm | 310mm | 210mm |
| 0.1-1000mm/s | 0.1-600mm/s | |||
| Paksi Y | berkesan maksimum | 310mm | 310mm | 170mm |
| peningkatan langkah tunggal | 0.0001mm | 0.0001mm | 0.0001mm | |
| mencapai ketepatan | 0.003mm/310mm | 0.003mm/310mm | 0.003mm/170mm | |
| Paksi Z | berkesan maksimum | 40mm | 40mm | 40mm |
| ketepatan pengulangan | 0.001mm | 0.001mm | 0.001mm | |
| diameter pemotong maksimum | 58 | 58 | 58 | |
| Paksi T | sudut putaran maksimum | 380° | 380° | 380° |
| gelendong | julat kelajuan | 6000-60000rpm | 6000-60000rpm | 6000-60000rpm |
| kuasa keluaran | 1.8KW (2.4KW) | 1.8KW (2.4KW) | 1.5KW (2.4KW) | |
| kuasa | AC380V±10% | AC380V±10% | AC380V±10% | |
| Saiz P×L×T | 1200mm×1629mm×1849mm | 1080mm×1160mm×1800mm | 630mmx900mmx1600mm | |
Spesifikasi teknikal
- Spindle galas udara DC
- kuasa gelendong 1.8-2.4KW pilihan
- 36000-60000 RPM/min
- Pisau 2 inci/pisau 3 inci
- jarak gelendong berganda minimum 24mm
- Kerataan permukaan pemotong: ≤002mm
- Ketepatan capaian: +0.003mm
- Penyelenggaraan mudah, kedudukan mekanikal
- Perlindungan keselamatan untuk memanjangkan hayat perkhidmatan NCS
- Pengukuran automatik dalam pemprosesan mengikut bilangan alat pemotong atau meter
- Anti-gangguan yang kuat, di bawah gangguan wap air, bilah masih dikesan secara stabil
- Kepekaan tinggi, masa maklum balas isyarat adalah pendek
- Ukuran minimum 5*0.5mm
Fungsi sistem pusat
- Alih keluar pemprosesan penggera mesin
- Masa pemprosesan penggera adalah tinggi, kakitangan lien pengeluaran kurang berjalan, menjimatkan tenaga kerja
Mesin ini automatik sepenuhnya, pemuatan, penjajaran, pemotongan, pembersihan dan pengeringan automatik
Fungsi SECS GEM:
- Boleh memantau status peranti dalam masa nyata; Contohnya, ldle, Run, Down;
- Muat Turun/Muat Naik Data Peranti untuk pengurusan parameter seragam.
- Boleh mengumpul dan mengkaji statistik semua maklumat Peristiwa peralatan, termasuk maklumat bahan, maklumat operasi, maklumat penggera, dsb.
- Anda boleh menetapkan tahap penggera, apabila masalah berlaku, anda boleh mengunci peranti dan meminta kebenaran khusus untuk mengalih keluar penggera dan menangani masalah tersebut