ระบบทำเครื่องหมายเวเฟอร์แบบสะอาดพิเศษ WM-ST-120 FOUP: ระบบทำเครื่องหมายระบุตัวตนเวเฟอร์ด้วยเลเซอร์อัตโนมัติ สำหรับเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ขนาด 200 มม. และ 300 มม.

เหตุใดการทำเครื่องหมายบนเวเฟอร์จึงมีความสำคัญอย่างยิ่งในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

การผลิตเซมิคอนดักเตอร์สมัยใหม่ต้องการการติดตามลำดับวงศ์ตระกูลของเวเฟอร์อย่างครบถ้วน ตั้งแต่การผลิตเวเฟอร์ไปจนถึงการบรรจุภัณฑ์ขั้นสุดท้าย

การทำเครื่องหมายบนแผ่นเวเฟอร์ด้วยเลเซอร์ช่วยให้ผู้ผลิตสามารถ:

• ติดตามแผ่นเวเฟอร์ตลอดกระบวนการผลิต
• ปรับปรุงการตรวจสอบย้อนกลับของกระบวนการ
• ลดข้อผิดพลาดในการระบุตัวตน
• รองรับการผสานรวม MES
• เพิ่มประสิทธิภาพการจัดการผลผลิต
• ตรงตามข้อกำหนดด้านคุณภาพของลูกค้า
• ปฏิบัติตามมาตรฐานอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

เนื่องจากอุตสาหกรรม 4.0 และการผลิตเซมิคอนดักเตอร์อัจฉริยะยังคงพัฒนาอย่างต่อเนื่อง ระบบระบุเวเฟอร์อัตโนมัติจึงกลายเป็นอุปกรณ์ที่จำเป็นในโรงงานผลิตและโรงงานบรรจุภัณฑ์ขั้นสูง

ระบบการทำเครื่องหมายบนเวเฟอร์คืออะไร?

ระบบการทำเครื่องหมายบนแผ่นเวเฟอร์ใช้เทคโนโลยีเลเซอร์ที่มีความแม่นยำสูงในการสลักข้อมูลระบุตัวตนลงบนแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์อย่างถาวร

รูปแบบการให้คะแนนทั่วไป ได้แก่:

• หมายเลขประจำตัวเวเฟอร์
• หมายเลขติดตามล็อต
• รหัสประวัติการผลิต
• อักขระที่อ่านได้ด้วย OCR
• เครื่องหมายแบบอักษรกึ่งมาตรฐาน
• รหัสเมทริกซ์ข้อมูล 2 มิติ
• ข้อมูลการตรวจสอบย้อนกลับเฉพาะลูกค้า

เครื่องหมายต่างๆ ยังคงอ่านได้ชัดเจนตลอดกระบวนการผลิตแผ่นเวเฟอร์ การทดสอบ การทำให้บางลง การตัดแบ่ง การบรรจุ และการประกอบ

คุณสมบัติหลักของ WM-ST-120 FOUP เครื่องทำเครื่องหมายเวเฟอร์

การทำงานอัตโนมัติเต็มรูปแบบตามหลักการ FOUP

ระบบนี้ผสานรวมพอร์ตโหลด FOUP ระดับเซมิคอนดักเตอร์สำหรับการโหลดและขนถ่ายเวเฟอร์แบบอัตโนมัติ

สิทธิประโยชน์ต่างๆ ได้แก่:

• ลดการแทรกแซงของผู้ปฏิบัติงาน
• ลดความเสี่ยงจากการปนเปื้อน
• ประสิทธิภาพการทำงานที่ดีขึ้น
• การปกป้องเวเฟอร์ที่ดียิ่งขึ้น
• ความเข้ากันได้กับสายการผลิตอัตโนมัติ

สามารถเลือกใช้การกำหนดค่าพอร์ตโหลด SMIF ได้ตามต้องการ สำหรับโรงงานที่ดำเนินการภายใต้มาตรฐานการจัดการเวเฟอร์ทางเลือกอื่นๆ

รองรับวัสดุเวเฟอร์หลายประเภท

WM-ST-120 FOUP สามารถใช้งานร่วมกับวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ได้หลากหลายประเภท:

• ซิลิคอน (Si)
• เจอร์มาเนียม (Ge)
• ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC)
• แกลเลียมไนไตรด์ (GaN)
• อินเดียมฟอสไฟด์ (InP)
• ไพลิน
• ควอตซ์

ความยืดหยุ่นนี้ช่วยให้ผู้ผลิตสามารถใช้แพลตฟอร์มการทำเครื่องหมายเพียงแพลตฟอร์มเดียวกับผลิตภัณฑ์หลายประเภทได้

การรู้จำอักขระด้วยแสง (OCR) และการทำเครื่องหมายเมทริกซ์ข้อมูล (Data Matrix Marking) ที่สอดคล้องกับมาตรฐาน SEMI

ระบบรองรับ:

• ฟอนต์ OCR กึ่งมาตรฐาน
• การเข้ารหัสเมทริกซ์ข้อมูล 2 มิติ
• รูปแบบอักขระแบบกำหนดเอง
• แผนการระบุตัวตนเฉพาะโรงงาน

รูปแบบการทำเครื่องหมายเหล่านี้ช่วยให้สามารถใช้งานร่วมกับ:

• ระบบการจัดการการผลิต (MES)
• ระบบตรวจสอบด้วยแสงอัตโนมัติ
• แพลตฟอร์มการวิเคราะห์ผลตอบแทน
• ฐานข้อมูลติดตามการผลิต

ความสามารถในการทำเครื่องหมายแบบแข็งและแบบอ่อน

ผลิตภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์แต่ละชนิดต้องการความลึกในการทำเครื่องหมายและระดับการมองเห็นที่แตกต่างกัน

การทำเครื่องหมายแข็ง

เหมาะสำหรับ:

• การระบุเวเฟอร์แบบถาวร
• ความสามารถในการอ่านที่คมชัดสูง
• กระบวนการทำงานที่ยาวนาน
• สภาพแวดล้อมการผลิตที่รุนแรง

การทำเครื่องหมายแบบอ่อน

เหมาะสำหรับ:

• พื้นผิวที่ไวต่อสิ่งเร้า
• เวเฟอร์บรรจุภัณฑ์ขั้นสูง
• การใช้งานที่มีความเครียดต่ำ
• กระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เฉพาะทาง

การทำเครื่องหมายด้านหลังเวเฟอร์ (ไม่บังคับ)

เครื่อง WM-ST-120 FOUP สามารถตั้งค่าสำหรับการทำเครื่องหมายด้านหลังเวเฟอร์ได้

สิทธิประโยชน์ต่างๆ ได้แก่:

• การป้องกันพื้นที่อุปกรณ์ที่ใช้งานอยู่
• ปรับปรุงความเข้ากันได้ของกระบวนการ
• ลดการรบกวนจากด้านหน้า
• การสนับสนุนเทคโนโลยีบรรจุภัณฑ์ขั้นสูง

การจัดการเวเฟอร์แบบไร้สัมผัส

ระบบถ่ายโอนด้วยหุ่นยนต์แบบไร้สัมผัส (ซึ่งเป็นอุปกรณ์เสริม) ช่วยลดการสัมผัสทางกายภาพกับแผ่นเวเฟอร์ให้น้อยที่สุด

ข้อดีได้แก่:

• ลดความเสี่ยงต่อความเสียหายของเวเฟอร์
• การสร้างอนุภาคที่ลดลง
• การจัดการแผ่นเวเฟอร์บางที่ดีขึ้น
• ผลผลิตที่สูงขึ้น

ฟังก์ชันตรวจสอบผลรวมตรวจสอบ

คุณสมบัติการตรวจสอบค่าตรวจสอบ (checksum) ที่เป็นตัวเลือกเสริมนี้ ช่วยเพิ่มระดับการตรวจสอบย้อนกลับได้อีกชั้นหนึ่ง

สิทธิประโยชน์ต่างๆ ได้แก่:

• ปรับปรุงความแม่นยำของข้อมูล
• การควบคุมคุณภาพที่ได้รับการปรับปรุง
• ลดข้อผิดพลาดในการตรวจงาน
• ความน่าเชื่อถือในการผลิตที่สูงขึ้น

ข้อกำหนดทางเทคนิค

พารามิเตอร์	ข้อกำหนด
แบบอย่าง	WM-ST-120
ขนาดเวเฟอร์	8 นิ้ว (200 มม.) – 12 นิ้ว (300 มม.)
เทคโนโลยีการทำเครื่องหมาย	การทำเครื่องหมายด้วยเลเซอร์ที่มีความแม่นยำสูง
รูปแบบการให้คะแนน	OCR, ข้อความ, เมทริกซ์ข้อมูล 2 มิติ
มาตรฐาน OCR	เซมิโอซีอาร์
วัสดุเวเฟอร์	Si, Ge, SiC, GaN, InP, แซฟไฟร์, ควอตซ์
วิธีการโหลด	พอร์ตโหลด FOUP
การโหลดเสริม	พอร์ตโหลด SMIF
ตำแหน่งการทำเครื่องหมาย	ด้านหน้า / ด้านหลัง
การถ่ายโอนเวเฟอร์	หุ่นยนต์ไร้สัมผัส (ตัวเลือกเสริม)
การตรวจสอบผลรวมตรวจสอบ	ไม่จำเป็น
ความเข้ากันได้กับห้องปลอดเชื้อ	สภาพแวดล้อมห้องคลีนรูมสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

อุตสาหกรรมและการใช้งาน

โรงหล่อเซมิคอนดักเตอร์

ใช้สำหรับการระบุและตรวจสอบย้อนกลับแผ่นเวเฟอร์ตลอดกระบวนการผลิตเวเฟอร์ขั้นต้น

สิ่งอำนวยความสะดวกด้านบรรจุภัณฑ์ขั้นสูงและ OSAT

รองรับการบรรจุภัณฑ์ระดับเวเฟอร์ (WLP), การบรรจุภัณฑ์แบบแฟนเอาต์ และเวิร์กโฟลว์การรวมระบบที่หลากหลาย

การผลิตอุปกรณ์ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC)

ช่วยให้สามารถตรวจสอบย้อนกลับได้อย่างน่าเชื่อถือสำหรับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์กำลังไฟฟ้า

การผลิตแกลเลียมไนไตรด์ (GaN)

สนับสนุนการผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์กำลังและอุปกรณ์ RF ประสิทธิภาพสูง

การผลิต MEMS

เหมาะสำหรับ:

• เครื่องวัดความเร่ง
• ไจโรสโคป
• เซ็นเซอร์ความดัน
• อุปกรณ์ MEMS ทางแสง

โฟโตนิกส์และออปโตอิเล็กทรอนิกส์

ใช้ได้กับ:

• อุปกรณ์สื่อสารด้วยแสง
• วงจรรวมโฟตอนิกส์
• การผลิตชิ้นส่วนเลเซอร์

WM-ST-120 FOUP เทียบกับระบบทำเครื่องหมายเวเฟอร์แบบดั้งเดิม

คุณสมบัติ	WM-ST-120	ระบบแบบดั้งเดิม
การทำงานแบบอัตโนมัติเต็มรูปแบบ	ใช่	จำกัด
การบูรณาการ FOUP	ใช่	มักจะไม่พร้อมให้บริการ
การทำเครื่องหมาย OCR แบบกึ่ง	ใช่	บางส่วน
รองรับ Data Matrix 2 มิติ	ใช่	จำกัด
การจัดการแบบไร้สัมผัส	ไม่จำเป็น	หายาก
เครื่องหมายด้านหลัง	ไม่จำเป็น	จำกัด
ความเข้ากันได้ของ SiC และ GaN	ใช่	มักมีข้อจำกัด
การสนับสนุนบรรจุภัณฑ์ขั้นสูง	ใช่	จำกัด
การเพิ่มประสิทธิภาพห้องปลอดเชื้อ	ใช่	แตกต่างกันไป

คำถามที่พบบ่อย

เครื่องทำเครื่องหมายเวเฟอร์คืออะไร?

