การแนะนำ
ในกระบวนการผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ขั้นสูง การสร้างพื้นผิวที่สะอาดหมดจดและมีประสิทธิภาพสูงเป็นสิ่งสำคัญอย่างยิ่งต่อการยึดติด การเคลือบ การพิมพ์ การห่อหุ้ม และการประกอบที่น่าเชื่อถือ แม้แต่สารตกค้างอินทรีย์หรือการปนเปื้อนของออกไซด์ในระดับจุลภาคก็สามารถลดความแข็งแรงในการยึดติด ความน่าเชื่อถือทางไฟฟ้า และความเสถียรของผลิตภัณฑ์ในระยะยาวได้อย่างมาก
เดอะ เครื่องทำความสะอาดพลาสม่าแบบสุญญากาศ PLASMA VP-60L RF เป็นระบบบำบัดพื้นผิวด้วยพลาสมาแรงดันต่ำประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาเพื่อการทำความสะอาดและกระตุ้นพื้นผิวอย่างแม่นยำในอุตสาหกรรมต่างๆ เช่น เซมิคอนดักเตอร์ แผงวงจรพิมพ์ จอแสดงผล อุปกรณ์ทางการแพทย์ ยานยนต์ และพลังงานใหม่
ในฐานะวิศวกรกระบวนการอาวุโสที่ บริษัท เจียงซู หิมาลัย เซมิคอนดักเตอร์ จำกัดฉันมีประสบการณ์มากมายในการทำงานกับระบบการปรับสภาพพื้นผิวด้วยพลาสมาในกระบวนการผลิตบรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์และการประกอบไมโครอิเล็กทรอนิกส์ เครื่อง PLASMA VP-60L ให้ความสมดุลที่ยอดเยี่ยมระหว่างความเสถียรของกระบวนการ การทำงานอัตโนมัติ ความสามารถในการทำซ้ำ และความคุ้มค่าสำหรับทั้งห้องปฏิบัติการวิจัยและพัฒนาและสภาพแวดล้อมการผลิตขนาดกลางถึงขนาดใหญ่
เหตุใดการปรับสภาพพื้นผิวด้วยพลาสมาจึงมีความสำคัญ
การทำความสะอาดด้วยพลาสมา RF ช่วยขจัดสิ่งปนเปื้อนอินทรีย์ขนาดเล็ก ชั้นออกไซด์ และสารตกค้างระดับโมเลกุล ซึ่งกระบวนการทำความสะอาดแบบเปียกทั่วไปมักไม่สามารถกำจัดได้อย่างมีประสิทธิภาพ
ในกระบวนการบรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์และการประกอบชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ที่มีความแม่นยำสูง การกระตุ้นด้วยพลาสมาช่วยเพิ่มพลังงานพื้นผิว ทำให้สามารถ:
- การยึดติดของชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ที่แข็งแรงยิ่งขึ้น
- ความน่าเชื่อถือในการเชื่อมต่อสายไฟที่ดีขึ้น
- การซึมซับน้ำใต้วัสดุอุดที่ดีขึ้น
- ความสม่ำเสมอของการเคลือบที่ดียิ่งขึ้น
- ลดความเสี่ยงการแยกชั้น
- ความน่าเชื่อถือของบรรจุภัณฑ์ในระยะยาวที่สูงขึ้น
เมื่อเปรียบเทียบกับการทำความสะอาดด้วยตัวทำละลายแบบดั้งเดิม การบำบัดด้วยพลาสมาสุญญากาศมีข้อดีดังนี้:
- กระบวนการผลิตแบบแห้งและเป็นมิตรต่อสิ่งแวดล้อม
- ห้ามทิ้งของเสียเคมี
