Himalaya HFT-1000 Hibrit Film Kalınlığı Ölçüm Sistemi
Başlıca Özellikler
| Özellik | Fayda |
|---|---|
| Tek bir kafada hibrit SR + SE | Kalın (500 nm–500 µm) ve ince (0,5 nm–50 µm) filmlerin ölçümlerini alet değiştirmeden yapın. |
| Nanometre altı tekrarlanabilirlik | 202 nm SiO₂ üzerinde ≤0,013 nm (statik) – proses kontrol limitlerinize güvenin |
| Dahili gofret gerilimi hesaplaması | Entegre lazer yay ölçümü ile Stoney formülünü kullanır – ikincil bir alete gerek yoktur. |
| SECS/GEM (SEMI E30, E37) | Fabrika ana bilgisayarı, AMHS ve MES ile sorunsuz entegrasyon. Çevrimiçi/Çevrimdışı modlar. |
| Geniş bant optik (250–1000 nm) | Standart; gelişmiş malzemeler için DUV (193 nm) veya SWIR (2500 nm)'ye genişletilebilir. |
| Yüksek hassasiyetli hareket tablası | ±1 µm tekrarlanabilirlik, 100 mm/s tarama hızı – 3 dakikadan kısa sürede 12 inçlik tam wafer haritalama |
Teknik Özellikler
| Parametre | Değer |
|---|---|
| Kalınlık aralığı (SR modu) | 500 nm – 500 µm |
| Kalınlık aralığı (SE modu) | 0,5 nm – 50 µm |
| Dalga boyu aralığı (standart) | 250 – 1000 nm |
| Genişletilebilir seçenekler | 193 nm (DUV) veya 2500 nm (SWIR) |
| Tekrarlanabilirlik (Si üzerinde 1018 nm SiO₂) | Statik: ≤0,026 nm; Dinamik: ≤0,034 nm |
| Tekrarlanabilirlik (Si üzerinde 202 nm SiO₂) | Statik: ≤0,013 nm |
| Ölçüm noktası boyutu | 10 µm – 200 µm (kullanıcı tarafından seçilebilir) |
| Sahne yolculuğu | 300 mm × 300 mm (12 inçlik waferlar, paneller) |
| Aşama tekrarlanabilirliği | ±1 µm |
| SECS/GEM desteği | Evet (E30, E37, HSMS) |
| Stres ölçümü | (Lazer yay + Stoney formülü dahildir) |
| Boyutlar (sistem birimi) | 800 mm (G) × 900 mm (D) × 1700 mm (Y) |
| Güç | 100–240 VAC, 50/60 Hz, 500 W |
Uygulamalar – Üretim Malzemelerinde Kanıtlanmış Sonuçlar
| Malzeme | Kalınlık Aralığı | Mod | Tipik Test Süresi |
|---|---|---|---|
| Ek Film (DAF) | 10–50 µm | SR | 0,5 saniye/nokta |
| Kalıp bileşiği (epoksi) | 100–500 µm | SR | 0,5 saniye/nokta |
| Silikon nitrür pasivasyonu | 100–500 nm | SE | 2 saniye/nokta |
| Poliimid tampon katman | 5–15 µm | SR veya SE | 2 saniye/nokta |
| Si üzerinde SiO₂ (ince geçit oksidi) | 1–200 nm | SE | 2 saniye/nokta |
| Çift Katmanlı (Poliimid + SiO₂) | 10 µm + 500 nm | SR+SE sıralı | 4,5 saniye/site |
✅ OnaylandıDAF laminasyon,sıkıştırma kalıplama,kalıp bağlama, Vegofret seviyesinde pasivasyonçizgiler.
Nasıl Çalışır
-
YükBir gofret veya alt tabaka (manuel veya AMHS).
-
SeçmeTarif (malzeme yığını, ölçüm noktaları). Sistem otomatik olarak SR veya SE'yi seçer.
-
Ölçüm– Geniş bant optik ve hassas platform, spektral verileri toplar.
-
ÇıktıKalınlık haritası, kırılma indisi (n,k) ve gofret gerilimi.
-
GöndermekKapalı döngü proses ayarlaması için veriler SECS/GEM aracılığıyla fabrika ana bilgisayarına iletilir.
Alternatiflerine kıyasla HFT-1000'i Neden Tercih Etmelisiniz?
| Rakip Yaklaşımı | Sınırlama | HFT-1000 Avantajı |
|---|---|---|
| Tek modlu elipsometre | Kalın filmlerin (>50 µm) ölçümü yapılamaz. | SR modu 500 µm'ye kadar olan aralığı kapsar. |
| Konfokal / beyaz ışık interferometresi | Şeffaf ince filmlerde düşük çözünürlük | SE modu |
| Stylus profiler ile iletişime geçin. | Yavaş, yumuşak filmlere zarar verir (DAF) | Temassız, 0,5 sn/nokta |
| Ayrı stres ölçüm aracı | Ekstra işlem, hizalama hataları | Entegre yay + Stoney tek bir alette |
Fabrika Entegrasyonu ve Desteği
-
SECS/GEM Standard– Mevcut MES sistemiyle tak ve çalıştır özelliği (fabrika kabul testinden geçmiştir).
-
Çevrimdışı mod– Mühendislik araştırmaları için bağımsız çalışma imkanı.
-
Uzaktan teşhis– Himalaya desteği için güvenli VPN erişimi.
-
Kalibrasyon kiti– NIST tarafından izlenebilir SiO₂ içeren referans silikon levhalar içerir.
Sipariş Bilgileri
| Model | Tanım |
|---|---|
| HFT-1000-SRSE | Temel sistem: 250–1000 nm, hareket tablası, SECS/GEM, gerilim modülü |
| -DUV | İsteğe bağlı DUV uzantısı (ultra ince yüksek k filmler için 193 nm) |
| - SWIR | İsteğe bağlı SWIR uzantısı (kalın epoksi veya silikon incelemesi için 2500 nm) |
| -AMHS | Otomatik malzeme taşıma arayüzü (yükleme portu, eşleme) |
Özel konfigürasyonlar mevcuttur – lütfen satış ekibiyle iletişime geçin.
Fiyat Teklifi veya Demo Alın
Yerinde gösterimler sunuyoruz.Jiangsu Himalaya Yarı İletken Şirketi(Suzhou, Çin) veya numune plakalarınızla uzaktan canlı test.
📧E-posta: seaman@himalayasemi.com
📞Telefon: +86-15995822759
🌐Web: www.himalayasemi.com
Şirket Adresi:
Oda 4234, Bina 11, No. 1258 Jinfeng Güney Yolu, Mudu Kasabası, Wuzhong Bölgesi, Suzhou Şehri, Çin