เครื่องสลักเวเฟอร์ใช้เทคโนโลยีเลเซอร์ในการสลักข้อมูลระบุตัวตนลงบนเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์อย่างถาวร เพื่อให้สามารถตรวจสอบย้อนกลับและควบคุมกระบวนการผลิตได้

แผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) สามารถทำเครื่องหมายด้วยเลเซอร์ได้หรือไม่?

ใช่แล้ว เครื่อง WM-ST-120 FOUP รองรับการทำเครื่องหมายบนเวเฟอร์ SiC และให้การระบุตัวตนที่มีความคมชัดสูงและทนทาน เหมาะสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์กำลังไฟฟ้า

ระบบรองรับเวเฟอร์ขนาด 300 มม. หรือไม่?

ใช่ เครื่องนี้ออกแบบมาสำหรับเวเฟอร์ขนาด 200 มม. (8 นิ้ว) และ 300 มม. (12 นิ้ว)

เครื่องนี้สามารถทำเครื่องหมายรหัส Data Matrix 2 มิติได้หรือไม่?

ใช่ ระบบรองรับทั้งฟอนต์ SEMI OCR และการทำเครื่องหมาย 2D Data Matrix สำหรับข้อกำหนดการตรวจสอบย้อนกลับขั้นสูงของเซมิคอนดักเตอร์

มีบริการทำเครื่องหมายด้านหลังแผ่นเวเฟอร์หรือไม่?

ใช่แล้ว สามารถติดตั้งโมดูลการทำเครื่องหมายด้านหลังเพิ่มเติมได้ตามความต้องการของกระบวนการของลูกค้า

วัสดุเซมิคอนดักเตอร์ใดบ้างที่รองรับ?

ระบบนี้รองรับวัสดุพื้นฐานเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูงหลายชนิด ได้แก่ ซิลิคอน เจอร์มาเนียม ซิลิคอนคาร์ไบด์ แกลเลียมไนไตรด์ อินเดียมฟอสไฟด์ แซฟไฟร์ ควอตซ์ และอื่นๆ

ทำไมต้องเลือก Jiangsu Himalaya Semiconductor?

บริษัท Jiangsu Himalaya Semiconductor Co., Ltd. เชี่ยวชาญด้านกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การจัดการเวเฟอร์ การเชื่อมชิ้นส่วน การเชื่อมลวด การตัดเวเฟอร์ การประมวลผลด้วยเลเซอร์ และอุปกรณ์บรรจุภัณฑ์ขั้นสูง

ด้วยการผสานความเชี่ยวชาญด้านระบบอัตโนมัติในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เข้ากับวิศวกรรมที่เหมาะสมกับห้องปลอดเชื้อ บริษัทจึงสามารถนำเสนอโซลูชันการผลิตที่เชื่อถือได้สำหรับผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์ทั่วโลก

บทสรุป

ระบบทำเครื่องหมายเวเฟอร์ WM-ST-120 FOUP Ultra-Clean มอบโซลูชันการตรวจสอบย้อนกลับเวเฟอร์ที่สมบูรณ์แบบสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์สมัยใหม่

ด้วยระบบอัตโนมัติ FOUP, การทำเครื่องหมาย OCR ที่สอดคล้องกับมาตรฐาน SEMI, การเข้ารหัส Data Matrix 2 มิติ, ความสามารถในการทำเครื่องหมายด้านหลัง, การจัดการเวเฟอร์แบบไร้สัมผัส และความเข้ากันได้กับเวเฟอร์ Si, SiC, GaN, InP, แซฟไฟร์ และควอตซ์ ระบบนี้จึงเหมาะอย่างยิ่งสำหรับโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โรงงาน OSAT ผู้ผลิต MEMS และสายการผลิตบรรจุภัณฑ์ขั้นสูงที่ต้องการระบบอัตโนมัติ ความน่าเชื่อถือ และการตรวจสอบย้อนกลับที่สูงขึ้น