Serra de corte de wafers para a indústria de semicondutores
Principais características e vantagens líderes do setor
Serra de corte de wafers para fabricação de semicondutores
Sistema de corte de alta precisão com movimentos ultrafinos.
Principais características
✔ Sistema de Movimento de Precisão
Acionamento de motor linear com repetibilidade de ±0,5 μm
Controle adaptativo de velocidade (1-300 mm/s) para materiais frágeis/duros
✔ Compatibilidade com múltiplos materiais
Pastilhas semicondutoras: Si, GaAs, GaN, SiC
Substratos de encapsulamento: PCB, encapsulamentos QFN/DFN sem terminais
Materiais especiais: Vidro, cerâmica, materiais piezoelétricos
✔ Controle Inteligente de Processos
Alinhamento a laser + visão computacional (precisão de posicionamento CCD ±3μm)
Compensação automática do desgaste da lâmina (aumenta a vida útil da ferramenta em 30%)
Configuração da máquina de corte de wafers
| Eixo X | máximo eficaz | 310 mm | 310 mm | 210 mm |
| 0,1-1000 mm/s | 0,1-600 mm/s | |||
| Eixo Y | máximo eficaz | 310 mm | 310 mm | 170 mm |
| incremento de passo único | 0,0001 mm | 0,0001 mm | 0,0001 mm | |
| precisão de alcance | 0,003 mm/310 mm | 0,003 mm/310 mm | 0,003 mm/170 mm | |
| eixo Z | máximo eficaz | 40 mm | 40 mm | 40 mm |
| precisão de repetição | 0,001 mm | 0,001 mm | 0,001 mm | |
| diâmetro máximo do cortador | 58 | 58 | 58 | |
| Táxis | ângulo de rotação máximo | 380° | 380° | 380° |
| fuso | faixa de velocidade | 6000-60000 rpm | 6000-60000 rpm | 6000-60000 rpm |
| potência de saída | 1,8 kW (2,4 kW) | 1,8 kW (2,4 kW) | 1,5 kW (2,4 kW) | |
| poder | AC380V±10% | AC380V±10% | AC380V±10% | |
| Dimensões (L x P x A) | 1200 mm × 1629 mm × 1849 mm | 1080 mm × 1160 mm × 1800 mm | 630 mm x 900 mm x 1600 mm | |
Especificações técnicas
- Eixo de rolamento de ar CC
- Potência do fuso 1,8-2,4 kW (opcional)
- 36000-60000 RPM/min
- Faca de 2 polegadas/Faca de 3 polegadas
- Espaçamento entre eixos duplos mínimo de 24 mm
- Planicidade da face de corte: ≤0,02 mm
- Precisão de alcance: +0,003 mm
- Manutenção fácil, posicionamento mecânico
- Capa de segurança para prolongar a vida útil do NCS
- Medição automática durante o processamento, de acordo com o número de ferramentas de corte ou metros.
- Alta resistência a interferências; mesmo sob interferência de vapor d'água, a lâmina mantém a detecção estável.
- Alta sensibilidade, tempo de resposta do sinal curto
- Medida mínima: 5 x 0,5 mm
Função do sistema central
- Remover o processamento de alarme da máquina
- O tempo de processamento de alarmes é alto, o pessoal de linha de produção se desloca menos, economizando mão de obra.
A máquina é totalmente automática, com carregamento, alinhamento, corte, limpeza e secagem automáticos.
Função SECS GEM:
- Permite monitorar o status do dispositivo em tempo real; por exemplo, ocioso, em execução, inativo;
- Baixar/Carregar dados do dispositivo para gerenciamento unificado de parâmetros.
- É possível coletar e gerar estatísticas de todas as informações de eventos do equipamento, incluindo informações de materiais, informações de operação, informações de alarmes, etc.
- Você pode definir o nível de alarme e, quando o problema ocorrer, bloquear o dispositivo e solicitar permissões específicas para remover o alarme e resolver o problema.