- ลดความเสี่ยงจากการปนเปื้อน
- ความสม่ำเสมอในการรักษาที่เหนือกว่า
- กระบวนการมีความสม่ำเสมอดีเยี่ยม
- เข้ากันได้ดีกว่ากับชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ที่ไวต่อความเสียหาย
ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิคที่สำคัญ
| รายการ | ข้อกำหนด |
| รุ่นอุปกรณ์ | พลาสม่า วีพี-60แอล |
| ขนาดภายนอก | 1100(ลึก) × 810(กว้าง) × 1550(สูง) มม. |
| ขนาดห้องสุญญากาศ | 492(ลึก) × 390(กว้าง) × 350(สูง) มม. |
| ระบบอิเล็กโทรด | แผ่นแนวนอน 4 ชั้น |
| ความสูงของชั้นอิเล็กโทรด | 46 มม. |
| กำลังไฟฟ้าที่กำหนด | 3.5 กิโลวัตต์ |
| แหล่งจ่ายไฟ | AC380V ±10% @ 50Hz |
| ระดับสุญญากาศใช้งาน | 10–60 ปาสคาล |
| เวลาในการดูดสุญญากาศ | |
| เวลาหยุดพักของเครื่องดูดฝุ่น | |
| กำลังไฟฟ้า RF | ปรับได้ต่อเนื่อง 0–500 วัตต์ |
| ความแม่นยำของกำลัง RF | ±3% |
| การจับคู่ RF | ระบบอัตโนมัติเต็มรูปแบบ ระบบรักษาเสถียรภาพอัตโนมัติ |
| ก๊าซในกระบวนการผลิต | อาร์, เอ็น₂, โอ₂, เอช₂, เอช₄ |
| ช่องก๊าซ | 2 ช่องสัญญาณ |
| ช่วงการไหลของ MFC | 0–200 sccm |
| น้ำหนักเครื่องจักร | ประมาณ 500 กิโลกรัม |
| การปรับแต่ง | สามารถปรับแต่งขนาดห้องและรูปแบบการจัดวางอิเล็กโทรดได้ |
ข้อดีหลักของ PLASMA VP-60L
การทำความสะอาดพื้นผิวที่เหนือกว่า
ระบบนี้ช่วยขจัดสิ่งต่อไปนี้ได้อย่างมีประสิทธิภาพ:
- การปนเปื้อนอินทรีย์
- ฟิล์มออกไซด์
- กากฟลักซ์
- ลายนิ้วมือ
- สิ่งเจือปนบนพื้นผิวระดับโมเลกุล
วิธีนี้ช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพการยึดติดและการเคลือบในขั้นตอนถัดไปได้อย่างมาก
การยึดเกาะที่ดีเยี่ยม
กระบวนการพลาสมา RF ช่วยเพิ่มพลังงานพื้นผิวเพื่อปรับปรุง:
- การยึดติดของแม่พิมพ์
- การเตรียมการเชื่อมต่อสายไฟ
- การเคลือบแบบคอนฟอร์มอล
- การพิมพ์หมึก
- การยึดติดด้วยอีพ็อกซี่
- การเตรียมพื้นผิวก่อน SMT
การประมวลผลทางอุตสาหกรรมอย่างรวดเร็ว
โดยทั่วไปแล้ว วงจรการทำงานของกระบวนการพลาสมาจะมีช่วงดังนี้:
- 2-10 นาที ขึ้นอยู่กับวัสดุและข้อกำหนดในการบำบัด
ระบบการอพยพอย่างรวดเร็วและการจับคู่ RF อัตโนมัติช่วยเพิ่มประสิทธิภาพในการประมวลผล
ความสามารถในการทำซ้ำกระบวนการสูง
เครื่อง PLASMA VP-60L ใช้:
- การควบคุมกำลังไฟฟ้า RF ที่แม่นยำ
- ตัวควบคุมอัตราการไหลของมวลสารโดยเฉพาะ (MFC)
- การควบคุมสุญญากาศที่เสถียร
- การจัดลำดับกระบวนการอัตโนมัติ
วิธีนี้ช่วยให้ได้ผลลัพธ์การบำบัดด้วยพลาสมาที่มีความสม่ำเสมอสูงในแต่ละรอบการผลิต
ใช้งานง่าย ระบบการทำงานอัตโนมัติเต็มรูปแบบ
ระบบรองรับ:
- สถาปัตยกรรมควบคุม PLC
- อินเทอร์เฟซหน้าจอสัมผัสความละเอียดสูง
- การเก็บรักษาสูตรอาหาร
- การทำงานอัตโนมัติด้วยปุ่มเดียว
- โหมดแมนนวลและโหมดอัตโนมัติ
ผู้ปฏิบัติงานที่มีการฝึกอบรมเพียงเล็กน้อยก็สามารถดำเนินการกระบวนการผลิตที่มีเสถียรภาพได้อย่างรวดเร็ว
พารามิเตอร์กระบวนการทั่วไป
| วัสดุ | ก๊าซในกระบวนการผลิต | กำลังไฟฟ้า RF | ระยะเวลาการรักษา |
| โครงตะกั่ว | อาร์/โอ₂ | 200 วัตต์ | 120s |
| แผง PCB | โอ₂ | 300 วัตต์ | 180s |
| พีเอฟอี/เทฟลอน | กับ | 400 วัตต์ | 300s |
| แผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน | อาร์/เอ็น₂ | 250 วัตต์ | 150s |
| แผ่นฟอยล์แบตเตอรี่ลิเธียม | โอ₂ | 350 วัตต์ | 240s |
| ฟิล์มโพลีเมอร์ | อาร์/โอ₂ | 200 วัตต์ | ยุค 90 |
ค่าพารามิเตอร์จริงอาจแตกต่างกันไปขึ้นอยู่กับระดับการปนเปื้อน องค์ประกอบของวัสดุ และข้อกำหนดในการผลิต
การใช้งานในอุตสาหกรรมที่หลากหลาย
เครื่องพลาสมา VP-60L ถูกนำไปใช้อย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมการผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ขั้นสูง
บรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์และไอซี
เหมาะสำหรับ:
- การเตรียมการเชื่อมต่อสายไฟ
- การทำความสะอาดด้วยพลาสมาของโครงตะกั่ว
- การกระตุ้นพื้นผิวการยึดติดของชิ้นส่วน
- การปรับปรุงการยึดเกาะของวัสดุอุดช่องว่าง
- การกำจัดสิ่งปนเปื้อนในบรรจุภัณฑ์ไอซี
การผลิต PCB
เหมาะสำหรับ:
- การขจัดคราบในรูตัน
- การเตรียมพื้นผิวก่อน SMT
- กระตุ้นพื้นผิวก่อนการเคลือบ
- การกำจัดสารตกค้าง
- การเพิ่มประสิทธิภาพการยึดเกาะ
เครื่องใช้ไฟฟ้าสำหรับผู้บริโภค
การใช้งานทั่วไปได้แก่:
- กรอบกลางโทรศัพท์มือถือ
- โมดูลกล้อง
- เซ็นเซอร์ลายนิ้วมือ
- ไดอะแฟรมหูฟัง
- ชุดประกอบอิเล็กทรอนิกส์แบบยืดหยุ่น
อุตสาหกรรมจอแสดงผล
ใช้สำหรับ:
- การทำความสะอาดแผง LCD
- การเคลือบกระจก CF
- การเปิดใช้งานกระจก ITO
- การปรับสภาพพื้นผิวโพลาไรเซอร์
อุตสาหกรรมพลังงานใหม่และแบตเตอรี่
ระบบนี้รองรับการรักษาด้วยพลาสมาสำหรับ:
- แผ่นกั้นแบตเตอรี่ลิเธียม
- การเปิดใช้งานฟอยล์อลูมิเนียม
- วัสดุสำหรับกักเก็บพลังงาน
- การทำความสะอาดส่วนประกอบแบตเตอรี่
อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ยานยนต์
มีการใช้งานอย่างแพร่หลายใน:
- เซ็นเซอร์
- ตัวเชื่อมต่อ
- คอยล์จุดระเบิด
- แผงวงจรพิมพ์สำหรับยานยนต์
พลาสติกทางการแพทย์และพลาสติกความแม่นยำสูง
วัสดุที่เหมาะสม ได้แก่:
- พีเอฟอี/เทฟลอน
- พลาสติกวิศวกรรม
- ฟิล์มโพลีเมอร์
- ชิ้นส่วนขึ้นรูปที่มีความแม่นยำสูง
ขั้นตอนการทำงานของการประมวลผลอุปกรณ์
เครื่องพลาสมา VP-60L มีกระบวนการทำงานที่คล่องตัวและเป็นระบบอัตโนมัติสูง:
- วางวัสดุลงบนถาดอิเล็กโทรด 4 ชั้น
- ปิดประตูห้องและเลือกสูตรการทำงาน
- การดูดสุญญากาศอัตโนมัติ
- ทางเข้าและเสถียรภาพของก๊าซในกระบวนการผลิต
- การจุดและการบำบัดด้วยพลาสมา RF
- ระบบระบายอากาศและขนถ่ายอัตโนมัติ
ระบบรองรับทั้งโหมดการทำงานอัตโนมัติเต็มรูปแบบและโหมดการทำงานด้วยตนเอง เพื่อความยืดหยุ่นสูงสุดในการผลิต
การบำรุงรักษาและการสนับสนุนด้านบริการ
การบำรุงรักษาตามปกติมีน้อยมาก
บำรุงรักษาง่าย
- ทำความสะอาดห้องทุกสัปดาห์โดยใช้ไอโซโพรพิลแอลกอฮอล์
- ปั๊มสุญญากาศแบบสกรอลไร้น้ำมันช่วยลดความถี่ในการบำรุงรักษา
- ระบบ RF ที่เสถียรช่วยลดความต้องการในการปรับเทียบให้น้อยที่สุด
การสนับสนุนทางเทคนิคอย่างครอบคลุม
บริษัท เจียงซู หิมาลัย เซมิคอนดักเตอร์ จำกัด จัดเตรียมให้:
- การติดตั้งและการทดสอบระบบ
- การฝึกอบรมผู้ปฏิบัติงาน ณ สถานที่ปฏิบัติงาน
- การสนับสนุนการเพิ่มประสิทธิภาพกระบวนการ
- ความช่วยเหลือในการแก้ไขปัญหา
- การสนับสนุนทางเทคนิคตลอดอายุการใช้งาน
- รับประกัน 1 ปี (ยกเว้นความเสียหายที่เกิดจากมนุษย์)
คำถามที่พบบ่อย (FAQ)
Q1: โดยทั่วไปแล้วเครื่อง PLASMA VP-60L ใช้เวลาในการทำงานต่อรอบเท่าไร?
โดยทั่วไป กระบวนการทำความสะอาดและกระตุ้นด้วยพลาสมาส่วนใหญ่ใช้เวลาประมาณ 2-10 นาที ขึ้นอยู่กับประเภทของวัสดุและวัตถุประสงค์ของการบำบัด
คำถามที่ 2: ก๊าซชนิดใดบ้างที่ได้รับการสนับสนุน?
ระบบรองรับ:
- อาร์กอน (Ar)
- ไนโตรเจน (N₂)
- ออกซิเจน (O₂)
- ไฮโดรเจน (H₂)
- มีเทน (CH₄)
ประกอบด้วยช่องจ่ายก๊าซสองช่องพร้อมระบบควบคุม MFC ที่มีความแม่นยำสูง
Q3: ระบบนี้เหมาะสำหรับการผลิตในปริมาณมากหรือไม่?
ใช่ การผสมผสานของ:
- เวลาในการสูบน้ำออกอย่างรวดเร็ว
- การทำงานอัตโนมัติ
- การจัดเรียงอิเล็กโทรดแบบ 4 ชั้น
- การควบคุม RF ที่เสถียร
ทำให้ระบบนี้เหมาะสมสำหรับการผลิตในปริมาณปานกลางถึงสูง
Q4: สามารถปรับแต่งขนาดห้องได้หรือไม่?
