Máy làm sạch chân không plasma RF 60L (PLASMA VP-60L) dùng để xử lý bề mặt bán dẫn và mạch in.
Bài viết của Tiến sĩ Jian Li Kỹ sư quy trình cao cấp, Bộ phận thiết bị bán dẫn Công ty TNHH Bán dẫn Giang Tô Himalaya Hơn 15 năm kinh nghiệm trong lĩnh vực đóng gói IC, ghép chip, lắp ráp vi mạch và xử lý bề mặt bằng plasma.
Câu trả lời nhanh
PLASMA VP-60L là máy làm sạch plasma chân không RF chuyên nghiệp dung tích 60 lít được thiết kế cho đóng gói chất bán dẫn, sản xuất PCB, xử lý pin lithium và kích hoạt bề mặt điện tử chính xác. Với tính năng tự động điều chỉnh tần số RF, công suất plasma có thể điều chỉnh từ 0–500W và khả năng sử dụng nhiều loại khí (Ar, N₂, O₂, H₂, CH₄), hệ thống này cung cấp khả năng xử lý plasma áp suất thấp có độ lặp lại cao cho việc làm sạch công nghiệp, loại bỏ oxit và tăng cường độ bám dính.
Trong sản xuất điện tử tiên tiến, việc đạt được bề mặt siêu sạch và hoạt tính cao là rất quan trọng để đảm bảo độ tin cậy của quá trình liên kết, phủ, in ấn, đóng gói và lắp ráp. Ngay cả những cặn hữu cơ nhỏ li ti hoặc tạp chất oxit cũng có thể làm giảm đáng kể độ bền liên kết, độ tin cậy về điện và độ ổn định lâu dài của sản phẩm.
Cái Máy làm sạch chân không plasma tần số vô tuyến PLASMA VP-60L Đây là hệ thống xử lý plasma áp suất thấp hiệu suất cao được thiết kế để làm sạch và kích hoạt bề mặt chính xác trong các ngành công nghiệp bán dẫn, PCB, màn hình, y tế, ô tô và năng lượng mới.
Với tư cách là Kỹ sư Quy trình cấp cao tại Công ty TNHH Bán dẫn Giang Tô HimalayaTôi đã có nhiều kinh nghiệm làm việc với các hệ thống xử lý bề mặt bằng plasma trong khâu đóng gói bán dẫn và lắp ráp vi điện tử. Hệ thống PLASMA VP-60L mang lại sự cân bằng tuyệt vời giữa tính ổn định của quy trình, khả năng tự động hóa, tính lặp lại và hiệu quả chi phí cho cả các phòng thí nghiệm nghiên cứu và phát triển cũng như môi trường sản xuất quy mô vừa và lớn.
Tại sao xử lý bề mặt bằng plasma lại quan trọng
Làm sạch bằng plasma tần số vô tuyến loại bỏ các chất ô nhiễm hữu cơ siêu nhỏ, lớp oxit và cặn phân tử mà các quy trình làm sạch ướt thông thường thường không thể loại bỏ hiệu quả.
Trong lĩnh vực đóng gói chất bán dẫn và lắp ráp điện tử chính xác, kích hoạt plasma giúp cải thiện năng lượng bề mặt, cho phép:
Độ bám dính khuôn mạnh hơn
Độ tin cậy của mối nối dây được cải thiện
Khả năng thấm ướt lớp lót tốt hơn
Độ đồng nhất lớp phủ được cải thiện
Giảm nguy cơ tách lớp
Độ tin cậy của gói hàng trong dài hạn cao hơn
So với phương pháp làm sạch bằng dung môi truyền thống, xử lý bằng plasma chân không mang lại những ưu điểm sau:
Quy trình khô và thân thiện với môi trường
Không xử lý chất thải hóa học
Giảm nguy cơ ô nhiễm
Độ đồng nhất điều trị vượt trội
Khả năng lặp lại quy trình tuyệt vời
Khả năng tương thích tốt hơn với các linh kiện điện tử nhạy cảm
Thông số kỹ thuật chính
Mục
Thông số kỹ thuật
Mô hình thiết bị
PLASMA VP-60L
Kích thước bên ngoài
1100(D) × 810(W) × 1550(H) mm
Kích thước buồng chân không
492(D) × 390(W) × 350(H) mm
Hệ thống điện cực
Tấm ngang 4 lớp
Chiều cao lớp điện cực
46 mm
Công suất định mức
3,5 kW
Nguồn điện
AC380V ±10% @ 50Hz
Mức độ chân không hoạt động
10–60 Pa
Thời gian hút chân không
Thời gian nghỉ hút bụi
Công suất RF
Công suất điều chỉnh liên tục từ 0–500W.
