เครื่องเลเซอร์มาร์คกิ้งไอซี/เวเฟอร์อัตโนมัติ
คุณสมบัติหลัก
✅ การจัดการเวเฟอร์:
- รองรับการโหลด FOUP ผ่านระบบ Loadport ขั้นสูง
- ระบบส่งฟิล์มด้วยแขนหุ่นยนต์เพื่อการถ่ายโอนเวเฟอร์ที่ราบรื่นและแม่นยำ
- เครื่องปรับเทียบอัตโนมัติสำหรับปรับตำแหน่งศูนย์กลางและมุมของเวเฟอร์ให้แม่นยำ
✅ การทำเครื่องหมายและการระบุ:
- การทำเครื่องหมายด้วยเลเซอร์ความละเอียดสูงสำหรับระบุขอบเวเฟอร์ (ถาวรและไม่ทำให้เกิดความเสียหาย)
- การตรวจจับการจดจำ OCR (ตัวเลือกเสริม) สำหรับการตรวจสอบอัตโนมัติ
✅ ระบบอัตโนมัติอัจฉริยะและการเชื่อมต่อ:
- ระบบสแกนอัตโนมัติเพื่อเพิ่มประสิทธิภาพในการทำงาน
- รองรับโปรโตคอล SECS/GEM เพื่อการผสานรวมอย่างราบรื่นกับระบบโรงงานของลูกค้า (พร้อมสำหรับอุตสาหกรรม 4.0)
✅ ความเข้ากันได้กับห้องปลอดเชื้อ (ตัวเลือกเสริม):
- ระบบกรองอากาศ FFU (Fan Filter Unit) สำหรับควบคุมการปนเปื้อน
- ระบบดักจับและกรองควันและฝุ่นละออง เพื่อสภาพแวดล้อมการทำงานที่สะอาดขึ้น
ระบบการทำเครื่องหมายด้วยเลเซอร์ความแม่นยำสูงแบบอัตโนมัติเต็มรูปแบบนี้ ช่วยให้สามารถตรวจสอบย้อนกลับ เพิ่มประสิทธิภาพ และความน่าเชื่อถือในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ตรงตามข้อกำหนดที่เข้มงวดของการผลิต IC และเวเฟอร์สมัยใหม่
การใช้งาน: การทำเครื่องหมายบนแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์รวมถึงการผลิตบรรจุภัณฑ์ IC, MEMS, LED และอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ขั้นสูง
หากต้องการรายละเอียดเพิ่มเติม การปรับแต่ง หรือการสาธิต โปรดติดต่อเราได้เลย!
คุณสมบัติ
- ทดแทนแรงงานมนุษย์และประหยัดค่าใช้จ่ายด้านแรงงาน
- ใช้งานง่าย สะดวก ควบคุมได้รวดเร็วและแม่นยำ
- สัมผัสประสบการณ์การจ่ายสารอย่างแม่นยำด้วยมอเตอร์ความเที่ยงตรงสูง
- แพลตฟอร์มโครงสร้างเชิงเส้นประสิทธิภาพสูง ดีไซน์สวยงาม
- การออกแบบหลายแกนด้วยโลหะผสมอลูมิเนียมที่มีความแข็งแกร่งสูง ช่วยให้มั่นใจได้ถึงความน่าเชื่อถือและความแม่นยำ
ความสามารถด้านซอฟต์แวร์ขั้นสูง
การรองรับฟอนต์:
แบบอักษรที่สอดคล้องกับมาตรฐาน SEMI:
5×9 (ความหนาแน่นเส้นเดียว)
10×18 (ความหนาแน่นของเส้นคู่)
รองรับแบบอักษรภาษาอาหรับสำหรับข้อกำหนดการทำเครื่องหมายเฉพาะทาง
การผสานรวมฟอนต์แบบกำหนดเอง (ตามคำขอ)
รองรับบาร์โค้ดและรหัส 2 มิติ:
บาร์โค้ด BC-412 SEMI T1 (มาตรฐานอุตสาหกรรมสำหรับการระบุเวเฟอร์)
รหัส QR / เมทริกซ์ข้อมูล (ไม่บังคับ) เพื่อเพิ่มประสิทธิภาพในการตรวจสอบย้อนกลับ
รูปแบบการจัดวางเครื่องหมายและรูปแบบสัญลักษณ์ที่กำหนดเอง
พารามิเตอร์ทางเทคนิคหลัก
| หมวดหมู่ | ข้อกำหนด |
| ระบบควบคุม | หัวสแกนแบบกัลโว + การ์ดควบคุม, ระบบปฏิบัติการ Windows 7/10 |
| ความยาวคลื่นเลเซอร์ | 532 นาโนเมตร (เลเซอร์สีเขียวสำหรับงานทำเครื่องหมายที่มีความแม่นยำสูง) |