ใช่แล้ว ขนาดของห้องทดลอง การจัดเรียงอิเล็กโทรด และรูปแบบการจัดวางอุปกรณ์ สามารถปรับแต่งได้ตามความต้องการของกระบวนการของลูกค้า
Q5: วัสดุใดบ้างที่สามารถนำมาบำบัดได้?
ระบบสามารถประมวลผลได้ดังนี้:
- แผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน
- กระจก
- โลหะ
- เครื่องเซรามิก
- พลาสติก
- เอฟเฟพีดี
- ฟิล์มโพลีเมอร์
- วัสดุผสม
Q6: การปฏิบัติงานประจำวันยากไหม?
ไม่เลย อินเทอร์เฟซหน้าจอสัมผัสและการทำงานอัตโนมัติด้วยปุ่มเดียวทำให้เครื่องมือนี้ใช้งานง่ายมากหลังจากได้รับการฝึกอบรมขั้นพื้นฐานแล้ว
Q7: คุณให้บริการฝึกอบรมการติดตั้งและขั้นตอนการทำงานหรือไม่?
ใช่แล้ว เราให้บริการติดตั้งครบวงจร การทดสอบระบบ การฝึกอบรมผู้ปฏิบัติงาน คำแนะนำในการบำรุงรักษา และการสนับสนุนการเพิ่มประสิทธิภาพกระบวนการ
เกี่ยวกับผู้เขียน
ดร. เจียน หลี่ ดำรงตำแหน่งวิศวกรกระบวนการอาวุโสในแผนกอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ที่ บริษัท เจียงซู หิมาลัย เซมิคอนดักเตอร์ จำกัดด้วยประสบการณ์กว่า 15 ปีในด้านการเชื่อมชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ การเชื่อมลวด การขึ้นรูปขนาดเล็ก และการปรับสภาพพื้นผิวด้วยพลาสมา ดร.หลี่ได้มีส่วนร่วมในโครงการพัฒนานวัตกรรมอุปกรณ์และการปรับปรุงกระบวนการหลายโครงการสำหรับงานบรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์ที่มีความน่าเชื่อถือสูง
เกี่ยวกับ Jiangsu Himalaya Semiconductor
บริษัท เจียงซู หิมาลัย เซมิคอนดักเตอร์ จำกัด เป็นผู้ผลิตเฉพาะทางด้านอุปกรณ์กระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูงและอิเล็กทรอนิกส์ความแม่นยำสูงสำหรับงานด้านแบ็กเอนด์
บริษัทมุ่งเน้นในด้านต่างๆ ดังนี้:
- เครื่องหั่นเวเฟอร์
- ระบบการเชื่อมได
- อุปกรณ์เชื่อมต่อสายไฟ
- ระบบทำความสะอาดด้วยพลาสมา
- โซลูชันระบบอัตโนมัติที่มีความแม่นยำสูง
ด้วยการดำเนินงานด้านการวิจัยและพัฒนาในซูโจว และการสนับสนุนด้านการขายในซีอาน บริษัทฮิมาลายา เซมิคอนดักเตอร์ ให้บริการผู้ผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ทั่วโลกด้วยอุปกรณ์ประกอบเซมิคอนดักเตอร์ที่มีประสิทธิภาพสูงและน่าเชื่อถือ
พร้อมที่จะปรับปรุงกระบวนการเตรียมพื้นผิวของคุณแล้วหรือยัง?
เครื่อง PLASMA VP-60L ให้การบำบัดพื้นผิวด้วยพลาสมา RF ที่เชื่อถือได้ ทำซ้ำได้ และคุ้มค่า สำหรับการบรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์ การผลิต PCB อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ที่มีความแม่นยำสูง และการประมวลผลวัสดุขั้นสูง
หากต้องการใบเสนอราคา ตัวเลือกการปรับแต่ง หรือการสนับสนุนการประเมินตัวอย่าง โปรดติดต่อ:
บริษัท เจียงซู หิมาลัย เซมิคอนดักเตอร์ จำกัด
