ระบบ CMP ขนาด 12 นิ้วประสิทธิภาพสูง: การขัดเงาอย่างแม่นยำสำหรับตัวเชื่อมต่อ TSV
ออกแบบมาเพื่อการผลิต TSV Interposer โดยเฉพาะ
ระบบ CMP ขนาด 12 นิ้วของเราได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมมาโดยเฉพาะเพื่อรับมือกับความซับซ้อนของการขัดเงาหลายชั้น ด้วยการผสานรวมระบบที่มีประสิทธิภาพสูง อีเอฟเอ็มทรงพลัง เครื่องขัดเงา 3 แผ่น/4 หัวและมีความซับซ้อน ระบบทำความสะอาดแบบอินไลน์เรานำเสนอขั้นตอนการทำงานที่ราบรื่นตั้งแต่ "แห้งสนิทจนถึงแห้งสนิท"
ข้อมูลจำเพาะของอุปกรณ์หลัก:
-
ขนาดเวเฟอร์: 12 นิ้ว (300 มม.)
-
ความหนาของแผ่นเวเฟอร์: 500~800 ไมโครเมตร
-
การกำหนดค่าการขัดเงา: แท่นวาง 3 อัน + หัวอิสระ 4 อัน
-
เครื่องดูดฝุ่นแบบรวม: ถัง MEG 1 ถัง, ถังแปรง 2 ถัง และ SRD (เครื่องปั่นแห้งล้าง) 1 เครื่อง
-
ระบบควบคุม: ระบบปฏิบัติการ Windows 10 พร้อมระบบควบคุมแบบวงปิด (CLC) ที่มีความแม่นยำสูง สำหรับการไหลของสารละลายและสารเคมี
ประสิทธิภาพกระบวนการที่เป็นเลิศระดับแนวหน้าของอุตสาหกรรม
ที่บริษัท Himalaya Semiconductor เราเข้าใจว่า อัตราการกำจัด (RR) และ ความไม่สม่ำเสมอภายในแผ่นเวเฟอร์ (NEXT) ตัวชี้วัดเหล่านี้จะเป็นตัวกำหนดผลตอบแทนจากการลงทุนของคุณ ระบบของเราได้รับการทดสอบเพื่อส่งมอบการกำจัดวัสดุด้วยความเร็วสูง ในขณะที่ยังคงรักษาการเว้นขอบที่ 5 มม. ไว้ได้:
| ชั้นกระบวนการ | อัตราการกำจัด (เป้าหมาย) | ความไม่สม่ำเสมอของ WIW (1σ) |
| ทองแดง (Cu) | 5000 ~ 10000 Å/นาที | ≤ 5% |
| สิ่งกีดขวาง | 800 Å/นาที | ≤ 5% |
| ออกไซด์ (TEOS) | 3500 Å/นาที | ≤ 5% |
นอกเหนือจากประสิทธิภาพของเวเฟอร์แต่ละชิ้นแล้ว ฮาร์ดแวร์ของเรายังรับประกันได้อีกด้วย ความไม่สม่ำเสมอแบบตัวต่อตัว ≤ 4%รับประกันผลลัพธ์ที่สม่ำเสมอในหัวขัดทั้งสี่แบบสำหรับการผลิตในปริมาณมาก (HVM)
ความน่าเชื่อถือที่คุณวางใจได้
ในสภาพแวดล้อมการผลิตที่ทำงานตลอด 24 ชั่วโมง 7 วันต่อสัปดาห์ เวลาการทำงานต่อเนื่องเป็นสิ่งสำคัญที่สุด เครื่องมือ CMP ของเราถูกสร้างขึ้นเพื่อการใช้งานระยะยาว โดยได้รับการสนับสนุนจากมาตรฐานความน่าเชื่อถือที่เข้มงวด:
-
เวลาใช้งาน: ≥ 85%
-
MTBF (ระยะเวลาเฉลี่ยระหว่างความล้มเหลว): ≥ 200 ชั่วโมง
-
MTTR (เวลาเฉลี่ยในการซ่อมแซม): ≤ 3.5 ชั่วโมง
นอกจากนี้ ระบบทำความสะอาดแบบครบวงจรของเรายังช่วยให้ควบคุมอนุภาคได้อย่างเหนือกว่า ด้วย ตัวบวกสะอาดหลัง CMP ≤ 50ea (ที่ระดับความละเอียด ≥ 0.2 ไมโครเมตร) ช่วยปกป้องแผ่นเวเฟอร์ของคุณจากข้อบกพร่องและการปนเปื้อนข้าม
การสนับสนุนและการรับประกันที่ครอบคลุม
เมื่อคุณร่วมเป็นพันธมิตรกับ Jiangsu Himalaya Semiconductor คุณไม่ได้เพียงแค่ซื้อเครื่องจักร แต่คุณยังได้รับทีมสนับสนุนเฉพาะทางอีกด้วย
-
การทดสอบครบวงจร: เราดำเนินการทดสอบอย่างเข้มงวดก่อนการจัดส่ง การทดสอบการทำงาน และการทดสอบการยอมรับขั้นสุดท้าย ณ สถานที่ของคุณ เพื่อให้มั่นใจว่าเครื่องมือตรงตามข้อกำหนดทุกประการ
-
การฝึกอบรมโดยผู้เชี่ยวชาญ: เราจัดโปรแกรมฝึกอบรมเข้มข้น 5 วัน ครอบคลุมทุกอย่างตั้งแต่การเพิ่มประสิทธิภาพสูตรอาหารและอินเทอร์เฟซซอฟต์แวร์ ไปจนถึงการบำรุงรักษาเชิงป้องกัน (PM) และการจัดการสัญญาณเตือนภัย
-
การตอบสนองฉุกเฉินในพื้นที่: สำหรับลูกค้าของเราในประเทศจีน เรามีบริการดังต่อไปนี้ บริการพร้อมให้ความช่วยเหลือตลอด 24 ชั่วโมง และรับประกันการมาถึงของบุคลากรที่โรงงานของคุณภายในระยะเวลาที่กำหนด 48 ชั่วโมง.
-
รับประกัน 12 เดือน: มั่นใจได้ด้วยการรับประกันที่ครอบคลุมทั้งอะไหล่และการสนับสนุนทางเทคนิคหลังการรับมอบสินค้า
ติดต่อเราเพื่อขอใบเสนอราคา
พร้อมที่จะยกระดับประสิทธิภาพการขัดเงาขนาด 300 มม. ของคุณแล้วหรือยัง? เยี่ยมชมเราหรือติดต่อทีมขายด้านเทคนิคของเราเพื่อขอใบเสนอราคาโดยละเอียดที่ปรับให้เหมาะกับกระบวนการ TSV หรือตัวเชื่อมต่อเฉพาะของคุณ
บริษัท: บริษัท เจียงซู หิมาลัย เซมิคอนดักเตอร์ จำกัด
ที่อยู่: ห้อง 4234 อาคาร 11 เลขที่ 1258 ถนนจินเฟิงใต้ ตำบลมู่ตู อำเภออู๋จง เมืองซูโจว
ความเชี่ยวชาญ: โซลูชันเทคโนโลยี CMP และสุญญากาศขั้นสูงสำหรับเซมิคอนดักเตอร์