| วิธีการทำความเย็น | ระบายความร้อนด้วยน้ำ / ระบายความร้อนด้วยอากาศ (ปรับแต่งได้ตามต้องการ) |
| รูปแบบไฟล์ | DXF, PLT (ใช้งานร่วมกับซอฟต์แวร์ CAD/ออกแบบได้) |
| แหล่งจ่ายไฟ | ไฟฟ้าระบบเฟสเดียว 220 โวลต์ 4 กิโลวัตต์ (ไม่รวมตัวกรองควัน/ฝุ่น) |
แอปพลิเคชันหลัก
✔ การตรวจสอบย้อนกลับและการบรรจุภัณฑ์ของ IC (QR/Data Matrix สำหรับการขนส่ง)
✔ MEMS, LED, อุปกรณ์กำลังไฟฟ้า (การทำเครื่องหมายความแม่นยำสำหรับชิ้นส่วนขนาดเล็ก)
การแสดงการเคลื่อนไหว
| พารามิเตอร์ | ข้อกำหนด |
| ช่วงเคลื่อนที่ได้ | 315 มม. (เชิงเส้น) × 340° (การหมุน) × 300 มม. (แกน Z) |
| ความเร็วเฉลี่ย | 570 มม./วินาที (เชิงเส้น), 220°/วินาที (การหมุน), 200 มม./วินาที (แกน Z) |
| ความเร็วสูงสุด | 1140 มม./วินาที (เชิงเส้น), 270°/วินาที (การหมุน), 250 มม./วินาที (แกน Z) |
| ความแม่นยำ |
|
| ความสามารถในการทำซ้ำ | ±0.1 มม. |
| ความสูงในการยก | 620 มม. (จากฐานถึงพื้นผิวสำหรับติดตั้งเวเฟอร์) |
ความเข้ากันได้ของเวเฟอร์
ขนาดที่รองรับ:
ตัวเลือกที่ 1: 2-4-6 นิ้ว
ตัวเลือกที่ 2: 4-6-8 นิ้ว
ตัวเลือกที่ 3: 8-12 นิ้ว
การจัดการเวเฟอร์แบบพิเศษ: สามารถปรับแต่งได้สำหรับรูปทรง/วัสดุที่ไม่ใช่ SEMI
ตัวค้นหาขอบและการจัดแนว
| พารามิเตอร์ | ข้อกำหนด |
| เวลาศูนย์กลาง | ≤3 วินาที |
| ความแม่นยำของตำแหน่ง | ±0.1 มม. (ตรงกลางแผ่นเวเฟอร์), ±0.1° (ขอบ/ช่องว่าง) |
| วิธีการตรวจจับ | ระบบไฟ LED + เซ็นเซอร์ตรวจจับภาพ |
| การสลับขนาด | โปรโตคอลควบคุมคำสั่งหรือการสื่อสาร (SECS/GEM) |
ข้อกำหนดเกี่ยวกับห้องปลอดเชื้อและพลังงาน
ความสะอาด: มาตรฐาน ISO ระดับ 2 (ระบบไอเสียแยกอิสระภายในโครงสร้างขับเคลื่อน)
แหล่งจ่ายไฟ:
แขน/มอเตอร์ขับเคลื่อน: DC24V ±10%, 16A
มอเตอร์สเต็ปเปอร์: 2 เฟส, DC 24V ±10%, 3A (ตัวควบคุมฝังอยู่ในตัวมอเตอร์)
สุญญากาศ: >-53kPa (ถ้วยดูดแบบเบอร์นูลลี: อากาศอัด 0.5MPa)
เครื่องดูดฝุ่น
| พารามิเตอร์ | ข้อกำหนด |
| มิติ | 640 × 550 × 1322 มม. |
| น้ำหนัก | 105 กก. |
| ปริมาณลมสูงสุด | 265 ลบ.ม./ชม. |
| แรงดันลบสูงสุด | 230 มิลลิบาร์ |
| พลัง | 2.2 กิโลวัตต์, 220 โวลต์/50 เฮิรตซ์ |
| ระดับเสียง | 70±2dB |
| การกรอง | ≥99% ที่ 0.3 µm (การทำความสะอาดด้วยตนเองพร้อมระบบแจ้งเตือน) |
ข้อได้เปรียบที่สำคัญ
✅ ความแม่นยำสูงและรวดเร็ว: ความแม่นยำระดับต่ำกว่าไมครอนสำหรับการจัดการเวเฟอร์ที่สำคัญ
✅ การบูรณาการที่ยืดหยุ่น: รองรับมาตรฐาน SEMI และระบบอัตโนมัติในโรงงาน (SECS/GEM)
✅ พร้อมใช้งานในห้องปลอดเชื้อ: ผ่านมาตรฐาน ISO Class 2 โดยมีปริมาณอนุภาคปนเปื้อนน้อยที่สุด
✅ โซลูชันที่ปรับขนาดได้: ปรับแต่งได้สำหรับเวเฟอร์รูปทรงแปลกๆ และสายการผลิตหลายขนาด