Пила для нарезки полупроводниковых пластин для полупроводниковой промышленности
Основные характеристики и лидирующие в отрасли преимущества
Пила для нарезки полупроводниковых пластин
Высокоточная система нарезки кубиками с ультравысокой точностью движений.
Основные характеристики
✔ Система точного перемещения
Линейный моторный привод с повторяемостью ±0,5 мкм
Адаптивное регулирование скорости (1-300 мм/с) для хрупких/твердых материалов.
✔ Совместимость с различными материалами
Полупроводниковые пластины: Si, GaAs, GaN, SiC
Подложки для упаковки: печатные платы, корпуса QFN/DFN без выводов.
Специальные материалы: стекло, керамика, пьезоэлектрические материалы.
✔ Интеллектуальное управление технологическими процессами
Лазерная юстировка + машинное зрение (точность позиционирования по ПЗС-матрице ±3 мкм)
Автоматическая компенсация износа лезвия (продлевает срок службы инструмента на 30%)
Конфигурация станка для нарезки вафель на пиле
| Ось X | максимально эффективный | 310 мм | 310 мм | 210 мм |
| 0,1-1000 мм/с | 0,1-600 мм/с | |||
| Ось Y | максимальная эффективность | 310 мм | 310 мм | 170 мм |
| одношаговое приращение | 0,0001 мм | 0,0001 мм | 0,0001 мм | |
| точность достижения | 0,003 мм/310 мм | 0,003 мм/310 мм | 0,003 мм/170 мм | |
| Ось Z | максимально эффективный | 40 мм | 40 мм | 40 мм |
| точность повторения | 0,001 мм | 0,001 мм | 0,001 мм | |
| максимальный диаметр режущего инструмента | 58 | 58 | 58 | |
| Таксис | максимальный угол поворота | 380° | 380° | 380° |
| шпиндель | диапазон скоростей | 6000-60000 об/мин | 6000-60000 об/мин | 6000-60000 об/мин |
| выходная мощность | 1,8 кВт (2,4 кВт) | 1,8 кВт (2,4 кВт) | 1,5 кВт (2,4 кВт) | |
| власть | AC380В±10% | AC380В±10% | AC380В±10% | |
| Размеры Ш×Г×В | 1200 мм × 1629 мм × 1849 мм | 1080 мм × 1160 мм × 1800 мм | 630 мм x 900 мм x 1600 мм | |
Технические характеристики
- Шпиндель постоянного тока с воздушным подшипником
- Мощность шпинделя 1,8-2,4 кВт (опционально)
- 36000-60000 об/мин
- 2-дюймовый нож/3-дюймовый нож
- расстояние между двойными шпинделями: минимум 24 мм
- Плоскостность режущей поверхности: ≤002 мм
- Точность измерения: +0,003 мм
- Простота в обслуживании, механическое позиционирование
- Защитное покрытие для продления срока службы NCS
- Автоматическое измерение в процессе обработки в зависимости от количества режущих инструментов или метров.
- Высокая помехоустойчивость: даже при воздействии водяного пара лезвие остается стабильно детектируемым.
- Высокая чувствительность, короткое время обратной связи сигнала.
- Минимальный размер: 5*0,5 мм
Функция центральной системы
- Удаление обработки сигналов тревоги оборудования
- Время обработки сигналов тревоги велико, персонал, ответственный за контроль производства, меньше ходит пешком, что позволяет экономить рабочую силу.
Станок полностью автоматизирован: автоматическая загрузка, выравнивание, резка, очистка и сушка.
Функция SECS GEM:
- Позволяет отслеживать состояние устройства в режиме реального времени; например, режимы "простой", "работает", "остановка".
- Загрузка/выгрузка данных устройства для унифицированного управления параметрами.
- Может собирать и обрабатывать в статистике всю информацию о событиях, связанных с оборудованием, включая информацию о материалах, информацию об эксплуатации, информацию о тревогах и т. д.
- Вы можете установить уровень тревоги, а при возникновении проблемы заблокировать устройство и запросить определенные разрешения для снятия тревоги и устранения неполадки.