Độ chính xác công suất RF
±3%
Phối hợp tần số vô tuyến
Hoàn toàn tự động, ổn định hình ảnh trong
Khí công nghiệp
Ar, N₂, O₂, H₂, CH₄
Kênh khí
2 kênh
Phạm vi lưu lượng MFC
0–200 sccm
Trọng lượng máy
Khoảng 500 kg
Tùy chỉnh
Kích thước buồng và bố trí điện cực có thể tùy chỉnh
Ưu điểm cốt lõi của PLASMA VP-60L
Làm sạch bề mặt vượt trội
Hệ thống này loại bỏ hiệu quả:
ô nhiễm hữu cơ
Màng oxit
Dư lượng chất trợ dung
Dấu vân tay
Tạp chất bề mặt ở cấp độ phân tử
Điều này giúp cải thiện đáng kể hiệu suất liên kết và phủ lớp ở các công đoạn tiếp theo.
Khả năng tăng cường độ bám dính tuyệt vời
Quá trình xử lý plasma tần số vô tuyến (RF) làm tăng năng lượng bề mặt, giúp cải thiện:
Độ bám dính khuôn
Chuẩn bị hàn dây
Lớp phủ bảo vệ
In mực
Liên kết epoxy
Xử lý sơ bộ SMT
Xử lý công nghiệp nhanh
Chu trình xử lý plasma điển hình bao gồm:
2–10 phút tùy thuộc vào chất liệu và yêu cầu xử lý.
Hệ thống sơ tán nhanh và khớp tần số vô tuyến tự động giúp cải thiện hiệu quả hoạt động.
Độ lặp lại quy trình cao
PLASMA VP-60L sử dụng:
Điều khiển công suất RF chính xác
Bộ điều khiển lưu lượng khối chuyên dụng (MFC)
Điều chỉnh chân không ổn định
Trình tự quy trình tự động
Điều này đảm bảo kết quả xử lý huyết tương có độ nhất quán cao giữa các lô sản phẩm.
Vận hành hoàn toàn tự động, thân thiện với người dùng
Hệ thống hỗ trợ:
Kiến trúc điều khiển PLC
Giao diện màn hình cảm ứng độ phân giải cao
Lưu trữ công thức nấu ăn
Thao tác tự động một nút bấm
Chế độ thủ công và tự động
Những người vận hành chỉ cần được đào tạo tối thiểu cũng có thể nhanh chóng vận hành các quy trình sản xuất ổn định.
Các thông số quy trình điển hình
Vật liệu
Khí xử lý
Công suất RF
Thời gian điều trị
Khung chì
Ar/O₂
200W
120 giây
Tấm mạch in (PCB)
O₂
300W
180s
PTFE/Teflon
Với
400W
300
Tấm silicon
Ar/N₂
250W
Những năm 150
Màng pin Lithium
O₂
350W
240 giây
Màng polyme
Ar/O₂
200W
những năm 90
Các thông số thực tế có thể thay đổi tùy thuộc vào mức độ ô nhiễm, thành phần vật liệu và yêu cầu sản xuất.
Ứng dụng rộng rãi trong công nghiệp
PLASMA VP-60L được sử dụng rộng rãi trong các ngành công nghiệp sản xuất điện tử tiên tiến.
Đóng gói bán dẫn và mạch tích hợp
Thích hợp cho:
Chuẩn bị hàn dây
Làm sạch khung chì bằng plasma
Kích hoạt bề mặt gắn khuôn
cải thiện độ bám dính của chất trám
loại bỏ tạp chất trên bao bì IC
Sản xuất PCB
Thích hợp cho:
Khử vết bẩn lỗ mù
Xử lý sơ bộ SMT
Kích hoạt bề mặt trước khi phủ
Loại bỏ cặn bẩn
Tăng cường độ bám dính
Điện tử tiêu dùng
Các ứng dụng phổ biến bao gồm:
khung giữa của điện thoại di động
Mô-đun camera
Cảm biến vân tay
Màng loa tai nghe
Cụm linh hoạt
Ngành công nghiệp màn hình
Dùng cho:
Vệ sinh mảng LCD
Xử lý kính CF
Kích hoạt kính ITO
Xử lý bề mặt phân cực
Ngành công nghiệp năng lượng mới và pin
Hệ thống này hỗ trợ điều trị bằng huyết tương cho:
Tấm ngăn pin lithium
Kích hoạt lá nhôm
Vật liệu lưu trữ năng lượng
Vệ sinh linh kiện pin
Điện tử ô tô
Được ứng dụng rộng rãi trong:
Cảm biến
Đầu nối
Cuộn dây đánh lửa
Các cụm mạch in ô tô
Nhựa y tế và chính xác
Các vật liệu phù hợp bao gồm:
PTFE/Teflon
Nhựa kỹ thuật
Màng polymer
Các bộ phận được đúc chính xác
Quy trình xử lý thiết bị
PLASMA VP-60L sở hữu quy trình vận hành được tối ưu hóa và tự động hóa cao:
Xếp vật liệu lên khay điện cực 4 lớp.
