Máy cắt lát wafer cho ngành công nghiệp bán dẫn
Các tính năng chính và lợi thế hàng đầu trong ngành
Máy cắt lát bán dẫn dùng trong sản xuất chất bán dẫn
Hệ thống cắt lát độ chính xác cao với độ chính xác chuyển động cực cao
Các tính năng chính
✔ Hệ thống chuyển động chính xác
Bộ truyền động động cơ tuyến tính với độ lặp lại ±0,5μm
Điều khiển tốc độ thích ứng (1-300mm/s) cho vật liệu giòn/cứng
✔ Tương thích với nhiều chất liệu
Các tấm bán dẫn: Si, GaAs, GaN, SiC
Vật liệu nền đóng gói: PCB, các gói không chân QFN/DFN
Vật liệu chuyên dụng: Thủy tinh, gốm sứ, vật liệu áp điện
✔ Điều khiển quy trình thông minh
Căn chỉnh bằng laser + thị giác máy tính (độ chính xác định vị CCD ±3μm)
Tự động bù mòn lưỡi cắt (kéo dài tuổi thọ dụng cụ thêm 30%)
Cấu hình máy cưa cắt lát wafer
| Trục X | hiệu quả tối đa | 310mm | 310mm | 210mm |
| 0,1-1000mm/s | 0,1-600mm/s | |||
| Trục Y | hiệu quả tối đa | 310mm | 310mm | 170mm |
| gia tăng một bước | 0,0001mm | 0,0001mm | 0,0001mm | |
| đạt độ chính xác | 0,003mm/310mm | 0,003mm/310mm | 0,003mm/170mm | |
| Trục Z | hiệu quả tối đa | 40mm | 40mm | 40mm |
| độ chính xác lặp lại | 0,001mm | 0,001mm | 0,001mm | |
| đường kính dao cắt tối đa | 58 | 58 | 58 | |
| Trục T | góc quay tối đa | 380° | 380° | 380° |
| con quay | phạm vi tốc độ | 6000-60000 vòng/phút | 6000-60000 vòng/phút | 6000-60000 vòng/phút |
| công suất đầu ra | 1,8KW (2,4KW) | 1,8KW (2,4KW) | 1,5KW (2,4KW) | |
| quyền lực | AC380V±10% | AC380V±10% | AC380V±10% | |
| Kích thước (Chiều rộng × Chiều sâu × Chiều cao) | 1200mm×1629mm×1849mm | 1080mm×1160mm×1800mm | 630mm x 900mm x 1600mm | |
Thông số kỹ thuật
- Trục chính ổ bi khí DC
- Công suất trục chính 1,8-2,4KW (tùy chọn)
- 36000-60000 vòng/phút
- Dao 2 inch/Dao 3 inch
- Khoảng cách giữa hai trục chính tối thiểu 24mm
- Độ phẳng của mặt dao cắt: ≤002mm
- Độ chính xác tầm với: +0,003mm
- Dễ bảo trì, định vị cơ khí
- Lớp vỏ bảo vệ giúp kéo dài tuổi thọ của NCS.
- Tự động đo lường trong quá trình gia công dựa trên số lượng dụng cụ cắt hoặc số mét.
- Khả năng chống nhiễu mạnh mẽ, ngay cả khi bị ảnh hưởng bởi hơi nước, lưỡi dao vẫn hoạt động ổn định.
- Độ nhạy cao, thời gian phản hồi tín hiệu ngắn.
- Kích thước tối thiểu 5*0.5mm
Chức năng hệ thống trung tâm
- Xử lý cảnh báo máy loại bỏ
- Thời gian xử lý cảnh báo nhanh, nhân viên sản xuất ít phải di chuyển, tiết kiệm nhân lực.
Máy này hoàn toàn tự động, tự động nạp liệu, căn chỉnh, cắt, làm sạch và sấy khô.
Chức năng SECS GEM:
- Có thể giám sát trạng thái của thiết bị trong thời gian thực; Ví dụ: Trạng thái chờ, Đang chạy, Tắt;
- Tải xuống/Tải lên dữ liệu thiết bị để quản lý thông số thống nhất.
- Có thể thu thập và thống kê tất cả thông tin sự kiện của thiết bị, bao gồm thông tin vật tư, thông tin vận hành, thông tin cảnh báo, v.v.
- Bạn có thể thiết lập mức độ báo động, khi sự cố xảy ra, bạn có thể khóa thiết bị và yêu cầu quyền cụ thể để tắt báo động và xử lý sự cố.