Các tính năng chính của máy khắc chip RX-0410A

Hệ thống căn chỉnh thị giác tự động

RX-0410A tích hợp hệ thống xử lý hình ảnh độ phân giải cao, có khả năng tự động cân bằng cả hai đầu của thanh LD và chip PD. Hệ thống thị giác xác định chính xác vị trí bắt đầu và kết thúc của chip trước khi bắt đầu quá trình khắc tự động.

Trong sản xuất chất bán dẫn, độ chính xác căn chỉnh là rất quan trọng vì ngay cả những sai lệch nhỏ về vị trí cũng có thể ảnh hưởng đến chất lượng tách chip và năng suất đóng gói cuối cùng. RX-0410A giảm thiểu lỗi căn chỉnh đồng thời cải thiện tính nhất quán của quy trình trên các loại wafer và kích thước chip khác nhau.

Thuận lợi

• Giảm sự phụ thuộc vào người vận hành
• Cải thiện khả năng lặp lại của quy trình
• Tăng cường tính ổn định năng suất bán dẫn
• Hỗ trợ sản xuất bán dẫn tự động.
• Giảm thiểu lỗi căn chỉnh thủ công

Nhiều chế độ khắc bán dẫn

Hệ thống hỗ trợ các cấu hình xử lý linh hoạt cho nhiều cấu trúc bán dẫn phức hợp và yêu cầu đóng gói khác nhau.

Các chế độ ghi chép được hỗ trợ

• Ghi chép đơn lẻ
• Ghi chép kép
• Ghi chép đầy đủ
• Khắc hình thuyền
• Vẽ đường nét đứt

Tất cả các công thức quy trình sản xuất bán dẫn có thể được lưu trữ và gọi lại tự động, giúp giảm thời gian thiết lập đồng thời cải thiện tính nhất quán trong sản xuất.

Vì sao việc khắc bằng kim cương giúp cải thiện hiệu suất bán dẫn phức hợp

Công nghệ khắc bằng kim cương được sử dụng rộng rãi trong quá trình chế tạo chất bán dẫn phức hợp vì nó cho phép tạo ra các đường phân tách tấm bán dẫn với độ chính xác và khả năng kiểm soát cao, đồng thời giảm thiểu ứng suất vật liệu.

So với các phương pháp tách cơ học truyền thống, khắc bằng kim cương mang lại những ưu điểm sau:

• Chất lượng cạnh được cải thiện
• Giảm hiện tượng vỡ vụn tấm bán dẫn
• Kiểm soát sự lan truyền vết nứt tốt hơn
• Độ đồng nhất phân tách cao hơn
• Giảm thiểu rủi ro thiệt hại vật chất

Đối với các ứng dụng sản xuất LD và PD, chất lượng khắc kim cương ổn định đặc biệt quan trọng vì vật liệu bán dẫn phức hợp thường giòn và nhạy cảm với ứng suất cơ học.

Công nghệ quét trước hình ảnh tốc độ cao

RX-0410A bao gồm chức năng quét trước hình ảnh, giúp cải thiện đáng kể hiệu suất so với các hệ thống khắc bán dẫn thông thường.

Lợi ích sản xuất

• Định vị wafer nhanh hơn
• Giảm thời gian không xử lý
• Năng suất sản xuất cao hơn
• Hiệu suất UPH được cải thiện
• Tăng hiệu quả sản xuất

Tính năng này đặc biệt có giá trị trong môi trường sản xuất quang điện tử quy mô lớn, nơi hiệu quả sản xuất ảnh hưởng trực tiếp đến chi phí vận hành.

Kiểm soát dụng cụ kim cương chính xác

Công cụ khắc kim cương được căn chỉnh thông qua hệ thống cảm biến chạm để đảm bảo tiếp xúc chính xác giữa công cụ và bề mặt tấm wafer.

Các thông số quy trình có thể điều chỉnh

• Vị trí thư ký
• Chiều dài vạch kẻ
• Độ sâu vạch dấu
• Góc dụng cụ
• Trọng lượng tải

Trọng lượng tải có thể được điều chỉnh kỹ thuật số thông qua giao diện màn hình cảm ứng từ 3 g đến 30 g, cho phép tối ưu hóa quy trình cho các vật liệu bán dẫn và độ dày tấm wafer khác nhau.

Nền tảng chuyển động độ chính xác cao

RX-0410A sử dụng hệ thống chuyển động servo chất lượng bán dẫn kết hợp với cơ cấu truyền động vít me bi chính xác để mang lại hiệu suất định vị chính xác.

Hệ thống chuyển động XY

Tham số	Thông số kỹ thuật
Độ phân giải X/Y	0,1 μm
Độ chính xác X/Y	±2 μm
Du lịch hiệu quả	150 mm

Nền tảng chuyển động độ phân giải cao hỗ trợ định vị ổn định ở mức micromet, điều cần thiết trong môi trường xử lý bán dẫn tiên tiến.

Hệ thống quay trục θ

Tham số	Thông số kỹ thuật
Phạm vi xoay	110°
Nghị quyết	0,00035°
Sự chính xác	±20 giây

Trục quay giúp cải thiện độ chính xác định hướng của tấm bán dẫn và hỗ trợ căn chỉnh quy trình bán dẫn linh hoạt.

Điều khiển chính xác trục Z

Tham số	Thông số kỹ thuật
Đột quỵ	45 mm
Nghị quyết	0,1 μm
Sự chính xác	±1 μm

Kiểm soát chính xác trục Z là điều cần thiết để duy trì độ sâu khắc ổn định và bảo vệ bề mặt tấm bán dẫn trong quá trình gia công.

Hệ thống thị giác bán dẫn tiên tiến

RX-0410A được trang bị hệ thống căn chỉnh hình ảnh cấp độ bán dẫn, được tối ưu hóa cho việc định vị wafer chính xác và phát hiện cạnh chip.

Cấu hình tầm nhìn

• Máy ảnh đơn sắc toàn trường
• Camera căn chỉnh phía trên
• Hệ thống chiếu sáng đồng trục
• Màn hình công nghiệp 12,1 inch
• Thấu kính quang học cố định 4×

Hệ thống này cải thiện độ chính xác nhận diện cạnh và hỗ trợ hiệu suất căn chỉnh ổn định cho các ứng dụng xử lý tấm bán dẫn LD, PD và hợp chất.

Hệ thống quản lý thông số thông minh

Máy hỗ trợ quản lý công thức sản xuất bán dẫn thông minh, giúp vận hành sản xuất hiệu quả.

Chức năng hệ thống

• Lưu trữ tối đa 250 công thức sản phẩm.
• Tự động khôi phục tham số
• Cài đặt tham số X/Y độc lập
• Tốc độ khắc có thể điều chỉnh
• Kiểm soát việc ghi chép lặp lại
• Phát hiện an toàn dừng tự động

Tốc độ khắc có thể điều chỉnh

• Trục X: 1 – 80 mm/s
• Trục Y: 1 – 80 mm/s

Kiểm soát ghi chép lặp lại

• 1 – 9 lần lặp lại có thể lập trình

Các chức năng này giúp cải thiện tính linh hoạt trong vận hành đối với môi trường sản xuất chất bán dẫn đa dạng sản phẩm.

Ứng dụng trong sản xuất quang tử và quang điện tử

RX-0410A máy khắc chip bán dẫn phức hợp Sản phẩm này phù hợp với nhiều ứng dụng sản xuất chất bán dẫn và quang điện tử.

Ứng dụng điển hình

• Sản xuất điốt laser (LD)
• Xử lý điốt quang (PD)
• Khắc trên tấm bán dẫn GaAs
• xử lý bán dẫn InP
• Sản xuất VCSEL
• Sản xuất thiết bị quang tử
• Các thành phần truyền thông quang học
• Chế tạo MEMS
• Phòng thí nghiệm nghiên cứu và phát triển bán dẫn
• Dây chuyền đóng gói chất bán dẫn phức hợp

Hệ thống này đặc biệt phù hợp cho việc sản xuất các thiết bị quang điện tử chính xác, đòi hỏi độ chính xác xử lý tấm bán dẫn ở mức micromet ổn định.

Những thách thức thường gặp trong việc khắc rãnh trên tấm bán dẫn phức hợp

Vật liệu bán dẫn phức hợp thường dễ vỡ và nhạy cảm với ứng suất hơn so với các tấm silicon truyền thống. Những thách thức thường gặp trong sản xuất bao gồm:

• Vỡ cạnh tấm wafer
• Sự bất ổn định do sự lan truyền vết nứt
• Độ sâu vạch kẻ không nhất quán
• Sai lệch căn chỉnh
• Hư hỏng bề mặt
• Giảm năng suất

RX-0410A giải quyết những thách thức này thông qua:

• Điều khiển chuyển động servo chính xác
• Căn chỉnh dựa trên thị giác
• Thông số khắc có thể điều chỉnh
• Nạp dụng cụ kim cương ổn định
• Hệ thống định vị độ phân giải cao

Thiết kế thiết bị bán dẫn tương thích với phòng sạch

Thiết bị này được thiết kế để vận hành trong phòng sạch bán dẫn và môi trường sản xuất công nghiệp ổn định.

Yêu cầu cài đặt

Mục	Thông số kỹ thuật
Nguồn điện	Điện áp xoay chiều 220V, tần số 50Hz, công suất 500W
Áp suất không khí	0,3 MPa
Tiêu thụ không khí	Khoảng 1 lít/phút
Kích thước thiết bị	740 × 740 × 1610 mm
Cân nặng	Khoảng 450 kg

Hệ thống điều khiển thân thiện với người vận hành

RX-0410A bao gồm giao diện điều khiển công nghiệp thân thiện với người dùng, hỗ trợ cả chế độ vận hành thủ công và tự động.

Chức năng điều khiển

• chuyển động nhanh và chậm
• Bước di chuyển
• Chuyển động liên tục
• Điều chỉnh trục chính xác
• Dừng khẩn cấp
• Điều khiển xử lý tự động
• Hiển thị tải theo thời gian thực

Hệ thống này cũng bao gồm các thông báo cảnh báo và chỉ báo trạng thái để cải thiện an toàn vận hành.

Cấu hình tiêu chuẩn

Bộ sản phẩm tiêu chuẩn RX-0410A bao gồm:

• Đơn vị máy chính
• Bộ dụng cụ lắp đặt
• Dụng cụ khắc kim cương (8P)
• Tương thích với các dụng cụ 2P / 3P / 4P
• Hướng dẫn vận hành phù hợp với phòng sạch

Dịch vụ hậu mãi & Hỗ trợ kỹ thuật

Chúng tôi cung cấp dịch vụ vận hành và bảo trì chuyên nghiệp để đảm bảo hoạt động sản xuất chất bán dẫn ổn định.

Phạm vi dịch vụ

• Lắp đặt thiết bị
• Vận hành thử nghiệm quy trình
• Đào tạo người vận hành
• Bảo hành một năm
• Hỗ trợ kỹ thuật trọn đời
• Hỗ trợ nâng cấp phần mềm
• Hỗ trợ tối ưu hóa quy trình

Kiến trúc hệ thống cũng dành chỗ cho việc nâng cấp phần mềm trong tương lai và tối ưu hóa quy trình bán dẫn tùy chỉnh theo yêu cầu sản xuất của khách hàng.

Tại sao nên chọn máy khắc chip bán dẫn phức hợp RX-0410A?

Xử lý độ chính xác cao

Độ chính xác định vị ở mức micromet hỗ trợ quá trình xử lý tấm bán dẫn ổn định và chất lượng tách chip.

Tự động hóa thông minh

Hệ thống căn chỉnh tự động và công thức lập trình giúp giảm thiểu sự can thiệp thủ công và cải thiện tính nhất quán trong sản xuất.

Xử lý bán dẫn linh hoạt

Hỗ trợ nhiều chế độ khắc và thông số điều chỉnh cho các sản phẩm bán dẫn khác nhau.

Hiệu suất thông lượng cao

Công nghệ quét ảnh trước giúp cải thiện hiệu quả hoạt động và năng lực sản xuất.

Thiết kế hướng đến ngành công nghiệp bán dẫn

Được phát triển đặc biệt cho môi trường sản xuất chất bán dẫn phức hợp, quang tử và quang điện tử.

Phần kết luận

Máy khắc chip bán dẫn phức hợp RX-0410A là một nền tảng xử lý bán dẫn chính xác được tối ưu hóa cho các ứng dụng khắc wafer bán dẫn LD, PD và bán dẫn phức hợp. Kết hợp công nghệ khắc kim cương, căn chỉnh thị giác thông minh, điều khiển chuyển động ở cấp độ micromet và tự động hóa cấp độ bán dẫn, hệ thống này mang lại hiệu suất xử lý đáng tin cậy cho môi trường sản xuất bán dẫn tiên tiến.

Đối với các nhà sản xuất bán dẫn đang tìm kiếm giải pháp khắc wafer ổn định, có thể lặp lại và năng suất cao, RX-0410A cung cấp một nền tảng hiệu quả và có khả năng mở rộng cho sản xuất quang học, quang điện tử và bán dẫn phức hợp hiện đại.

Câu hỏi thường gặp

Máy khắc chip bán dẫn phức hợp là gì?

Máy khắc chip bán dẫn phức hợp là một loại máy gia công chính xác được sử dụng để tạo ra các đường khắc có kiểm soát trên các tấm hoặc thanh bán dẫn trước khi tách chip.

Máy RX-0410A có thể xử lý những loại vật liệu nào?

Hệ thống này phù hợp với các vật liệu bán dẫn phức hợp được sử dụng trong các ứng dụng quang điện tử và quang tử học, bao gồm cả chất nền cho thiết bị LD và PD.

Tại sao việc căn chỉnh hình ảnh lại quan trọng trong quá trình khắc trên chất bán dẫn?

Việc căn chỉnh bằng thị giác giúp cải thiện độ chính xác định vị, giảm sai lệch trong quá trình gia công và tăng tính nhất quán về năng suất sản xuất chất bán dẫn.

Công nghệ khắc bằng kim cương có những ưu điểm gì?

Khắc bằng kim cương tạo ra các đường phân tách wafer có độ chính xác cao và lặp lại được, đồng thời giảm thiểu hư hại cạnh wafer và ứng suất vật liệu.

Liệu RX-0410A có hỗ trợ các kích thước chip khác nhau không?

Đúng vậy. Hệ thống hỗ trợ chiều rộng chip từ 150 μm đến 2500 μm và cho phép lập trình các thông số xử lý cho các sản phẩm bán dẫn khác nhau.