Đóng cửa buồng và chọn công thức xử lý.
Tự động hút chân không
Đầu vào và ổn định khí xử lý
Khởi tạo và xử lý plasma RF
Hệ thống thông gió và dỡ hàng tự động
Hệ thống hỗ trợ cả chế độ vận hành hoàn toàn tự động và thủ công để tối đa hóa tính linh hoạt trong sản xuất.
Hỗ trợ bảo trì và dịch vụ
Yêu cầu bảo trì định kỳ rất tối thiểu.
Dễ bảo trì
Vệ sinh buồng đốt hàng tuần bằng cồn isopropyl.
Bơm chân không kiểu cuộn xoắn không dầu giúp giảm tần suất bảo trì.
Hệ thống RF ổn định giúp giảm thiểu yêu cầu hiệu chuẩn.
Bảo hành 1 năm (không bao gồm hư hỏng do con người gây ra)
Câu hỏi thường gặp (FAQ)
Câu 1: Chu trình hoạt động điển hình của máy PLASMA VP-60L là bao nhiêu?
Hầu hết các quy trình làm sạch và kích hoạt bằng plasma cần khoảng 2–10 phút tùy thuộc vào loại vật liệu và mục tiêu xử lý.
Câu 2: Những loại khí nào được hỗ trợ?
Hệ thống hỗ trợ:
Argon (Ar)
Nitơ (N₂)
Oxy (O₂)
Hydro (H₂)
Metan (CH₄)
Sản phẩm bao gồm hai kênh dẫn khí với hệ thống điều khiển MFC chính xác.
Câu 3: Hệ thống này có phù hợp cho sản xuất hàng loạt không?
Đúng vậy. Sự kết hợp của:
Thời gian bơm nhanh
Vận hành tự động
Cấu hình điện cực 4 lớp
Điều khiển RF ổn định
Điều này giúp hệ thống phù hợp với sản xuất quy mô trung bình đến lớn.
Câu 4: Kích thước buồng có thể được tùy chỉnh không?
Có. Kích thước buồng, cấu hình điện cực và bố trí thiết bị có thể được tùy chỉnh theo yêu cầu quy trình của khách hàng.
Câu 5: Những vật liệu nào có thể được xử lý?
Hệ thống có thể xử lý:
Tấm silicon
Thủy tinh
Kim loại
Gốm sứ
Nhựa
PTFE
Màng polymer
Vật liệu tổng hợp
Câu 6: Việc vận hành hàng ngày có khó khăn không?
Không. Giao diện màn hình cảm ứng và thao tác tự động một chạm giúp thiết bị trở nên rất thân thiện với người dùng sau khi được đào tạo cơ bản.
Câu 7: Công ty có cung cấp dịch vụ lắp đặt và đào tạo quy trình không?
Vâng. Chúng tôi cung cấp đầy đủ các dịch vụ lắp đặt, vận hành thử, đào tạo người vận hành, hướng dẫn bảo trì và hỗ trợ tối ưu hóa quy trình.
Về tác giả
Tiến sĩ Jian Li là Kỹ sư Quy trình Cao cấp tại Bộ phận Thiết bị Bán dẫn của Công ty TNHH Bán dẫn Giang Tô HimalayaVới hơn 15 năm kinh nghiệm trong lĩnh vực hàn chip, hàn dây, gia công vi mô và xử lý bề mặt bằng plasma, Tiến sĩ Li đã đóng góp vào nhiều dự án đổi mới thiết bị và tối ưu hóa quy trình cho các ứng dụng đóng gói bán dẫn có độ tin cậy cao.
Với các hoạt động nghiên cứu và phát triển tại Tô Châu và bộ phận hỗ trợ bán hàng tại Tây An, Himalaya Semiconductor cung cấp cho các nhà sản xuất điện tử toàn cầu thiết bị lắp ráp bán dẫn đáng tin cậy, hiệu suất cao.
Bạn đã sẵn sàng cải tiến quy trình xử lý bề mặt của mình chưa?
PLASMA VP-60L cung cấp phương pháp xử lý bề mặt plasma RF đáng tin cậy, có thể lặp lại và tiết kiệm chi phí cho bao bì bán dẫn, sản xuất PCB, điện tử chính xác và xử lý vật liệu tiên tiến.
Để nhận báo giá, tùy chỉnh sản phẩm hoặc được hỗ trợ đánh giá mẫu, vui lòng liên hệ:
