Yüksek Performanslı 12 İnç CMP Sistemleri: TSV Ara Bağlantıları için Hassas Parlatma
TSV Ara Katman Üretimi için Optimize Edilmiştir
12 inçlik CMP sistemimiz, çok katmanlı parlatmanın karmaşıklıklarını ele almak için özel olarak tasarlanmıştır. Yüksek verimli bir yapı entegre ederek EFEMgüçlü bir 3 plakalı/4 başlıklı parlatıcıve sofistike bir hat içi temizleme sistemiSorunsuz bir "kurutma-kurutma" iş akışı sağlıyoruz.

Başlıca Ekipman Özellikleri:
-
Gofret Boyutu: 12 inç (300 mm)
-
Gofret Kalınlığı: 500~800 μm
-
Parlatma Yapılandırması: 3 Plaka + 4 Bağımsız Kafa
-
Entegre Temizleyici: 1 MEG tankı, 2 Fırça tankı ve 1 SRD (Döndürme ve Kurutma Makinesi)
-
Kontrol Sistemi: Bulamaç ve kimyasal akışı için hassas CLC (Kapalı Döngü Kontrolü) özelliğine sahip, Windows 10 tabanlı sistem.
Sektör Lideri Süreç Performansı
Himalaya Semiconductor olarak şunu anlıyoruz ki Giderilme Oranı (RR) Ve Yonga İçi Düzensizlik (NEXT) Yatırımınızın geri dönüşünü (ROI) tanımlayan ölçütler bunlardır. Sistemimiz, 5 mm kenar boşluğunu korurken yüksek hızlı malzeme kaldırma sağlamak üzere tasarlanmıştır:
| İşlem Katmanı | Kaldırma Oranı (Hedef) | WIW Düzensizliği (1σ) |
| Bakır (Cu) | 5000 ~ 10000 Å/dak | ≤ %5 |
| Bariyer | 800 Å/dak | ≤ %5 |
| Oksit (TEOS) | 3500 Å/dak | ≤ %5 |
Tek tek yonga levhalarının performansının ötesinde, donanımımız şunları sağlar: Karşılaştırmalı Homojen Olmayanlık Oranı ≤ %4Bu sayede, yüksek hacimli üretim (HVM) için dört parlatma başlığının tamamında tutarlı sonuçlar garanti edilir.
Güvenebileceğiniz Güvenilirlik
7/24 üretim ortamında, kesintisiz çalışma her şeydir. CMP aracımız, titiz güvenilirlik standartlarıyla desteklenen uzun vadeli kullanım için tasarlanmıştır:
-
Çalışma Süresi: ≥ %85
-
MTBF (Arızalar Arası Ortalama Süre): ≥ 200 saat
-
MTTR (Ortalama Onarım Süresi): ≤ 3,5 saat
Ayrıca, entegre temizleyicimiz üstün partikül kontrolü sağlar. CMP sonrası temiz ilave miktarı ≤ 50 adet (≥ 0,2 μm'de), yonga levhalarınızı kusurlardan ve çapraz kontaminasyondan korur.
Kapsamlı Destek ve Garanti
Jiangsu Himalaya Semiconductor ile ortaklık kurduğunuzda, sadece bir makine satın almıyorsunuz; aynı zamanda özel bir destek ekibi de kazanıyorsunuz.
-
Tam Döngü Testi: Ürünümüzün tüm teknik özelliklere uygun olduğundan emin olmak için tesisinizde sevkiyat öncesi, fonksiyonel ve nihai kabul testlerini titizlikle gerçekleştiriyoruz.
-
Uzman Eğitimi: Tarif optimizasyonundan yazılım arayüzüne, önleyici bakımdan (PM) alarm yönetimine kadar her şeyi kapsayan 5 günlük yoğun bir eğitim programı sunuyoruz.
-
Yerel Hızlı Müdahale: Çin'deki müşterilerimiz için şunları sunuyoruz: 24 saat acil servis ve personelin fabrikanıza ulaşmasını garanti edin. 48 saat.
-
12 Aylık Garanti: Aracınızın teslim alınmasından sonra yedek parçaları ve teknik desteği kapsayan kapsamlı garanti ile gönül rahatlığının tadını çıkarın.
Teklif talebi için bizimle iletişime geçin.
300 mm parlatma kapasitenizi yükseltmeye hazır mısınız? Bizi ziyaret edin veya teknik satış ekibimizle iletişime geçerek, TSV veya ara bağlantı işleminize özel detaylı bir fiyat teklifi alın.
Şirket: Jiangsu Himalaya Yarı İletken Şirketi
Adres: 4234 Numaralı Oda, 11 Numaralı Bina, 1258 Numaralı Jinfeng Güney Yolu, Mudu Kasabası, Wuzhong İlçesi, Suzhou Şehri
Uzmanlık Alanı: Gelişmiş Yarı İletken CMP ve Vakum Teknolojisi Çözümleri



