เลื่อยตัดเวเฟอร์สำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
คุณสมบัติหลักและข้อได้เปรียบชั้นนำในอุตสาหกรรม
เลื่อยตัดเวเฟอร์สำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ระบบหั่นลูกเต๋าความแม่นยำสูง พร้อมความแม่นยำในการเคลื่อนไหวที่ละเอียดเป็นพิเศษ
คุณสมบัติหลัก
✔ ระบบการเคลื่อนที่ที่แม่นยำ
ระบบขับเคลื่อนมอเตอร์เชิงเส้นที่มีความแม่นยำในการทำซ้ำ ±0.5 μm
ระบบควบคุมความเร็วแบบปรับได้ (1-300 มม./วินาที) สำหรับวัสดุเปราะ/แข็ง
✔ ใช้งานได้กับวัสดุหลากหลายชนิด
แผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์: Si, GaAs, GaN, SiC
วัสดุรองรับบรรจุภัณฑ์: PCB, แพ็คเกจแบบไร้ขา QFN/DFN
วัสดุพิเศษ: แก้ว เซรามิก วัสดุเพียโซอิเล็กทริก
✔ การควบคุมกระบวนการอัจฉริยะ
การจัดตำแหน่งด้วยเลเซอร์ + ระบบวิชั่นสำหรับเครื่องจักร (ความแม่นยำในการกำหนดตำแหน่ง CCD ±3μm)
ระบบชดเชยการสึกหรอของใบมีดอัตโนมัติ (ช่วยยืดอายุการใช้งานของเครื่องมือได้ 30%)
การกำหนดค่าเครื่องเลื่อยตัดเวเฟอร์
| แกน X | ประสิทธิภาพสูงสุด | 310 มม. | 310 มม. | 210 มม. |
| 0.1-1000 มม./วินาที | 0.1-600 มม./วินาที | |||
| แกน Y | มีประสิทธิภาพสูงสุด | 310 มม. | 310 มม. | 170 มม. |
| การเพิ่มขึ้นทีละขั้น | 0.0001 มม. | 0.0001 มม. | 0.0001 มม. | |
| ความแม่นยำในการเข้าถึง | 0.003 มม./310 มม. | 0.003 มม./310 มม. | 0.003 มม./170 มม. | |
| แกน Z | ประสิทธิภาพสูงสุด | 40 มม. | 40 มม. | 40 มม. |
| ความแม่นยำในการทำซ้ำ | 0.001 มม. | 0.001 มม. | 0.001 มม. | |
| เส้นผ่านศูนย์กลางใบมีดตัดสูงสุด | 58 | 58 | 58 | |
| แกน T | มุมการหมุนสูงสุด | 380° | 380° | 380° |
| แกนหมุน | ช่วงความเร็ว | 6000-60000 รอบต่อนาที | 6000-60000 รอบต่อนาที | 6000-60000 รอบต่อนาที |
| กำลังส่งออก | 1.8KW (2.4KW) | 1.8KW (2.4KW) | 1.5KW (2.4KW) | |
| พลัง | AC380V±10% | AC380V±10% | AC380V±10% | |
| ขนาด กว้าง×ลึก×สูง | 1200 มม. × 1629 มม. × 1849 มม. | 1080 มม. × 1160 มม. × 1800 มม. | 630 มม. x 900 มม. x 1600 มม. | |
ข้อกำหนดทางเทคนิค
- แกนหมุนแบริ่งลม DC
- กำลังมอเตอร์แกนหมุน 1.8-2.4 กิโลวัตต์ (เลือกได้)
- 36000-60000 รอบต่อนาที
- มีดขนาด 2 นิ้ว / มีดขนาด 3 นิ้ว
- ระยะห่างระหว่างแกนคู่ขั้นต่ำ 24 มม.
- ความเรียบของหน้าใบมีด: ≤0.02 มม.
- ความแม่นยำในการเข้าถึง: +0.003 มม.
- บำรุงรักษาง่าย การกำหนดตำแหน่งเชิงกล
- ฝาครอบเพื่อความปลอดภัยเพื่อยืดอายุการใช้งานของ NCS
- การวัดอัตโนมัติระหว่างการประมวลผลตามจำนวนเครื่องมือตัดหรือเมตร
- มีคุณสมบัติป้องกันการรบกวนสูง แม้ถูกรบกวนจากไอน้ำ ใบมีดก็ยังคงตรวจจับได้อย่างเสถียร
- ความไวสูง เวลาตอบสนองของสัญญาณสั้น
- ขนาดขั้นต่ำ 5*0.5 มม.
หน้าที่ของระบบส่วนกลาง
- ลบการประมวลผลสัญญาณเตือนของเครื่องจักร
- เวลาในการประมวลผลสัญญาณเตือนสูง พนักงานฝ่ายผลิตเดินน้อยลง ช่วยประหยัดแรงงาน
เครื่องจักรทำงานอัตโนมัติเต็มรูปแบบ ทั้งการโหลด การจัดแนว การตัด การทำความสะอาด และการอบแห้ง
ฟังก์ชัน SECS GEM:
- สามารถตรวจสอบสถานะของอุปกรณ์ได้แบบเรียลไทม์ เช่น สถานะไม่ได้ใช้งาน กำลังทำงาน หรือดับ เป็นต้น
- ดาวน์โหลด/อัปโหลดข้อมูลอุปกรณ์เพื่อการจัดการพารามิเตอร์แบบครบวงจร
- สามารถรวบรวมและวิเคราะห์ข้อมูลเหตุการณ์ทั้งหมดของอุปกรณ์ รวมถึงข้อมูลวัสดุ ข้อมูลการทำงาน ข้อมูลการแจ้งเตือน ฯลฯ
- คุณสามารถตั้งค่าระดับการแจ้งเตือนได้ เมื่อเกิดปัญหา คุณสามารถล็อกอุปกรณ์และขออนุญาตเฉพาะเพื่อปิดการแจ้งเตือนและแก้ไขปัญหาได้